Способ измерения толщинб1 и скорости нанесения пленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 182339
Текст
Союз Советских Социалистических Республик, 42 о, 12/О Комитет по делам обретекий и открытий ри Совете Министров СССР.1966. Бюллетень11 а опубликования описания 22,И 1.1966 СОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ И СКОРОС НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОКобладают рякоторых являИзвестные способы контроля скорости нанесения и измерения толщины пленокнаносимых на основу, заключаются в применении двух кристаллических резонаторов, каждый из которых задает частоту соответствующего генератора. При этом один из кристаллических резонаторов является эталонным, а второй (рабочий) помещен в контролируемом потоке.По мере того как на рабочий кристаллический резонатор напыляется пленка испаряемого материала, возрастает его эффективная масса и, следовательно, уменьшается его собственная частота, а собственная частота эталонного кристаллического резонатора (при тех же температурных услОвиях) не изменяется.Частоты обоих генераторов смешиваются в смесительном блоке, который выделяет разностную частоту.,Эта разностная частота и служит мерой толщины слоя пленки, напыленной на рабочий кристалл.Однако известные способыдом недостатков, основными изются следующие:1, Значительный уход резонансной частоты измерительного кристалла при его нагреве.2. Ограничены пределы измерения толщинпленок.Для расширения диапазона измеряемых толщин и получения информации в удобном для автоматизации процесса виде предлагается контролируемую часть потока наносимого материала, образующего пленку, пере ключать по достижении заданной части требуемой толщины с одного резонатора на другой и обратно, при этом о толщине пленки судят по числу переключений, а о скорости ее нанесения - по частоте переключений.10 Предлагаемый способ заключается в следующем.Кварцедержатель с кристаллами располагается в контролируемой части потока напыляемого материала и снабжается специаль пым устройством - электромагнитной заслонкой, позволяющей поочередно направлять поток напыляемого материала то на первый, то на второй кристалл (кристаллы должны быть идентичны по своим электроме ханическим и температурным параметрам).Каждый из кристаллических резонаторов задает частоту соответствующего генератора, Частоты обоих генераторов смешиваются в смесительном блоке, который выделяет раз постную частоту, являющуюся мерой толщины одного цикла напыления между двумя переключениями электромагнитной заслонки из одного положения во второе.Поскольку процесс переключения потока ЗО напыления происходит достаточно часто (вЗаказ 193911 Тираж 1100 Формат бум, 60 Х 90/8 Объем 0,1 изд. л. ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 Типография, пр. Сапунова, 2 сравнении с,изменением их температуры), это позволяет создать для обоих кристаллов практически идентичные температурные и электромеханические условия работы. Предмет изобретенияСпособ, измерения толщины и скорости нанесения пленок в процессе их .нанесения на основу с помощью двух пьезоэлектрических резонаторов, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых толщин и получения информации в дискретном виде, удобном для автоматизации процесса, контролируемую часть потока наносимого материала, образующего пленку, переключают по достижении заданной части требуемой толщины с одного резонатора на другой и обратно, прои этом о толщине, нанесения пленки судят,по числу переключений, а о скорости 10 нанесения - по частоте переключений,
СмотретьЗаявка
1002173
МПК / Метки
МПК: G01B 7/06
Метки: нанесения, пленок, скорости, толщинб1
Опубликовано: 01.01.1966
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-182339-sposob-izmereniya-tolshhinb1-i-skorosti-naneseniya-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения толщинб1 и скорости нанесения пленок</a>
Устройство для переключения потоков
Номер патента: 1695220
Опубликовано: 30.11.1991
Авторы: Берман, Корольков, Леонтьева, Охотников, Попов, Яновский
МПК: G01N 30/20
Метки: переключения, потоков
...на тройнике 10, При положении крана 15, указанном на чертеже, по линии 13 газа-уп)авления выходное давлен(ле регулятора 9ф т тройника 10 перед-.ется без каким-либо)зменениЙ на тройник 51 так квк в этой цепи нет пневмосопротивлений).Таким образом, на пневмосопрг)тивг(ении 2 между тройниками 5 и б создается г)ереп(ад давления, приводя(ьций к паявле ни(о потока Ч 2 слева направо, (Отарыйобь. (Ьдиняясь с основ)-1 ы(, патокам Ч газа-носителя (Чз.=Ч 1+У 2), гюступает через пневмосапративления 3 и 4 на правый еы" ход 23, Если пневмосепротивление 12 ыррано с высокой проницаемостью, то нэ г)невмосопративлеии 2 будет небольшой 1)ерепад давления, )л поддув газа г 2 бчг(ет Незначительным.Поток газа-управления на выходе 24 опеделяется проницаемостью...
