Способ абразивной обработки полупроводниковых материалов группы а в
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1831730
Автор: Рогов
Текст
(76) В.В. Рогов56) Бочкин О,И. иботкаполупроводВысшая школа, 19Запорожскийлупроводникдвыхшкола. 1988,. с. 38 -14. 2 ская обрариалов. М.: др. Механичниковых мате 83. с. 20-21. В,П. и др. Об материалов. М 62. ботка по- : Высшая АБОТКИ РИАЛОВ т.п,При проводя аллия н ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОВЕДОМСТВО СССР(54) СПОСОБ АБРАЗИВНОЙ ОПОЛУПРОВОО,НИКОВЫХ МАТГРУППЫ А В Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано при резке и шлифовании полупроводниковых материалов группы А В, таких как арсенид галлия, фосфид индия,Целью изобретения является повышение безопасных условий труда.Поставленная цель достигается тем, что в способе абразивной обработки полупроводниковых материалов группы А В в приш сутствии смазочно-охлаждающей жидкости с водорастворимой добавкой, в качестве водорастворимой добавки используют вещество, химически связывающее выделяющиеся газообразные продукты в водорастворимые нетоксичные соединения, При обработке арсенида галлия в качестве водорастворимой добавки используют перманганат калия при добавлении его в сма(57) Использование: изобретение относится к полупроводниковой технике, к обработке арсениа галлия и других материалов группы А В . Сущность изобретения: в смазоч 111но-охлаждающую жидкость при обработке дополнительно вводят водорастворимую присадку, химически превращающую в водорастворимые нетоксичные соединения газообразные токсичные продукты, выделяющиеся при обработке, При резке и шлифовании .арсенида галлия в качестве водорастворимой присадки используют перманганат калия или смеси веществ, 1 з.п. ф-лы. зочно-охлажда щу жидкость в количестве 0,5 - 3,0%.Поскольку СОЖ поступает непосредственно в зону контакта абразивного инструмента с полупроводниковым материалом, наличие вещества, взаи. ддействующего с газообразными токсичными соединениями, позволяет снизить уровень выделения вредных веществ с атмосферу, т.е. улучшает условия труда. Так, при резке или шлифовании арсенида галлия выделяется арсин, который химически взаимодействует с раствором перманганата калия с образованием водо- растворимой соли мышьяка.В качестве добавок можно использовать бихромат калия, углекислый калий и е р. На станкв-резке "АлмазМ" резку монокристалла арсенида пластины с помощью алмазного1831730 Составитель В.РоговТехред М.Моргентал Корректор Л.Пилипенко Редактор Заказ 2553 Тираж , Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 круга с внутренней режущей кромкой АСР 60/53. Готовят СОЖ в виде 0,5-3,0 ф,-ного раствора перманганата калия. СОЖ с помощью помпы подают на режущую кромку круга, вращающегося с частотой 1800-2000 об/мин. Скорость подачи 5 - 10 мкм/мин.Измерение содержания арсина в воздухе производственного помещения показало, что его содержание значительно ниже предельно допустимой концентрации. Введение добавки в СОЖ не ухудшает качество обработки, а снижает выделение арсина в воздушную среду, т.е. обеспечивает достижение поставленной цели.Эффективность способа заключается в возможности повышения срока службы фильтрующих элементов вытяжных систем, улавливающих вредные вещества типа арсина, в улучшении условий труда обслуживающего персонала на оборудовании резки и шлифования полупроводниковых материалов группы А В .Формула изобретения 5 1. Способ абразивной обработки полупроводниковых материалов группы А В в присутствии смазочно-охлаждающей жидкооти с водорастворимой добавкой, о т л ич а ю щ и й с я тем, что в качестве водорастворимой добавки используют вещество, химически связывающее выделяющиеся газообразные продукты в водорастворимые нетоксичные соединения.2. Способ по и. 1, о т л и ч а ю щи й с я 15 тем, что при обработке арсенида галлия вкачестве водорастворимой добавки используют перманганат калия при добавлении его в смазочно-охлаждающую жидкость в количестве 0,5 - 3,0.
