Бабулевич

Номер патента: 1397728

Опубликовано: 23.05.1988

Авторы: Бабулевич, Кизеветтер, Малюгин

МПК: G01B 11/30

Метки: бесконтактного, высоты, поверхности, шероховатости

...работает следующим образом.Луч лазера, пройдя диафрагму 2,которая Формирует диаметр луча 0,5 -1 мм, попадает на исследуемый образец 3. Отраженное излучение регистрируется ПЗС-фотоприемником, видеосигнал, соответствующий индикатрисерассеяния, преобраэовывается в цифровой код и запоминается в запоминающем блоке 6. После окончания запоминания видеосигнала, последнийпереписывается в блок 7 усреднения,где происходит накопление и усреднение индикатрис рассеяния. По окончании перезаписи подается команда напередвижение образца. С помощью специальной подвижки перемещение производится так, что угол падения лазерного луча относительно нормали остается постоянным (обычно выбирают этотугол 8-15 ). При этом излучение лазера попадает на новый...