Способ определения примеси

.Б 3. а695211 А 01 М 2712 г 5 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ в и В.М,Телия орбции свобод- электрофизичеиковых окислов ,4, т.58, с.801. о СССР 2, 1986. проводет быть дзовой го газов повыя. Е =Л 19янная)квантамым оп ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(56) Гутман Э.Е. Влияние адсных атомов и радикалов наские свойства полупроводнметаллов, - ЖВХ, 1984. выпАвторское свидетельствМ. 1242796, кл, О 01 М 27/О(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСИ(57) Изобретение относится к полупроводниковому газовому анализу и может бытьиспользовано для определения газовой Изобретение относится к полниковому газовому анализу и можиспользовано для определенияпримеси в атмосфере неизмеряемвого компонента.Цель изобретения заключаетсшении чувствительности определе Сущность способа определения примеси заключается в том, что анализируемую среду подают иэ баллона или газовой коммуникации в предварительно отвакуумированную герметичную камеру, содержащую чувствительный элемент. Чувствительный элемент представляет собой полупроводниковую пленку оксида металла, нанесенную на огнеупорную изолирующую подложку из кварца, снабженную платиновыми контактами для измерения электропроводности. Термический источник колебательно-возбужденных молекул изготовлен в виде высокопримеси в атмосфере неизмеряемого газового компонента, Цель изобретения - повышение чувствительности определения чувствительного элемента, изготовленного в виде тонкой полупроводниковой пленки оксида металла, нанесенной на нейтральную огнеупорную подложку, и термического источника колебательно-возбужденных молекул. Измеряют начальную скорость изменения электропроводности чувствительного элемента, помещенного в анализируемую среду, не менее чем при двух различных температурах термического источника колебательно-возбужденных молекул, и по полученным данным рассчитывается примесная газовая компонента. температурного диэлектрика, снабженного нагревателем, и помещен в камеру. После подачи среды в рабочую камеру чувствительный элемент выдерживают до постоян-. ного значения электропроводности, затем включают источник колебательно-возбужденных молекул и регистрируют начальную скорость измерения злектропроводности Ч полупроводниковой пленки, помещенной в анализируемую среду, не менее чем при двух различных температурах Т 1 и Т 2 термического источника колебательно-возбужденных молекул, По т 9 р угла наклона ивои в координатах пав -- и по формуле у(Я = 1,987 - газовая посто. мольнаходят величину колебательного молекул газовой примеси и тем са ределяют саму примесь,1695211 Составитель В.ЕкаевТехред М.Моргентал Корректор С.Шевкун Редактор А. Калениченко Заказ 4158 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 П р и м е р 1. Способ определения дейтерия в качестве газовой примеси в атмосфере гелия с помощью чувствительного элемента из оксида цинка.Полупроводниковую пленку ЕпО наносят на огнеупорную изолирующую подложку из кварца; снабженную платиновыми контактами для измерения электропровод- ности, Подготовленный таким образом чувствительный элемент помещают в вакуумную камеру и напускают в эту камеру анализируемую смесь до давления 10 10 торр, Затем включают термический источник колебательно-возбужденных молекул и повышают его температуру до Т 1 = 1170 К, определяют значение начальной скорости изменения Электропроводности ЧьТо же самое проводят при температуре Т 2 = 1273 К и находят Ч 6 .Определяют ц р угла наклона кривой в координатах 1 пЧ 6- - и1 юг по формуле Е = йц р находят величину колебательного кванта, для дейтерия она 89мольП р и м е р 2. Способ определения кислорода в качестве газовой примеси в атмосфере аргона с помощью чувствительногоэлемента из оксида цинка,Последовательность операций такаяже, как и в примере 1, с той лишь разницей,5 что измерение начальной скорости изменения электропроводности чувствительногоэлемента проводят при температурах Т 1 =770 К и Т 2 = 820 К, для кислорода величинаколебательного кванта 4,5ккалмольФормула изобретенияСпособ определения примеси в анализируемой газовой среде методом измерения начальной скорости изменения15 электропроводности помещенного в камеру с анализируемой средой чувствительного элемента, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью повышения чувствительности определения, в камере размещают термиче 20 ский источник колебательно-возбужденныхмолекул, повышают его температуру и определяютт значения начальной скорости изменения электропроводности не менее чемпри двух различных температурах, и по пол 25 ученным данным определяют примесныйкомпонент.