СмотретьЗаявка
5005480, 21.10.1991
В. В. Рогов
РОГОВ ВЛАДИМИР ВИКТОРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/304
Метки: абразивной, группы, полупроводниковых
Опубликовано: 30.07.1993
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1831730-sposob-abrazivnojj-obrabotki-poluprovodnikovykh-materialov-gruppy-a-v.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ абразивной обработки полупроводниковых материалов группы а в</a>
Олигопиперилены с карбоксильными группами в качестве добавки, повышающей клейкость сырых резиновых смесей и способ их получения
Номер патента: 550402
Опубликовано: 15.03.1977
Авторы: Береснев, Кирпичников, Кичигин, Лемаев, Мирзаянов, Степанов
МПК: C08F 136/04
Метки: группами, добавки, карбоксильными, качестве, клейкость, олигопиперилены, повышающей, резиновых, смесей, сырых
...моль/л, П р и м е р 1. 16 г олигопиперилена с молекулярной массой 3120, полученного на трех- хлористом алюминии при - 20"С, растворяют в 50 мл гексапа. Через барботер, помещенный 5 в раствор олигомера, в течение 3,5 ч при20+2 С пропускают озоно-кислородную смесь с содержанием озона 7,0 10- 9 10 - моль/л.По окончании реакции раствор нагреваютпри 50 С в течение 0,5 г для разрушения об- О разовавшихся озонидов, после чего отгоняют550402 3растворитель и сушат олигомер при 40 С в вакууме.Обработанный таким образом олигопиперилен содержит 1,25 мас. % карбоксильных групп, определяемых титрованием. В ИК-спектре полученного продукта появляется полоса поглощения 1720 см-, что также указывает на наличие карбоксильных групп в олигомере....
Водорастворимые блокированные диизоцианаты и полиизоцианаты как адгезионные добавки к пропиточным составам для химических волокон и тканей из них
Номер патента: 854927
Опубликовано: 15.08.1981
Авторы: Гаретовская, Каплун, Нудельман, Сафонова, Шакитская
МПК: C07C 125/07
Метки: адгезионные, блокированные, водорастворимые, волокон, диизоцианаты, добавки, них, полиизоцианаты, пропиточным, составам, тканей, химических
...до комнатной температуры,прибавляют 1,54 г /0,0088 моль) толуилендииэоцианата и встряхивают дополного исчезновения запаха толуилендиизоцианата, Получают раствор, содержащий В=СНС Н , В=(СН.), СООВап=2. Из раствора упариванием выделя-.ют твердое вещество и получают 4,1 г,выход 96,Найдено,г С 51,481 Н 6,37;В 11,90.С НОВ ВаоВычислено,%: С 52,5 у Н 6,25 уВ 11,66;П р и м е р 4. Поли-(3-карбоксиметил)-уреидо-поли-(метиленфенилен) --йоли Ва соль.Для опытов используют полииэоцианатную смолу, состоящую из смесивеществ формулысигде в=0,1,2 ;. Ъ основном в смеси присутствует вещество с в=1) ссодержанием 28 ВСО-групп. В 127 млводы растворяют 9 г аминоуксуснойкислоты, вносят 4,8 г едкого натра,охлаждают до комнатной...
