Ан осср. ойьлйотг. д
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 198691
Автор: Институт
Текст
ОПИСАН ИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 198691 Союз Советских Социалистических Республик. 42 Ь, 12/О явлено 25 ЛЧ.1966 ( 1075504/25-28) МПК 6 0 Комитет оо делзвтизобретений и открытий УДК 531.717.521(088.8) Опубл вано 28.Ч,1967, Бюллетень1 и Совете вкинисСССР ата опубликования описания 18.И 11,1967 Автор зобретенЙ 011 ут 1 ч 0сЦЯнрг;Н ССРИЬЛИ 07, Б. Яковк Заявитель нститут физики полупроводников Сибирского ления СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЬ 1 Пд В ПРОЦЕССЕ ЕЕ НАНЕСЕНИЯ нка, а ржки ий, п пленк в вакууме и ложка 4 вып тенюатора. торым судят гистрируется по и ато коредмет изобрете Способ измерения толщины пленки в пр 1 О се ее нанесения, заключающийся во введ ультразвуковых колебаний в подложку, н торую наносится пленка, и последующей и гистрации, отлачающайся тем, что, с цель рощения процесса измерения, в подложку дят упругие поверхностные колебания, по ханию которых судят о толщине нанос пленки, еснин ко- ревво зату имоГ с присоединением заявкПриоритет Известны способы измерения толщинку пленки в процессе ее нанесения. Они заключаются в том, что ультразвуковые колебания вводят в подложку, на которую наносится пленка, и затем их регистрируют,Предлагаемыи способ отличается от известных тем, что в подложку вводят упругие поверхностные колебания, по затуханию которых судят о толщине наносимой пленки. Этот способ упрощает процесс измерения.На чертеже изображена блок-схема, поясняющая описываемый способ,С генератора высокой частоты 1 электрические колебания подаются на устройства 2 для ьозбуждения поверхностных волн, Поверхностные упругие колебания распространяются по двум подложкам 3 и 4: подложка 3 находится на нее осаждается пле олняет роль линии зад Затухание этих колеба о толщине наносимой индикатором 5,ипография, пр. Сапунова, 2 Заказ 270 ЦНИИПИ Тираж 535 тета по делам изобретений и открытий при Москва, Центр, пр. Серова, д. 4Подписно овете Министров СССР
СмотретьЗаявка
1075704
Институт физики полупроводников Сибирского отделени
МПК / Метки
МПК: G01B 17/02
Опубликовано: 01.01.1967
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-198691-an-ossr-ojjljjotg-d.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Ан осср. ойьлйотг. д</a>
Предыдущий патент: Зеркальный мостик для измерений при помощи оптической трубы
Следующий патент: 198692
Случайный патент: Устройство для облова водных организмов