Способ вибрационной плоскопараллельной доводки

)5 В 24 В 37/О ГОСУДАРСТВЕННЬПО ИЗОБРЕТЕНИЯПРИ ГКНТ СССР ОМИТЕТОТКРЫТИЯ БРЕТЕН ЛЬСТВУ й, при отсутствии о ступов и наиболее ра ение неровностей и т следующим обращие ви доводке жду при ОПИСАНИ К АВТОРСКОМУ СВ(56) Повидайло В,А и Третько В,В, Исследование процесса плоскопараллельной доводки тонких и хрупких материалов, Алмазнаяи абразивная обработка деталей машин иинструмента - Сб,трудов, - Пензенский политехнический институт, 1985,(54) СПОСОБ ВИБРАЦИОННОЙ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНОЙ ДОВОДКИ(57) Изобретение относится к абразивнойобработке и может быть использовано длядвухсторонней доводки монокристаллических тонких и хрупких пластин, применяемых в электронной промышленности, а о ола.Я.Стрижак и Р.Я.СахИзобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано для двухсторонней доводки монокристаллических тонких и хрупких пластин, применяемых в электронной промышленности.Целью изобретения является повышение качества доводки тонких пластин путем формирования оптимального микрорельефа с равномерным распределением неровностей по спектру шагов,Свойство обработанной поверхности зависит не только от величины шероховатости, определяемой параметром Ва, но и от формы микронеровностей, которая характеризуется спектральным составом микрорельефа, Под оптимальным понимается микрорельеф, имеющий наименьшую высотакже прецизионных деталеи в машино- и приборостроении. Целью изобретения является повышение качества доводки путем формирования оптимального микрорельефа с равномерным распределением неровностей по спектру шагов, Для этого изменяют направление вращения водила после каждого оборота на обратное. Одновременно реверсируют поступательные круговые антифазные движения притирочных дисков и измеряют их амплитуду на величину, которая зависит от числа оборотов водила за цикл обработки, радиуса во- дила, средней амплитуды поступательных круговых движений притирочных дисков и частоты их круговых движений. При этом каждое абразивное зерно может пройти только по эквидистэнтной сложной траекто. рии, формируя микрорельеф с равномерным распределением неровностей по спектру шагов. ту микронеровносте дельных впадин и вь номерное распреде спектру шагов.Способ осуществ зом,Подлежараллельнойводиле меВключением электр будителя притирочн поступательные круг жения. а водилу и и ное движение вокруПосле одного об направление его вра реверсируя поступат брационнои плоскопапластины размещают в тирочными дисками,омагнитного вибровозым дискам сообщают овые антифазные двиласти нам - вращательцентра их осей,орота водила изменяют щения, одновременно ельные круговые антй 1636195фазные движения притирочных дисков и изменяют амплитуду поступательных круговых движений на величину ЬА, определяемую иэ условия: Амакс Амин 5и ГДЕ Амакс И А мин ДИаПаэоН аМПЛИтуД Эф фективной обработки,и - количество оборотов водила, определяемое по формуле 10Т и =т где Т - время длительности цикла обработки,т - время одного оборота водила, 15 При движении деталей совместно с водилом каждое абразивное зерно оставит на детали след в виде спирали шириной, равной двум амплитудам колебаний. На протяжении одного оборота водила на детали окажется 20 сетка из спиралей одинаковой ширины, но образованных разными абразивными зернами,Вероятность полного наложения каких либо спиральных следов в этом случае близ ка к нулю, При втором обороте водила существует вероятность попадания абразивных зерен в "свои следы", а следовательно, об-. разование более глубоких впадин. Если при втором обороте уменьшить амплитуду коле баний, то все зерна опишут эквидистантные траектории со спиральным следом меньшей ширины, а вероятность совпадения "собственных следов" будет равна нулю,При реверсировании колебаний прити рочных дисков после каждого оборота в работу резания вступают противоложные грани каждого абразивного зерна. что способствует самозатачиванию зерен и полностью исключает совпадение каких либо 40 следов, Таким образом, будет сформирован микрорельеф с равномерно распределенным спектром и предельно низкими сглаженными неровностями.Например, если цикл обработки Т со ставляет 5 оборотов водила, а диапазон амплитуд эффективной обработки находится в пределах 0,5 - 5 мм, то изменение амплитуды поступательных круговых движений дисков за один оборот водила составляет; 50 Ь А = Амакс - Амин 5 - 0,5 - 0 9и 5В случае, когда вращение водила осуществляется от колебаний притирочного диска, время одного оборота водила 1 55 определяется из условия 2 лй лй(Ачакс Амин)Ргде В - радиус водила; м - частота круговых движений Дисков- средняя амплитуда посту 2пательных круговых движений притирочных дисков.Например, радиус водила й = 250 мм, максимальная амплитуда круговых движений дисков Амакс = 5 мм, минимальная Амин = 0,5 мм. частота круговых движений дисков 1 = 25 Гц, тогда время с одного оборота водила составляет 7 с,Если цикл обработки Т = 2 мин, то изменение амплитуды Л А поступательных круговых движений дисков за один оборот водила равно 0,26 мм,При алмазной доводке монокристаллических пластин по предлагаемому способу зерно подвергается воздействию усилий, быстро изменяющихся во времени и по направлению, что исключает образование глубоких царапин на пластине, так как зерна не смогут находиться в закрепленном состоянии длительное время. Поскольку каждое зерно абразива может пройти только по эквидистантной сложной траектории, то на поверхности пластин формируется оптимальный микрорельеф с равномерным распределением неровностей по спектру шагов,Производительность процесса несколько ниже за счет частичного снижения амплитуд колебаний, но это снижение существенно перекрывается повышением достигаемого качестча поверхности,Формула изобретения Способ вибрационной плоскопараллельной доводки тонких пластин, при которой их размещают во вращающемся водиле между притирочными дисками, совершающими поступательные круговые антифазные движения, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения качества доводки путем формирования оптимального микрорельефа с равномерным распределением неровностей по спектру шагов, направление вращательного движения водила после каждого его оборота изменяют на обратное. одновременно реверсируют поступательные круговые антифаэные движения притирочных дисков и изменяют их амлитуду на величину ЛА, определяемую по формуле д А Амакс Аминпгде Амакс и Амин - диапазон амплитуд обработки;во оборотов водила.и - колич