Устройство для измерения толщины слоя

Номер патента: 943648

Опубликовано: 15.07.1982

Авторы: Анисимов, Дрогайцев, Коц, Чулючкин

МПК: G05B 21/00

Метки: датчик, обратной, связи, устройства, шаговыми, электродвигателями

...очередного импульса на вход распределителя 2 фазь Ъф. отключается и включается фаза 2 Д .55 Одновременно формирователь 4 фазы ыр, реагирующий на изменение входного напряжения с нуля на единицу, вырабвтыва- ф ет импульс длительностью Ф,о, поступающий через элемент ИЛИ 5, на вход имитатора 6.Одновременно протекает ток во второй фазе двигателя и в имитаторе обмотки 6. При этом, если происходит перемещение ротора двигателя, то во второй фазе на 45 ходится ЭДС е препятствукщая изменению магнитного потока системы статорРотор двигателя. Уравнение, описывающее нарастание тока во второй фазе имеет И 4 Ф 8 4), Я - активное схвротивление обмотки второй фазы,Ь - индуктивность обмотки второйфаэы двигателямиИмитатор обмотки в простейшем случае...

Номер патента: 1539528

Опубликовано: 30.01.1990

Авторы: Демшевский, Степчук

МПК: G01B 21/08

Метки: покрытия, слоя, толщины

...напряжения с заданным,2 с,п. Ф-лы, 1 ил, 1539528Участок подложки 3 без покрытия 2 или образец-свидетель материала подложки 3 помещают в устройство между излучателем 1 и диафрагмой 13, перекрывая в последней оба отверстия с установленными в них Фотоприемниками 4-1 и 4-2. Поток излучения от излучателя 1, проходя через подложку 3, попадает на оба фотоприемника: ре гулярная составляющая прошедшего потока попадает на Фотоприемник 4-1, расположенный на одной оптической оси с излучателем 1, фотоприемник 4- 2 регистрирует часть излучения, пропорционального диффузно-рассеянному свету в подложке 3. Фототок приемника 4-1 преобразуется с помощью измерительного преобразователя 5-1 в напряжение, пропорциональное регулярной составляющей прошедшего...

Номер патента: 150948

Опубликовано: 01.01.1962

Авторы: Герхард, Эберхард

МПК: G01G 9/00, G21H 5/00

Метки: веса, покрытия, слоя

...для измерения веса слоя покрытия с помощью приборов, использующих ионизирующее излучение.Контролируемое изделие 1 помещается между источником 2 излучения и ионизационной камерой 3, интенсивность падающих лучей на которую будет соответствовать весу слоя покрытия. Ток в ионизационной камере 3, идущий от плюсового проводника 4 к минусовому проводнику 7, величина которого зависит от веса слоя покрытия, будет протекать через сопротивление б. На концах сопротивления появится падение напряжения, зависимое от веса слоя покрытия, На это же сопрогивление б с датчика 7 заданной величины подается заданное над ряжение.Суммарное падение напряжения на сопротивлении б подается на вход линейного усилителя 8, на выходе которого подключен...

Номер патента: 1735712

Опубликовано: 23.05.1992

Авторы: Путилин, Столов, Эльгарт

МПК: G01B 21/08

Метки: многослойных, напыления, пленок, покрытий, процессе, толщины

...с длинами волн Л 1 и А 2, удовлетворяющими соотношению1 Э + 12 =2 Яз,ГДЕ П 1 б = 4 И,К=1,2,;где й 1 б - заданная оптическая толщина пленки.По ходу лучей между выходной щельа 5 и фотоприемником 12 расположен модулятор 10, приводимый во вращение двигателем 11, Модулятор 10 поочередно закрывает при вращении верхнюю и нижнюю половины щели 5. При этом на выходе фотоприемника 12 возникает сигнал, переменная составляющая которого может быть выражена зависимостьюЛОФ=МфЬ Ы 1 Й - фА 2 ТкЛ,8 ггде ФА 1 и ФЛ 2 - световые потоки, излучаемые источником на длинах волн 4 и А 2;Т,Я и Тк, - коэффициенты пропускания оптических каналов для длин волн Л 1 иА 2;и 3 - чувствительность фотоприемника на длинах волн А 1, л 2;М - коэффициент усиления...

Номер патента: 1585669

Опубликовано: 15.08.1990

Авторы: Байгильдин, Гайнутдинов

МПК: G01B 11/06

Метки: многослойных, нанесении, оптических, подложку, покрытий, слоев, толщин

...отсюда получены формулы (3) и (4).Для второго слоя из (6) получаем формулу (2).Нанесение первого слоя прекращается по достижении им определенной величины, Очевидно, что наименьшаяошибка в толщине слоя получается когда нанесение слоя прекращается в точке перегиба, т.е. в точке, гдеДифференцируя дважды (5), получа-.ют формулу (1)Доказательство расширения диапазона показателей преломления наносимых слоев и подложки. Т = 3.+Б+Рф(5) Я ного Я 0 14 ---2Нанесение слоя прекращают по достижении потоком прошедшего (отраженного) излучения экстремального значения.При выполнении указанных условий оптическая толщина каждого слоя равна 0,25 ДЭто вытекает из следующих рассуждений: п ип - показатели преломления череП+ 1дующихся слоев.Поток пропущенного...