ZIP архив

Текст

ОПИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских СоциалистичеДких Республикависимое от авт. свидетельстваКл. 421 т, 34/ 1085000/26-25) влено 30.т/.196 вкис присоединением з МПК б 020 ПриоритетОпубликовано 09.Х.1967. Бюллетень21Дата опу бликования описания 20.Х 11.19 б 7 итет по деламтений и открытийавете МинистровСССР ао 1( 535.411(088.8 ХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ И ДИАМЕТРОВ ОТВЕРСТИЙ ЕНИ линеио схе=К / 2 з 1 п постоянный для дан(определяется при его кую разность хода деншо дробных долей по смешению полос в цнонных полос Л н В олн нескольких специгде К ного и аттеста опрсде полосы систем для па фициент рометраОптиче по совпа итанных терферен х длин в- коэф терфе цнн). лют отс х н личньИзвестны устроиства для измеренияных и угловых величин, построенные пме интерферометра Майкельсона.Предложенный двухлучевой интерферометр позволяет измерять диаметры отверстий непосредственно в длинах световых волн, т. е. абсолютным интерференционным методом, что повышает точность измерения. Это достигается тем, что в интерферометре использу ют дополнительную оптическую систему, 10 состоящую из двух соосных конических линз, установленную в рабочей ветви интерферомера между светоделительной пластиной и отражающей поверхностью.На чертеже приведена схема описываемо го интерферометра.Свет от источника через входную диафрагму 1 и объектив коллиматора 2 падает на светоделительную пластину 3. Здесь падающий луч разделяется на два. Один луч на правляется в эталонную ветвь ча компенсационную пластину 4, эталонное зеркало б, отражается от него и возвращается к пластине 3. Второй луч проходит через пластину 3 и попадает на коническую личзу б, которая 25 преобразует его в систему плоских медианных пучков, выходящих из линзы под углом а к оптической оси системы. Световой лу, отразившись от внутренней поверхности измеряемой детали 7, падает через вторую кони- ЗО ческую линзу 8 на отражающую поверхность 9 (плоское зеркало). От зеркала 9 луч, пройдя весь путь в обратном направлении, возвращается к пластине 3 н интерферирует с лучом, отразившимся от зеркала 5.Интерференционную картину наблюдают с помощью объектива 10 через выходную диафрагму 11. Внутренняя поверхность отверстия наблюдается в виде кольца, представляющего собой проекцию цилиндрической поверхности на фронт волны света, прошедшего через коническую линзу.Интерференционная картина имеет две системы полос равной толщины, образованных лучами, прошедшими отверстие детали 7 и отраженными от поверхности отверстия, соогветственно системы полос Л и В. Оптическая разность хода лучей 1, диаметр отверстия г 1 и угол наклона лучей а, выходящих нз лин. зы б, находятся в следующей зависимости:203973 Предмет изобретения А Составитель И. И. Небосклонова ова Текред Л, Я, Бриккер Корректоры: А, П. Татариицева и В. В. КрыловаН. То доктор каа ДЯIД,7 Тираж 535 Поди испоЦИИИПИ Комитета по делам изобретеиий и открытий при Совете Министров ССС Москва, Центр, пр. Серова, д. 4 Тииограррии, пр. Сапунова, 2 альных линий монохроматического источникасвета, аналогично тому, как это делается приабсолютных измерениях концевых мер на интерферометре Кестерса. Двухлучевой интерферометр для измерения диаметров отверстий, содержащий осветительную систему, светоделительную пластину, эталонную и рабочую ветвь с отражающими поверхностями и регистрирующую систему, отличаощийся тем, что, с целью увеличения точности измерения путем измерения диаметра отверстия непосредственно в длинах све товых волн, в рабочей ветви интерферометрамежду светоделительной пластиной и отражающей поверхностью установлена оптическая система из двух соосных конических линз, создающая в поле зрения интерферометра две концентрические системы интерференционных полос равной толщины.

Смотреть

Заявка

1085000

МПК / Метки

МПК: G01B 11/08, G01B 9/02

Метки: 203973

Опубликовано: 01.01.1967

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-203973-203973.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">203973</a>

Похожие патенты