Урывскин

Номер патента: 347564

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Кононов, Никишин, Попов, Седов, Урывскин, Черников

МПК: G01B 11/06

Метки: нанесенной, образец, пленки, толщины, тонкой

...цз того же материала, что и измеряемый образец.Работаег предлагаемое устройство следчо 10 гцим оооазом,,Чонохроматцческое излучение источника 7фокусируется системой 2 в плоскости измеряемого образца 5, помещенного на предметномстолике 4. Падающие на образец 5 лучи от 15 ражаются от наружной ц внутренней поверхности пленки, интерферцруют ц фокусируютсяв плоскости приемника 8 излучения с помсщью коцдецсора 7, увеличение которого выбрано таким образом, чтобы получить опреде 20 ленное линейное разрешение..Чодулятор 3 выполнен в виде зеркальногодиска с прорезью. Прц его вращении излучение с фокусцрующсц системы 2 надает попсременно то на измеряемый образец 5 через25 прорезь в диске ц далее на кондепсор 7, то назеркальную поверхность...