Способ зажигания сильноточного тлеющего разряда

/2 з 15 Н О ЕНИ бд ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТпО изОБРетениям и ОткРытиймПРИ ГКНТ СССР САНИЕ ИЗОБР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Истринский филиал Всесоюзного элект, ротехнического института им. В.И. Ленина (72) А,С, Метель(56) Гущенец В.Н. и др. Плазменный источ-ник электронов с сеточным управлением. - В кн,: Ч 1 Юсес. сими. по сильноточной электронике, Тез.докл. - Томск: ИСЭ СО АН СССР, 1986, ч, 2, с, 100, рис. 1.Глазунов В.Н, и др. Сильноточный генератор плазмы квазинепрерывного режима на основе тлеощего разряда с осциллирующими электронами, - 8 кн.: М Всес. симп. по сильноточиой электронике. Тез. докл. - Томск: ИСЭ СО АН СССР, ч,2, с. 89, рис 1.(54) .СПОСОБ ЗАЖИГАНИЯ СИЛ 1 НОТОЧНОГО ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДАЩ Изобретение относится к технике сильиоточных генераторов однородной в больщих (более 10 л) рабочих объемах плазмы.,Ж 16370 Цель изобретения - повышение скорости зажигания тлеющего разряда и уменьшение тока поджигающего импульса. В исходном состоянии ключ 7 разомкнут, а между анодом(А) 4 и катодом(К) б горит вспомогательный разряд. При положении поджигающего импульса между вспомогательным К 5 и многостержневым К 3 ток переключается в цепь многостержневого К 3. В результате промежутки между стержнями заполняются плазмой, затем замыкается ключ 7, между А 2 и К 3 прикладывается разрядное напряжение от источника 6 и зажигается сильноточный тлеющий разряд. Изобретение позволяет обеспечить зажигание сильноточного тлеющего разряда за меньшее время (10-20 мкс), что повышает быстродействие устройства. При этом пороговый ток поджигающего импульса уменьшается на два порядка, цто уменьшает эрозию и загрязнение конструктивных элементов и повышает срок службы устройства, 2 з.п,ф-лы, 1 ил,10 20 30 35 40 Изобретение относится к технике сильноточных генераторов однородной в боль ших (ь 10 л) рабочих объемах плазмы, функционирующих при низких (102-1 Па) давлениях газа и может быть использовано в источниках электронных и ионных пучков большого сечения, в управляемых газоразрядных приборах, а также в. технологических установках для ионного травления изделий в плазме сильноточного тлеющего разряда.Цель изобретения - повышение скорости зажигания тлеющего разряда и уменьшение тока поджигающего импульса.На чертеже представлена схема устройства, в котором реализуется предлагаемый способ зажигания сильноточного тлеющего разрядаУстройство содержит расположенные внутри вакуумной камеры 1 анод 2 и много- стержневой катод 3 тлеющего разряда, вспомогательный анод 4, всповегательный катод 5, источник 6 разрядного напряжения, прикладываемого между катодом 3 и анодом 2 при замыкании ключа 7 (например, тиристорного), источник 8 питания вспомогательного разряда и источник 9 поджигающих импульсов, прикладыввемых между катодом 3 и электродом вспомогательного разряда, например, катодом 5 (в случае использования в качестве вспомогательного разряда вакуумной дуги). 8 зависимости от конструктивных особенностей устройства вспомогательный анод 4 и/или анод 2 тлеющего разряда могут быть соединены с камерой 1 или вообще отсутствовать. В последнем случае их роль выполняет амера 1.Способ осуществляется следующим образом.В исходнои состоянии ключ 7 разомкнут, а, между анодом 4 и катодом 5 при давлении газа в камере 1 10 -1 Па горит вспомогательный разряд, например дуговой. При приложении поджигающего импульса от источника 9 между вспомогательным 5 и многостержневым 3 катодами ток вспомогательного разряда переключается иэ цепи вспомогательного анода 4 в цепь многостержневого электрода 3 и достигает амплитуды, определяемой параметрами источника 9. В результате промежутки между стержнями быстро заполняются плазмой, Затем замыкается ключ 7, между анодом 2 и заполненным плазмой катодом 3 прикладывается от источника 6 разрядное- напряжение в несколько сотен вольт и зажигается сильноточный тлеющий разряд с многостержневым холодным катодом.По сравнению с известным предлагаемое изобретение обеспечивает зажигание сильноточного тлеющего разряда с много- стержневым холодным катодом за мейьшее на порядок время (10-20 мкс), что существенно повышает быстродействие устройств. При этом пороговый ток поджигающего импульса уменьшается на два порядка, чтоуменьшает эрозию и загрязнение конструктивных элементов и повышает срок службыустройства. Формула изобретения 1. Способ зажигания сильноточнога тлеющего разряда в генераторе плазмы с многостержневым холодным катодам,включающим подачу на катод разрядного напряжения и заполнения промежутков между стержнями холодного катода плазмой вспомогательного разряда путем подачи на электроды тлеющего разряда и вспомогательного разряда генератора поджигающего импульса напряжения, при этом потенциал электрода тлеющего разряда превышает потенциал анода вспомогательногоразряда,отличающийся тем;что, с целью повышения скорости зажигания тлеющего разряда при уменьшении тока поджигающего импульса, поджигающий импульс прикладывают между электродом вспомогательного разряда и многостержневым катодом, и разрядное напряжение подают после заполнения плазмой промежутков между стержнями холодного катода.2. Способ по и. 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что поджигающий импульс прикладывают между катодом вспомогательного разряда и мнагостержневым катодом.3. Спосабпоп.1, отличаю щийс я тем, что поджигающий импульс прикладывают между анодом вспомогательного разряда и многостержневым катодом.