Кварцевая ампула для выращивания монокристаллов

Номер патента: 169064

Авторы: Изергин, Калашников, Сибирский, Черниговска

ZIP архив

Текст

169064 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯк Авторскомь свидетвдьствь Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ависимое от авт. свидетельства12 с, 2 аявлено 26.Ч,1963 ( 833269/23-4) рисоединением заявкиГосударственный комитет по делам изобретений и открытий СССР,г 1 ата опубликования описания 26.1 Ч.1965 6,065,58666.176:546.68 (088.8) У Авторы. П, Изергин, В. Н, Черниговская и А. П, Калашнико Сибирский физико-технический институт при Томском государственном университете им, В. В, Куйбышевагзобретени Заявитель 1РЦЕВАЯ АМПУЛА ДЛЯ ВЪРАЩИВАНИЯМОНОКРИСТАЛЛОВ истемой вакуумных нас оединяет ампулуов. ют.ют дписная гругглаИзвестна разъемная кварцевая ампула для выращивания монокристаллов арсенида галлия из расплава по методу ЧохральскогоГреммельмайера, которую герметизируют с помощью галлиевого затвора, требующего создания противодавления.Ампула состоит из двух разъемных частей. Верхняя часть снабжена отростком для мышьяка, который используется в качестве летучего элемента, и системой магнитного перемещения затравки.С целью многократного использования ампулы и герметизации ее металлическим мышьяком, предлокено в области сочленения разьемных частей установить холодильник, а над ним печь сопротивления. В верхней части ампулы выполнено смотровое окно.На чертеже изображена предлагаемая ампула, общий вид.Корпус 1 ампулы укреплен на подставке 2 с графитовым тиглем 3. Ампула имеет отросток 4 для летучего компонента (мышьяка) и смотровое окно 5. В нижней части ампулы размещен холодильник б. Затравка 7 перемещается с помощью системы магнитного подъема 8. Заданное распределение температуры обеспечивают регулировкой печи 9, индукционного нагревателя 10 и холодильника б. Ампула соединена с фланцем 11 с помощью обычного вакуумного уплотнения 12. Вакуум-провод 13 Перед началом работы внутренние стенки ампулы и ее содержимое тщательно очища После сборки ампулу дополнительно очища путем прокаливания в вакууме мышьяка при 250 в 3 С в течение 2 - 4 час 1 галлия при температуре 600 в 8 С около 2 час). При этом температура стенок ампулы все время поддеркивается 700 С. Затем температуру мышьяка повышают до 608 С, Некоторое количество его конденсируется в наиболее холодной части ампулы вблизи холодильника. Мышьяк создает узкое плотное кольцо между стенками кварцевых трубок ампулы и подставки. Часть мышьяка идет на синтез арсе- нида галлия и создание необходимого давления внутри ампулы. Интенсивный синтез происходит при температуре 1240 С.Высокую стабильность температуры мышьяка обеспечивает мышьяковый отросток, удаленный от зоны высоких температур, На отросток надета медная толстостенная труба.Оплавление затравки и вытягивание моно- кристалла наблюдают через смотровое окно.После получения монокристалла мышьяковое уплотнение перемещается путем прогрева в вакууме в нижнюю часть внутренней кварцевой трубки. Ампула пригодна для повторного синтеза.Предмет изобретения Составитель Т. Ухорская едактор П. Шлаин Техред Л, К. Ткаченко , Корректор Т, В. Муллинаказ 864/7 Тираж 900 Формат бум. 60;901/8 Объем 0,21 изд. л.ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытиМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 а 5 оп.ССР ипография, пр. Сапунова 1. Кварцевая ампула для выращивания монокристаллов арсенида галлия из расплава галлия, состоящая из двух разъемных частей, из которых верхняя снабжена отростком для размещения мышьяка в качестве летучего компонента и системой магнитного перемещения затравки, отличающаяся тем, что, с целью многократного использования ампулы и герметизации ее металлическим мышьяком, в области сочленения разъемных частей установлен 5 годяной холодильник, а над ним печь сопротивления,2. Ампула по п, 1, отличающаяся тем, чтогерхняя часть ее снабжена смотровым окном.

Смотреть

Заявка

833269

А. П. Изергин, В. Н. Черниговска, А. П. Калашников, Сибирский физико технический институт при Томском государственном университетеВ. В. Куйбышева

МПК / Метки

МПК: C30B 15/10, C30B 29/42

Метки: ампула, выращивания, кварцевая, монокристаллов

Опубликовано: 01.01.1965

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-169064-kvarcevaya-ampula-dlya-vyrashhivaniya-monokristallov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Кварцевая ампула для выращивания монокристаллов</a>

Похожие патенты