Двухлучевой интерферометр для измерения перемещений

ОП ИСАН И ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик;л, 421 т, 34/ исоединением заявкиПК 602 иоритет Комитет по делам изобретений и открыт при Совете Министре СССРллетень21 Опубликовано 09.Х.1967. Дата опубликования спи 35,411(088 я 22,Х 11.19 Авторыизобретени. В, Трофимова и В. Г, Цори 3 аявител ДВУХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕН ПЕРЕМЕЩЕНИЙИзвестны,двухлучевые интерферометры для измерения длин и перемещений, построенные по схеме Майкельсона с использованием фотоэлектронного устройства для счета интерфе- ренционных полос.5Предложенный интерферометр отличается от известных тем, что отражательная система, установленная в одной из его ветвей, выполкена в виде сферического отражателя, закрепленного на подвижной каретке, и системы 10 неподвижных зеркал, состоящей из уголкового и плоского отражателей. Такое выполнение отражательной системы позволяет расширить предел измерения и уменьшить влияние не- прямолинейности перемещения. 15На чертеже изображена принципиальная "хема предлагаемого интерферометра.Параллельный пучок света от лазера 1 попадает через щель 2 на свстоделительный элемент, после которого часть светового потока 20 проходит через пластину 3 и отражается от эталонного зеркала 4, другая часть отражается от пластины 3 и падает на сферический отражатель 5 с двумя параллельными поверхностями, выполненными концентрическими 25 радиусами Рт и Яз = 2 Л, отражается от поверхностей отражателя 5, уголкового неподвижного отражателя б и плоского неподвижного отражателя 7 (основной ветви интерферометра). После отражателя 7 световой пучок 30 меняет направление и, проидя весь вышеописанный путь (7, б, 5), возвращается на разделительную пластину 8, проходит через нее и отражается от зеркал 8 и 9.В определенных условиях лучи интерферируют. При пвредвижении каретки 10 со сферическим отражателем 5 на Л/2 разность хода в интерферометре изменяется на величину К М 2, где К зависит от числа отражений.1 Лнтерференционные полосы перемещаются при этом относительно неподвижно установ. ленных щелей 11 и 12, на которые они проектируются зеркалами 8 и 9.При определенном, соотношении размеров щелей и их положения относительно интерфе. ренционной картины,на фотокатоды фотоприемников И и 14 попадает модулированный световой поток, а на выходе фотоприемников появляются синусоидальпые электрические сигналы, сдвинутые для осуществления реверсивного счета полос по фазе на л/12. Сдвиг фаз достигается смещением интерференционной картины на щели 12 с помощью наклонов зеркала 9 или введением в ход лучей пластинки Л/8, Л/16 и т. д,Полученные сигналы усиливаются усилителями 15 и 1 б, преобразуются схемой преобразования импульсов 17 в дискретно-цифровую форму. На выходе реверсивного счетчика 18 наблюдается число импульсов Ж, соответ203972 пучок на 180 (триедра ражателями и др.).Система отражателейлельность отраженного 5 при наклонах карелки,ние непрямолинейности ляет расширить пределы ми, сферическими отобеспечивает парали падающего пучка что уменьшает влияперемещенийпозвоизмерения. Составитель И. И, Небосклонова ропова Техред Л. Я, Бриккер Корректоры; Н, И. Быстров и И, Л. КирилловРедактор В аказ 3872/12 Тираж 535 ПодписиНИИПИ Комитета по делам изобретении и открытий при Совете Министров ССС Москва, Центр, пр, Серова, д. 4 ипография, пр. Сапунова. 2 3ствующее перемещениюкаретки на длину ЛХ 2 К.Применение схем повышенной чувствительности к перемещениям позволяет уменьшить шаг дискретности импульсов при счете интерференционных полос, что упрощает представление результатов в цифровой форме и облегчает автоматическую регистрацию результатов измерений,При откинутом зеркале 9,возможны измерения при визуальном наблюдении интерференционной картины,Предложенную схему можно применять с такими источниками света, как лазер, узкий пучок которого обладает высокой интенсивностью, В этом случае используют схемы с,многократными отражениями на большие разности хода. Кроме того, узкий пучок лазерр а позволяет использовать детали отр ажателей, технологически легко осуществимых габаритов.Уголковые отражатели могут быть заменены другими системами, оборачивающими Предмет из обр етения10Двухлучевой интерферометр для измеренияперемещений, построенный по схеме Майкельсона с использованием фотоэлектронного устройства для счета интерференционных полос,15 отличающийся тем, что, с целью расширенияпредела измерения и уменьшения влияниянепрямолинейности перемещения, отражательная система, установленная в одной из ветвейинтерферометра, выполнена в виде сфериче 20 ского отражателя, закрепленного на подвижной каретке, и системы неподвижных зеркал,состоящей из уголковото и плоского отражателей,