Способ получения феррогранатовых структур

СОЮЗ СОВЕТСКИКСОЦИАЛИСТИЧЕСКРЕСПУБЛИК 9) ГОСУДАРСТВЕНН ПО ИЗОБРЕТЕНИ ПРИ ГКНТ СССР ОМИТЕТОТКРЫТИЯМ НИ ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ К АВТОРСКОМУ СВИ ЕЛЬСТВУ 1(71) Донецкий государственный университет(57) Изобретение относится к техноогии получения гранатовых слоев и может быть использовано в производстве магнитных приборовмикроэлектроники, Цель изобретения - снижение. продолжительности процесса и уменьий ен 86,л в ны.1. В платинО мм и выс вый тиой у галлии-гадолиниром 30 мм и толину предварительно разивом (крупотмывают, закрепржателе и нагретой температурет навески исходных оотношенни, мол.%; 35 32 В ВаР РЬО Изобретениегии получения гжет быть испольве магнитных прники,Цель изобретдолжительностиние потерь платПриме ргель диаметром110 мм загружаюкомпонентов в сСй СаО,г относится к технолоранатовых слоев и мо зовано в производстиборов микроэлектроения - снижение пропроцесса и уменьшеГ 51)5 С 30 В 19/02) 29 шение потерь платины. Способ. вклю-чает нагрев подложки из галлий-гадолиниевого граната до 900-1050 С, еетравление раствором-расплавом, содержащим, мол %: ИЗСа 501 г или УРею1-5; Вг 03 31-35; ВаО 30-35; ВаЕ 1214; РЪО остальное, в течение 0,31,5 мин и последующее выращиваниена ней монокристаллического слояизраствора-расплава, содержащего компоненты граната и растворителя. Всравнении с прототипом способ позволяет снизить продолжительность процесса за счет увеличения более чемв пять раз скорости травления подложки, а также предотвратить заметноерастравливание платинового тигляпри проведении не менее 200 процессополирующего травления подложек. Общий вес загрузки составляет1100 г, Во второй тигель загружаютисходные компоненты для приготовления раствора-расплава, используемого при выращивании слоев (УЕцТшса)х(РеСе)О,г . Тигли помещают в печь,нагревают до 1100 С и осуществляютгомогенизацию растворов-расплавовв течение 6 ч. В.качестве подложки. используют ориентированную в направлении (13 1) пластиневого граната диаметщиной 0,5 мм. Пластполируют алмазным абность зерна 1 мкм),ляют в ппатиновом девают до 900 С. При э1604871 Составитель А, ЛихолетовТехред Л,Олийнык Корректор И.Эрдейи Редактор А.Шандор Заказ 3435 Тираж 347 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 подложку погружают в раствор-расплав, находящийся в первом тигле, иосуществляют. травление подложки соскоростью 30 мкм/мин, Скорость ВраЩения подложки в растворе"расплаве сос"тавляет 100 об/мин, Через 0,3 минпосле начала травления подложку извлекают из первого раствора-расплаваи погружают в раствор-расплав, находящийся во втором тигле, при температуре 910 С. Выращивание слоя(УЕцТтпСа) (Ребе)О,г проводят в тече-:ние 3 мин при скорости вращения подложки 150 об/мин. Полученный монокристаллический слой имеет плотностьструктурных дефектов 0,3 см ,Подвижность доменных границ в:слоесоставляет 1200 см/м.ж., а одноосная магнитная анизотропия и намагниченность равны соответственно 1,4 х.К 101 зрг/см и 300 Гс.Н р и м е р 2, Реализация спосо,ба аналогична описанной в примере 1.Однако раствор-расплав, используемый для травления подложки, содержит,мол.Е:У. Ре 50,г 431ВаО 30 .30ВаР12РЪО23а подложку нагревают до 1050 С и осу-,ществляют травление при этой температуре в течение 1 мин при скоростивращения подложки 300 об/мин.Плотность структурных дефектовв полученном монокристаллическом слоене превышает 0,3 см-. Подвижностьдоменных границ равна 1200 см/м.ж.,а одноосная магнитная анизотропия и намагниченность составляют соответственно 1.,4 10 эрг/см и 300 Гс.Предлагаемый способ по сравнению с прототипом позволяет в 6 раз уменьшить интенсивность испарения высокотоксичного РЬО иэ раствора-расплава, 1 тредотвратить заметное растравливание платинового тигля при проведении не менее 200 процессов полирующего травления подложек, повысить скорость травления подложек более чем в 5 раз при сохранении качества получаемых монокристаллических слоев гранатов,Формула изобретенияСпособ получения феррогранатовых структур, включающий травление в платиновом тигле нагретой подложки .из галлий-гадолиниевого граната раствором-расплавом, содержащим СЙ Са 50, или 7 Ре О, , РЪО и В О , и последующее выращивание на ней монокристаллического слоя из раствора-расплава, содержащего компоненты .граната и растворитель, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью снижения продолжительности процесса иуменьшения потерь платины, пбдложку нагревают до 900-1050 ф С, в раствор-расплав для травления дополнительно вводят ВаО и ВаР при следующем соотношении компонентов, мол.7:ГйСа 50,г илиЗРе 50 гВ гО 531-35 ВаО:30-35 ВаРг 12-14 РЬО Остальное а травление ведут в течение 0,3- 1,5 мин