Способ контроля адгезии

(5)5 6 01 й 19/04 ГОСУДАР СТВЕ ННЫЙПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР ОМИТЕТОТКРЫТИ ь 1 ЯЯ )Т ОБРЕТЕН) АВТ ОМ ИДЕТЕЛ Ь СТВУ этери Ти -ого импульсаения материа длительность лазе зффициент погл а -ла.Воэ ложки л эдают отрыва судят об При теле подл полярно реходом посравн ет необ границе у подложки с пленщающего материалас которого меньше ожки, а толщина й ениям ; и 1/а,ОПИСАНИ(71) Пензенский политехнический институт(56) Епишин Е.Г. и др, Определение адгеэионной прочности пленочных структур иэделий электронной техники лазернымиударными волнами. - Физика и химия обработки материалов. 1988, М 5, с. 80-84.(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ АДГЕЗИИ(57) Изобретение относится к контролю адгезии пленок, Цель изобретения - расширение номенклатуры контролируемыхсоединений путем увеличения диапазона Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано при контроле адгезии пленок (фольг).Цель изобретения - расширение номенклатуры контролируемых соединений путем увеличения диапазона отрывающих усилий и уменьшения предельных толщин отрываемых пленок, а также повышение достоверности контроля путем уменьшения вероятности разрушения подложки.Способ осуществляют следующим образом. На тыльную сторон кой наносят слой погло акустический импедан чем у материала подл удовлетворяет соотнош Соти/2 фЬ- "СоТи)Ж,168289 отрывающих усилий и уменьшения предельных толщин отрываемых пленок, а также повышение достоверности контроля путем уменьшения вероятности разрушения под. ложки. На тыльную сторону подложки с пленкой наносят слой поглощающего материала, акустический импеданс которого меньше, чем у материала подложки, а толщина выбрана иэ условий Со Ги/2 Ъ Со ти, Ь1/ а, где Со- скорость звука в поглощающем материале; ти - длительность лазерного импульса; а - коэффициент поглощения материала, Воздействуют на тыльную сторону подложки лазерным импульсом излучения и создают на границе подложка - пленка отрывающее усилие, по величине которого судят об адгезии. Со - скорость звука в поглощающеле; деиствуют на тыльную сторону под аэерным импульсом излучения и со а .границе подложка - пленка ющее усйлие, по величине которого адгезии. облучении в указанных условиях в ожки происходит генерацич двуо импульса с форсированным пеот сжатия к растяжению, который ению с однополярным обеспечиваодимое открывающее усилие на 1 ленка - подложка при амплитудах1682894 50 а 500 см и 10 Вт/смО 10 Вт/см,можно добиться регулирования амплитуды отрывающего усилия в очень широких пределах отрывающего усилия от 10 до 10 Па.П р и м е р, Измерение адгезии проводят на пленочном резисторе с толщиной полуволн сжатия-растяжения, в два раза меньших по абсолютной величине.Амплитуда Р двуполярного акустического сигнала, возбуждаемого в поглощающем слое, зависит от поглощательной способности материала слоя и на глубине х Ы/а ориентировочно оценивается как пленки 0,1 мкм и металлофольговом резисторе с толщиной фольги 3 мкм, изготовленга Со о 7 ипри а С ти ( 1,Ориентировочное выражение для оценки амплитуды отрывающего усилия на границе подложка - пленка при описанном способе формирования акустического сигнала имеет видСоф о 1 и Т 2 720 макс = 2Ср 1 (Ео+А)где тг- задержка акустического сигнала в пленке;Ео, Е 1, Ег - акустические импедансы соответственно материалов поглощающего слоя, подложки и пленки, при этом ЕоЕ 1, Выбрав в качестве варьируемых параметров Составитель А.БулашевичТехред М.Моргентал Корректор О,Кравцова Редактор Н.Бобкова Заказ 3408 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, уп.Гагарина, 101 где 1 о - плотность излучения;Ср - теплоемкость поглощающего материала;Р - коэффициент его обьемного расширения;Со- скорость звука в поглощающем материале.На форму возбуждаемого акустического сигнала влияют также его отражения на границе поглощающий материал - подложка. Форма двуполярного акустического сигнала искажается вследствие отражений, если выполняются следующие условия;6 ( Со ги, 11 . 1/а .Причем время с перехода от сжатия к растяжению пропорционально зависит от величины и и изменяется от ти/2 до ги. 10 ных на подложке из ситалла толщиной 0,мм. Плотность излучения составляет 10 Вт/см, длительность лазерного импульса 60 нс на уровне половины амплитуды. Тыльная сторона подложек покрывается черной 15 нитроэмалыо толщиной й = 10 г см с коэффициентом поглощения а =100 см .Формула изобретения Способ контроля адгезии соединенияпленки с подложкой, по которому облучают соединение лазерным импульсом излуче ния дпя создания на границе соединенияотрывающего усилия, по величине которого судятобадгезии,отл и чаю щи йс,я тем, что, с целью расширения номенклатуры контролируемых соединений путем увеличения 25 диапазона отрывающих усилий и уменьшения предельных толщин отрываемых пленок, а также повышения достоверности контроля путем уменьшения вероятности разрушения подложки, облучению лазер ным импульсом подвергают тыльную сторону подложки, которую предварительно покрывают слоем поглощающего материала, акустический импеданс которого меньше акустического импеданса материала 35 подложки, а толщину й слоя выбирают иэусловийСо Ьи/2 Ю Со Ь; и 1/ агде Со - скорость звука в поглощающем материале, мкм/нс;40 ь - длительность лазерного импульса.нс;а - коэффициент поглощения материала, мкм