Водорастворимая полиэфирная смола в качестве пленкообразующего для лакокрасочных покрытий и способ ее получения
Номер патента: 621688
Опубликовано: 30.08.1978
Авторы: Изынеев, Кузнецов, Маслош, Мойсеенко, Мякухина, Попенко, Ржецкий, Часнык
МПК: C08G 63/20
Метки: водорастворимая, качестве, лакокрасочных, пленкообразующего, покрытий, полиэфирная, смола
...образовавшегося полиэфира 40 - 50 мг КОН/г, Полученный серусодержащий полиэфир высаливают из водного раствора хлористым натрием. Получают 68 г. (85 О/о) твердой коричнево-желтой смолы, образующей водный раствор 16 О/о-ной концентрации при растворении в горячей (60 - 70 С) воде. Средний мол. вес образовавшегося полиэфира 2440; йодное число 17,9 г Ъ/100 г смолы; содержание ЯОзН- групп 9 2 о/оПолучают полиэфир формулы 1, где Я=СН - СН, п=3, т=1, р=6, г/=2. Вычисленный мол. вес 2575.Вычислено, /о, С 49,50; Н 4,50; Я 3,60; О 41,40.Найдено, /о. С 48,15; Н 4,32; Я 3,74; О 43,82.П р и м е р 5, Опыт проводится аналогично примеру 4. Загрузка компонентов, г (моль): диэтиленгликоль 25,8 (0,25), малеиновый ангидрид 27,5 (0,28), фталевый ангидрид...
Структурно-окрашенная водорастворимая полиэфирная смола в качестве цветного пленкообразующего для лакокрасочных покрытий
Номер патента: 690030
Опубликовано: 05.10.1979
Авторы: Изынеев, Кузнецов, Маслош, Мякухина
МПК: C08G 63/46
Метки: водорастворимая, качестве, лакокрасочных, пленкообразующего, покрытий, полиэфирная, смола, структурно-окрашенная, цветного
...смеси при этой температуре в течение 2 ч загружают 6,4 г (0,06 моль) диэтиленгликоля, 11,8 г (0,06 моль) натриевой соли пропанхлоргидринсульфокислоты и 2,4 г (0,06 моль) ед. кого натра. Выдерживают смесь при температу.о 40 ре 150 - 160 С в течение 3 ч с последующим проведением процесса в вакууме в течение 2 ч,После очистки смолы от хлористого натрия получают 57 г (87,7%) твердой смолы, раство. ряющейся в горячей воде (т - 60 - 70 С) с обн45 разованием красного раствора 16%-нои концент. рации, а в холодной (т - 15-20 С) - 10%.ной концентрации.Средний молекулярный вес полученного со. единения равен 2250, Структурная формула может быть представ 50 лена формулой 1, где й = - (СН 1)4 - К= - ЖН МК 550гп =1,п=1;р= 2;Я=2;х=1;у =...
Структурно окрашенная водорастворимая эпоксидная смола в качестве пленкообразующего лакокрасочных покрытий
Номер патента: 740793
Опубликовано: 15.06.1980
Авторы: Изынеев, Кузнецов, Маслош, Мякухина, Якименко
МПК: C08G 59/06
Метки: водорастворимая, качестве, лакокрасочных, окрашенная, пленкообразующего, покрытий, смола, структурно, эпоксидная
...и сушат. После отделения хлористогонатрия получают 121 г (83.) твердоговещества, окрашенного в фиолетовыйцвет,Молекулярная масса полученного соединения равна 1465,6, эпоксидное число 7,78, содержание серы4,37, максимальная длина волны поглощения в водном растворе 565 нм,Полученное соединение растворяется взаде с образованием 15-ного раствора Фиолетового цвета.Структурную формулу полученногосоединения можно представить формулой 1, ОНгде Х = - К Н-СН -СН-СНРв=О,)ч=2, р =1.Вычислена, : С 63, 10; Н 5,64,84,38; )1,91,Найдено,%: С 64,20; Н 5,68;Я 4,21; Ф 1,85,П р и м е р 4. В трехгорлую колбу, снабженную обратным холодильником, термометром и мешалкой, загружают 19,58 г (0,1 моль) натриевойсоли пропанхлоргидринсульфокислоты,4 г (0,1...
Предыдущий патент: Способ диффузии галлия
Следующий патент: Способ изготовления полевых транзисторов на арсениде галлия
Случайный патент: Способ обработки чугуна в литниковой системе