Способ изготовления магнитопроводов тонкопленочных магнитных головок

Номер патента: 1683066

Авторы: Брызгин, Герасимук, Павлов, Сагайдак, Шейгас

ZIP архив

Текст

(9 5/ ю 5 6 ОБ ПИСА У СВИДЕТЕЛЬСТ ОР гайдак, С.В. Павейгас НИЯ МАГНИТОНОЧНЫХ МАГ- к приборостроовышение качепо ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМРИ ГКНТ СССР(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕПРОВОДОВ ТОНКОПЛЕНИТНЫХ ГОЛОВОК(57) Изобретение относитсению, Цель иэобретения -Изобретение относится к области приборостроения, а именно к технологии производства тонкопленочных магнитных головок.Целью изобретения является повышение качества магнитопроводов тонкопленочных магнитных головок.На фиг, 1-5 представлена последовательность операций по предлагаемому способу; на фиг. 6 - поверхность подложки многодорожечного блока тонкопленочных магнитных головок, вид сверху,Способ осуществляют следующим образом,На поверхности подложки 1 формируют углубления 2, количество которых равно количеству магнитных головок в многодорожечном блоке, Размеры углублений соответствуют размерам магнитопроводов, На поверхность подложки 1 с углублениями 2 нлпыляют слой 3 магнитомягкого материства магнитопроводов. На поверхности не- магнитной токонепроводящей подложки формируют углубления по профилю магнитопроводов, напыляют слой магнитомягкого материала толщиной не менее глубины углублений, наносят защитную маску на зону профиля магнитопровода с увеличением ее на размердопуска формирования защитной маски для совмещения с профилем магнитопровода, удаляют магнитомягкий слой с незащищенных участков, после чего механически удаляют оставшийся магнитомягкий слой с поверхности подложки. 6 ил. ала, формируют маску 4 иэ фоторезиста, закрывая магнитомягкий слой 3 в углублениях 2 с некоторым припуском 5, определяемым допуском на совмещение маски с профилем углубления 2 под магнитопровод, удаляют магнитомягкий слой 3 с незащищенных участков поверхности подложки 1 с последующим снятием защитной маски 4, После этого производят механическое удаление магнитомягкого слоя 3, выступающего над поверхностью подложки 1, получая полностью сформированный в углублении подложки 1 магнитопровод 6. Операция удаления магнитомягкого слоя 3 с поверхности подложки 1 может быть осуществлена с помощью связанного мелкодисперсного алмазного абразива, в частности лентами типа АПЛК- 3, На фиг, 6 приведен вид надложку 1 со стороны сформированных магнитопроводов 6, по линии 7 может быть1683066 произведена пореэка для последующейсборки блока тонкопленочных магнитныхголовок.2 оставитель В, Полуэктовехред М.Моргентал Корректор О. Кравцова ктор М. Бланар Заказ 3416 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 ворственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Формула изобретения Способ изготовления магнитопроводов тонкопленочных магнитных головок, при котором на поверхности токонепроводящей немагнитной подложки формируют углубления с профилем магнитопроводов, напыляют магнитомягкий слой толщиной не менее глубины упомянутых углублений и шлифовкой удаляют магнитомягкий слой с поверхности подложки, отл и ч а ю щи й ся тем, что, с целью повышения качества магнито проводов, после напыления магнитомягкогослоя часть его удаляют фотолитографией при сохранении слоя в зоне профилей магнитопроводов, причем зона профиля увеличена на размер допуска формирования 10 защитного слоя для проведения фотолитографии,

Смотреть

Заявка

4659583, 07.03.1989

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8071

ГЕРАСИМУК ЛЕОНИД НИКОЛАЕВИЧ, САГАЙДАК ВАСИЛИЙ АНДРЕЕВИЧ, ПАВЛОВ СЕРГЕЙ ВИКТОРОВИЧ, БРЫЗГИН ИГОРЬ МИХАЙЛОВИЧ, ШЕЙГАС ЕЛЕНА АНДРЕЕВНА

МПК / Метки

МПК: G11B 5/37

Метки: головок, магнитных, магнитопроводов, тонкопленочных

Опубликовано: 07.10.1991

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1683066-sposob-izgotovleniya-magnitoprovodov-tonkoplenochnykh-magnitnykh-golovok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления магнитопроводов тонкопленочных магнитных головок</a>

Похожие патенты