Способ определения высоты объекта над поверхностью

Номер патента: 1004755

Опубликовано: 15.03.1983

Авторы: Медведев, Поплавский, Таганов, Таганова

МПК: G01B 11/30

Метки: высоты, объекта, оптический, поверхности, шероховатости

...в плоскости падения, объективом 3 Фокусируют на поверхность исследуемого объекта 11 в пятно диаметром 100 мкм. Угол Ч падения излучения на объект 11 составляет 14.о Отраженный от объекта 11 световой поток регистрируют приемной системой в области сферического Фронта волны.Измерение интенсивности производят на краю дифракционной фигуры рассеяния, для чего получают индикатрису отражения путем вращения приемной системы вокруг исследуемого объек:" та 11. Регистрацию .изменения интенсивности отраженного потока осуществляют при фиксированном положе- б 5 нии приемной системы при линейномперемещении исследуемого объекта 11с сохранением положения нормали вплоскости падения. Статистическуюобработку сигнала с Фотоэлектронного умножителя 10,...

Номер патента: 1397728

Опубликовано: 23.05.1988

Авторы: Бабулевич, Кизеветтер, Малюгин

МПК: G01B 11/30

Метки: бесконтактного, высоты, поверхности, шероховатости

...работает следующим образом.Луч лазера, пройдя диафрагму 2,которая Формирует диаметр луча 0,5 -1 мм, попадает на исследуемый образец 3. Отраженное излучение регистрируется ПЗС-фотоприемником, видеосигнал, соответствующий индикатрисерассеяния, преобраэовывается в цифровой код и запоминается в запоминающем блоке 6. После окончания запоминания видеосигнала, последнийпереписывается в блок 7 усреднения,где происходит накопление и усреднение индикатрис рассеяния. По окончании перезаписи подается команда напередвижение образца. С помощью специальной подвижки перемещение производится так, что угол падения лазерного луча относительно нормали остается постоянным (обычно выбирают этотугол 8-15 ). При этом излучение лазера попадает на новый...

Номер патента: 1800294

Опубликовано: 07.03.1993

Авторы: Ашурлы, Васьковский, Горохова, Конюшкина, Коренев, Ровинский, Ценина

МПК: G01J 5/50

Метки: действии, излучения, лазерного, металлическую, моноимпульсного, плазмообразования, поверхность, полированную, порога

...изменения параметра наэтойкривой, при которомбЬ/бЕ=Ои б Ь /бЕ О,.где Е - плотность энергии ла 2 2зерного излучения.Разработанный способ может быть использован для определения порогов плазмообразования при площади пятна воздействия лазерного излучения более чем 0,5 кв,см, Ограничение площади пятна воздействия связано с тем, что она не должна быть меньше площади пятна зондирующего излучения при эллипсометрических измерениях параметра.Примеры (фиг.2-5).Порог плазмообразования при действии излучения СОг - лазера на поверхность медных и алюминиевых зеркал был определен предлагаемым способом и способом- прототипом, В проведенных экспериментах был использован импульсный электроразрядный СОг-лазер. Длительность лазерного импульса составляла...

Номер патента: 654853

Опубликовано: 30.03.1979

Авторы: Мазуренко, Скрелин, Топорец

МПК: G01B 11/30

Метки: бесконтактный, высоты, непрозрачных, образцов, поверхности, фотометрический, шероховатости

...тем, что с целью повышения точности и упрощения процесса измерения последовательно измеряют сигналы от полного и диффузного отражения от поверхности изделия потоков и среднеквадратическую высоту шероховатости определяют по формуле где Л - длина волны облучающего пучка света;1 дифф, Гало/дн - СООТВЕТСТВЕННО СИГнаЛЫ ОТ диффузного и полного отраженных потоков;а=3,1416 - известная постоянная.На чертеже изображена принципиальная схема установки для реализации и предлагаемого способа.Установка содержит источник света 1(лазер), зеркало 2, экран 3, ловушку света 4, фотометрический шар 5 с отверстиями б - 9 и фотоприемник 10.Осуществляется предлагаемый способ следующим образом. Световой пучок, имеющий малое угловое расхокдение, от источника 1 с...

Номер патента: 872959

Опубликовано: 15.10.1981

Автор: Скрелин

МПК: G01B 11/30

Метки: бесконтактный, высоты, образцов, поверхности, прозрачных, фотометрический, шероховатости

...о определяемые, напр формулами Френеля, воначальном положе разца;Т 1 - коэффициент пропускания4измеряемой поверхности итолщи образца в первоначальном его положении;Т " сигналы от диффузного и1полного потоков, отраженных от поверхностей в первоначальном его положении, , г - коэффициенты зеркальногоотражения измеряемой и противоположной изповерхностей образределяемые, напримформулами френеля,перевернутом положеобразца;У - коэффициент пропуспротивоположной измой поверхности и ний за счет искажений, вносимых слоем при воспроизведении микрорельефа, и в ряде случаев делает непригодными образцы для эксплуатации.Целью изобретения является повышение точности и упрощение процесса измерения.Поставленная цель достигается тем, что после...