Устройство для измерения скорости течения в открытых потоках
Номер патента: 45446
Опубликовано: 31.12.1935
Автор: Подгоричани
МПК: G01M 10/00, G01P 5/18
Метки: открытых, потоках, скорости, течения
...регулятором 7. Иеханизм б отрегулирован с достаточной точностью так, чтобы устранить необходимость дополнительного контроля времени.Шестеренки 2 - сменные с тем, чтобы один оборот барабана длился 1 - 10 сек., смотря по необходимости.По червяку 8, вращение которого связано с вращением барабана, передвигается каретка 10 с электромагнитом 11 и стрелкой 9, делающей отметки при ударе на барабане 1 через копировальную бумагу, надетую поверх ленты, помещенной на барабане.При включении прибора магнит 13 притягивает собачку 14 и освобождает этим барабан 1, который начинает вращаться, Первая из проволок 21 является таким образом пусковой и в измерении не учитывается.Поплавок проходит последовательно все проволоки и при замыкании тока.п...
Устройство для измерения скорости течения в открытых потоках
Номер патента: 45447
Опубликовано: 31.12.1935
Автор: Подгоричани
МПК: G01M 10/00, G01P 5/18
Метки: открытых, потоках, скорости, течения
...струй намоделях гидросооружений в гидротехнических лабораториях, над поверхностьюпотока расположена решетка, с однойстороны которой установлена фотопластинка, а с другой фотоэлемент. Придвижении поплавка, несущего источниксвета; фотопластинка регистрирует траекторию движения поплавка, а фотоэлемент - скорость его.,На чертеже изображена схему устройства для измерения скорости течения воткрытых потоках,Камера устройства состоит из двухотделений, верхнего с фотоэлементом 1- - "и нижнего - с обычным объективом 5,расположейных над поверхностьюпотока.Оба отделения разделены решеткой 2,просветы которой представляют собойпоперечники потока исследуемой модели,перенесенные за фотопластинку 3, установленную под нижней стороной решетки 2, При...
Прибор для регистрации скорости и направления воздушных потоков
Номер патента: 79878
Опубликовано: 01.01.1949
Автор: Хахалин
МПК: G01D 9/42, G01P 13/00, G01P 5/06
Метки: воздушных, направления, потоков, прибор, регистрации, скорости
...укреплен полый барабан 1, боковая поверхность которого ,имеет спиральный прорез, образующий по всей длине барабана один виток, Параллельно образующей барабана помещен экран 2, край которого смещен относительно диаметральной плоскости барабана и несколько сдвинут за барабан с тем, чтобы наблюдатель из точки 3 мог видеть лишь треугольный просвет, обра 40 Свод. Иывусв 12, 1949 г,зуемый краем экрана н краями спиральной щели, При вращении барабана в одну сторону просвет будет перебегать, например, сверху вниз, исчезая внизу и одновременно возникая вновь наверху, а при вращении в другую сторонупросвет будет перебегать снизу вверх, Лентопротяжная камера 4 скреплена с тубусом 5 та 1 сим образом, чтобы изо. бражение перебегающего просвета,...
Способ бесконтактного измерения длины нроката и скорости его движения в потоке
Номер патента: 181823
Опубликовано: 01.01.1966
Метки: бесконтактного, движения, длины, нроката, потоке, скорости
...и холодном катании проката применяют обычный люминофор (смесь электропроводящего материала с фосфором или иным материалом), а при горячей прокатке - легкоиспа ряющееся вещество, обладающее свойствами свечения при лучистом возбуждении, Регистрируется метка из люминофора после возбуждения фосфора ультразвуковым или иным световым облучением, свечение метки улавливается светочувствительным элементом, например фотоумножителем, фотодиодом и т. д.На чертеже показана принципиальная схема устройства для осуществления описываемого способа. Генератор 1 искрового разряда и регистратор 2 метки установлены бесконтактно с движущимся прокатом, При появлении металла в валках 8 регистратор 4 металла выдает пер вый импульс на формирователь 5...
Предыдущий патент: Устройство для измерения толщины слоя
Следующий патент: Устройство для измерения толщииы и скорости нанесения пленок
Случайный патент: Устройство для определения наклона карданного подвеса относительно истинной вертикали