Патенты с меткой «толщинб1»
Способ измерения толщинб1 и скорости нанесения пленок
Номер патента: 182339
Опубликовано: 01.01.1966
МПК: G01B 7/06
Метки: нанесения, пленок, скорости, толщинб1
...для автоматизации процесса виде предлагается контролируемую часть потока наносимого материала, образующего пленку, пере ключать по достижении заданной части требуемой толщины с одного резонатора на другой и обратно, при этом о толщине пленки судят по числу переключений, а о скорости ее нанесения - по частоте переключений.10 Предлагаемый способ заключается в следующем.Кварцедержатель с кристаллами располагается в контролируемой части потока напыляемого материала и снабжается специаль пым устройством - электромагнитной заслонкой, позволяющей поочередно направлять поток напыляемого материала то на первый, то на второй кристалл (кристаллы должны быть идентичны по своим электроме ханическим и температурным параметрам).Каждый из...