Стекло
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 5 П 5 С 03 С 3/072 ОПИ ОБРЕТЕН ой хи- ьедидский,ров ойства сте ол га к,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Институт общей и неорганичесмии АН БССР и Производственное онение "Электромодуль"(54) СТЕКЛО Изобретение относится к составам диэлектрических стекол с низким коэффициентом линейного термического расширения (КЛТР), способных образовывать тонкие пленки на кремнии путем термического испарения в вакууме и предназначено для применения в электронной и электротехнической промышленности в качестве материала для защиты активной части кремниевых полупроводниковых приборов (тиристоры, диоды, транзисторы) от неблагоприятных внешних воздействий среды.Цель изобретения - повышение корроэионной устойчивости тонкопленочных стеклопокрытий в воде и водно-аммиачной среде,Конкретные составы стекол приведены в табл. 1.В качествепользуют кварцалюминия, тита исходных компонентов исевый песок, оксиды свинца, на, олова. борную кислоту,Ж 16559(57) Изобретение относится к свинцовоборосиликатным бесщелочным диэлектрическим стеклам и предназначено для применения в электронной и электротехнической промышленности в качестве материала для защиты активной части кремниевых полупроводниковых приборов от неблагоприятных внешних воздействий среды. С целью повышения коррозионной устойчивости тонкопленочных стеклопокрытий в воде и водно-аммиачной среде стекло содержит, мас.,ь: Я 02 13,8-23,9: А 120 з 1,9-9,3; В 20 з 8.4 - 23,8: РЬО 33,7 - 63,0: М 90 0,1 - 2,0; 5 гО 0,2 - 5,2; ТОз 1,2 - 8,1; Яп 024,6 - 11,0, Коррозионная устойчивость пленок ф потери массы через 1 сут) в Н 20 0-3, в 10-ном растворе аммиака до 30. 2 табл,карбонаты магния и стронция квалификации "х.ч.", "о.с.ч.",Исходные компоненты отвешивают в соответствии с заданным составом и смешивают, синтезируют стекла при 1350"С, измельчают их и отсеивают фракцию стекла с размером зерен 90 - 200 мкм. Полученный порошок стекла используют для формирования стеклопленок методом термического испарения в вакууме с применением резистивного испарителя, При использовании электронно-лучевого испарителя из гранулята стекла после его повторного расплавления изготавливают методом отливки стеклянную шайбу, соответствующую форме тигля электронно-лучевого испарителя,Физико-химические св к приведены в табл, 2.Существенным преимуществом предла емого стекла является высокая коррозион стойкость получаемых тонких степклоплен1655923 Таблица 1 Таблица 2 что обеспечивает надежную защиту р-п-перехода полупроводниковых приборов от неблагоприятного. воздействия внешней среды как при технологических операциях изготовления приборов, связанных с при менением воды и водных растворов (фотолитография), так и в процессе эксплуатации приборов в атмосферных условиях,Отсутствие в составе :текла оксидов, обладающих способностью к необратимой 10 термической диссоциации в вакууме, или оксидов, обладающих слишком низким давлением паров, обеспечивает формирование тонкопленочных стеклопокрытий на кремнии при термическом испарении стекла в 15 вакууме с сохранением состава исходного материала и, следовательно, с сохранением присущих исходному стеклу электрофизических и термических свойств,Преимуществом предлагаемого стекла 20 является также отсутствие реиспарения его с подложки при вакуумном напылении тонсреднее из 4-х измерений ких пленок, Вследствие хорошей растекаемости стекол описываемых составов по поверхности кремния формируемые из них стеклопленки обладают пониженными пористостью и количеством дефектов поверхности.Формула изобретения Стекло, включающее ЯЮъ А 120 з, ВгОз, РЬО,М 90,5 гО, отличающееся тем. что, с целью повышения коррозионной устойчивости тонкопленочных стеклопокрытий в воде и водно-аммиачной среде, оно дополнительно содержит 5 п 02 и Т 02 при следующем соотношении компонентов, мас.: .Б 02 13,8 - 23,9А 20 з 1,9-9,3В 203 8,4 - 23,8РЬО 33,7 - 63,0М 90 0,1-2,0ЯгО 0,2-5,2Яп 02 4,6 - 11.0Т 02 1,2 - 8,1
СмотретьЗаявка
4695832, 29.05.1989
ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ И НЕОРГАНИЧЕСКОЙ ХИМИИ АН БССР, ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "ЭЛЕКТРОМОДУЛЬ"
ГРОЖИК ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ, БЫЧКО ГАЛИНА ВЛАДИМИРОВНА, ХОДСКИЙ ЛЕВ ГЕОРГИЕВИЧ, ГУБИНА ЕЛЕНА ОЛЕГОВНА, ЗАБИЛА ГРИГОРИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ, ЗАХАРОВ АНАТОЛИЙ НИКОЛАЕВИЧ, ПОЛИВОДА ГРИГОРИЙ МИХАЙЛОВИЧ
МПК / Метки
МПК: C03C 3/072
Метки: стекло
Опубликовано: 15.06.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1655923-steklo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Стекло</a>
Предыдущий патент: Устройство для получения волокна из термопластичного материала
Следующий патент: Стекло для получения полупроводящих материалов
Случайный патент: Дреноукладчик