Устройство для ионно-плазменного травления материалов

Номер патента: 1072148

Опубликовано: 07.02.1984

Авторы: Назаров, Полиновский

МПК: H01J 37/30

Метки: изделия, ионного, обрабатываемого, относительно, пучка, установки

...и датчики 2-4,регистрирующие ионный ток, сигналы которых подаются на входы приборов 5 для измерения величины тока. Датчики 2-4выполнены в виде проводящих зондов и установлены в контрольных тачках поверхности шаблона 1. Датчик 2,служащий для центрирования оси ионного пучка с осью вращения изделия,размещен в геометрическом центне шаблона, датчики 3-4, используемые припроверке точности рабочих перемещений ионного пучка относительно изделия - на окружности, диаметр которойравен световому диаМетру изделия впротиволежащих относительно центраточках,Юстировку положения ионного пучка относительно. обрабатываемого изделия (в данном случае центрировку осипучка с осью вращения изделия) осуществляют следующим образом (Фиг.2).Шаблон 1 с...

Номер патента: 1725687

Опубликовано: 20.08.1995

Автор: Манагадзе

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий расположенные соосно и последовательно в вакуумной камере катодный узел с осевым отверстием, кольцеобразный анод, коллектор электронов, систему извлечения ионов, источник электропитания, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности извлечения ионов за счет повышения выхода вторичных ионов и нейтральных атомов из мишени и ионизации нейтральных атомов, источник ионов снабжен дополнительным кольцеобразным анодом, расположенным соосно катодному узлу со стороны, противоположной поверхности катодного узла, обращенной к основному аноду, и подключенным к дополнительному источнику электропитания, и мишенью, расположенной за дополнительным анодом, соосно ему, при этом катодный узел выполнен в виде двух соосно...

Номер патента: 71003

Опубликовано: 25.10.1977

Авторы: Лившиц, Розенталь

МПК: B23P 1/14

Метки: между, металлов, расстояния, установке, электродом-изделием, электродом-инсрументом

...ступенчатость регулирования приводят к прерывистому протеканию процесса, чторезко снижает производительность установки. 3 предлагаемом устройстве используют соленоиды, питаемые током зарядной цепи, с сердечником, представляюаим собою деркавку электрода или сам электНа чертеже показана принципиальная схема предлагаемой установки бесконтактного действия,При достижении на конденсаторе С напряжения И пр, равного пробивномудля разрядного промежутка а, последний будет пробит, и при этом произойдетперенос искрой материала эдектрода. Конденсатор разрядится до напряжения потухания искры, цепь разорвется и схема подготовлена к новому циклу.В установившемся процессе эрозийного переноса металла при данном режиме опредеденному искровому промежутку...

Номер патента: 71007

Опубликовано: 25.10.1977

Авторы: Паллей, Шагалов

МПК: B23P 1/14

Метки: иных, между, металлов, расстояния, сплавов, токопроводящих, установке, электродом-изделием, электродом-инструментом

...вырываются из тела изделия, благодаря чему и осуществляется обработка последнего. Автоматизапию работы устройства д выполини обработки металлов. сплавов и иных токопроводящих материалов по известному способу обычно осу ществляют с помощью соленоидного регулятора. Сердечник соленоида, механически связанный со пшинделем, несущим электрод-инструмент, монет периещаться внутри соленоида лищь в определенных довольно узко ограниченных пределах.Поэтому, для устройств с большим расходом ппиНделя необходимо делать оалеисиды весьма значительных размеров.В предлагаемом устройстве с пелью обеспечения возмсииости осуществления нозВльной длины хода электрода 3 жструмента при ксрсчекксу соленоиде последний снабиен отдельным приводом для сообщении...

Номер патента: 71008

Опубликовано: 25.10.1977

Автор: Шагалов

МПК: B23P 1/14

Метки: иных, между, металлов, расстояния, сплавов, токопроводящих, установке, электродом-изделием, электродом-инструментом

...металла из- делия при контактном или бесконтактном замыкании электрсдов (инструмента и изделия) вырываются из теда изделия, благодаря чему и осуществляется обра- ботка последнего,Существующие соленоиды, применяемые с целью автоматического регулирования работы устройств для осуществления обработки металлов, сплавов и иных токопроводящих материвлов, представляют собой катущки самоиндукции, намотанные проводами различных сечений. Кандан обмотка имеет больаое число отводов. В зависимости от реиима рабою устройства в цепь цитаиия разрядного контура включают то нли иное число витков соленоида.В предлагаемсм устройстве сиду тока в обмотке соленоида регулируют ие с помощью перенлючения числа витков, а автсматически, присоединив оМотиу...