Способ контроля толщины пленки, нанесенной на ферромагнитную основу

СОЮЗ СОВЕ ТСкИХСОЦИАПИС 1 ИЧЕСКИХ(191 11) УБ 5 6 01 В 7/10 АНИЕ ИЗОБРЕТЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОВЕДОМСТВО СССР(71) Рязанский радиотехнический институт (72) В,Ф.Удалов, А.Ю,Борисова и А.Ф.Нилов (56) Авторское свидетельство СССР М 372755, кл. 6 01 В 7/06, 1970.Валитов А. и др. Приборы и методы контроля толщины покрытий. Справочное пособие, Л,: Машиностроение, 1970, с. 14, (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ, НАНЕСЕННОЙ НА ФЕРРОМАГНИТНУЮ ОСНОВУ(57) Изобретение относится к измерительной технике и имеет целью повышение точности способа контроля толщины электропроводных пленок в технологическрм процессе их нанесения на магнитоупругие подложки, Способ контроля Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле толщины неэлектропроводных пленок, нанесенных на ферромагнитную основу в процессе их изготовления, которые применяются в электронике, технике СВЧ или полупроводниковой технике.Цель изобретения - повышение точности при контроле толщины элетропроводных пленок в технологическом процессе их нанесения на магнитоупру гие подложки.На чертеже приведена принципиальная схема реализации способа контроля толщины пленки, нанесенной на ферромагнитную заключается в том, что пару магнитоупругих подложек закрепляют консольно с зазором между ними в камере, заполненной технологической средой, используемой для нанесения пленки на эти подложки, К подложкам подсоединяют электрический индикатор их замкнутого и разомкнутого состояния и помещают в магнитное поле постоянного или переменного тока. В процессе нанесения пленки на поверхность магнитоупругих подложек регулируют напряженность магнит ного поля и определяют значения магнитодвижущих сил или величину тока, соответствующих моментам замыкания и размыкания магнитоупругих подложек, образующих контактную пару. По отношению этих токов определяют коэффициент возврата, по величине которого определяют толщину наносимой пленки, 1 ил,Она содержит пленку 1, наносимую на две ферромагнитные основы 2, которые консольно закреплены на дополнительной фер- Л ромагнитный элемент 3 в технологической Ы среде 4 для нанесения пленки и помещены в ОО магнитное поле с регулируемой напряженно- ,) стью Н, создаваемого, например, катушками Гельмгольца 5. Контроль магнитодвижущей силы срабатывания и отпускания можно вести по амперметру 6, включенному последовательно в цепь катушек.Замкнутое и разомкнутое состояние двух магнитоупругих подложек можно определять контактным способом, т,е. по замыканию и разрыву электрической цепи, в которую они включены. Этот контроль мож1805282 Йотп %раб По полученному значению находят толщину пленки, наносимой на магнитоупругие подложки2 дКв = --- + Ко,2+ Хо Составитель А, Нило Редактор Л, Народная Техред М. Моргентаароши рект Заказ 934 Тираж Подписное ВНИИПИ Государсгвенноо комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 118035, Уо ква. Ж, Раушская наб.,4/5Г 1 роизводственн издаглльгкий кпмбинат Патент", г, Ужгород. ул.Гагарина, 10 но выполнять бесконтактным способом, если вблизи ферромагнитных злементов расположить измерительную катушку 7, в ко 1 орой при соабатывании и отпускании наводится импульс напряжения, измеряемого милливольтметром 8.устройство для реализации способа контроля толщины пленки работает следующим образом, При увеличении напряженности магнитного поля магнитоупругие элементы, помещенные в технологическую среду, замыкаются. При этом измеряется магнитодвижущая сила срабатывания 6 раб.При уменьшении напряженности маг- нитного поля элементы размыкаются и измеряется мэгнитодвижущая сила отпускания Йтл. Затем вычисляется коэффициент возврата где Хоначальный зазор между магнитоупругими элементами;Ко - постоянная, соответствующая = О. Таким образом, данный способ контроля толщины пленки, нанесенной на ферромагнитную основу, позволяет вести этотконтроль без прерывания технологического5 процесса ее нанесения,Формула изобретенияСпособ контроля толщины пленки, начесенной на ферромагнитную основу, заключающийся в том, что помещают их идополнительный ферромагнитный элемент,образующий с фероомагнитной основойпленки пару механически взаимодействующих элементов, в магнитное поле, регулируют величину его напряженности,15 определяют магнитодвижущие силы срабатывания и отпускэния пары механическивзаимодействующих элементов и по их отношению определяют коэффициент возврата, по которому судят о толщине пленки, о т 20 л и ч а ю щ и й с я тем, чтос целью повышения точности при контроле толщины злектропроводных пленок в технологическомпроцессе их нанесения на магнитоупругиеподложки, в качестве пары механическивзаимодействующих элементов используютдве магнитоупругие подложки, которыепредварительно помещают в технологическую среду, закрепляют их консольно с зазором между ними и присоединяют к нимЗО электрический индикатор их замкнутого иразомкнутого состояния,