158633
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 158633
Текст
Класс Н 01/; 21 д, 11 ваМ 158633СССР Иодггггсная гргппа М 97Р. Д. Тихонов и И. И. Рубцов СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕИИЯ СРЕЗОВ р-ПЕРЕХОДОВЗаявлено 29 :, арта 196 г.:а .6 771 ЗСЗ 26-9в Конте но дела наоретеннн н о"наг;Й н 1 н Совете .1 ннет 11 ов СССР Онуб,.нковаго в Боплетено наог 19 етен:1, н товарных ана 5 ов М 22 аа 1963 г,Известен способ элекгр,;искровой резки металлов с использоваиеъ 1 В каестве электрода-и 1 струмента дВпжугцеЙся прОВОлок 1. а В качестве среды - высокоомной воды.Известны также способы изготовления шлифа полупроводникового прибора. Однако эти способы сложнымалопроизводительны.Отличительной особенностьО предлагаемого способа изготовления срезов р-гг-переходов является использование электроэрозионной резки р-и-переходов. Это позволяет упростить технологию, сократить время изготовления срезов и без дополнительных Операций выявить металлографическую структуру в плоскости среза.На фотографии дан вид среза германиевой р-гг-структуры, выяв,пенной предлагаемым способом изготовления срезов р-и-переходов (а - граница рекристаллизоганного "лоя со стороны эмиттера, б - то же, со стороны коллектора, в - осгровки основного германия).ИсследуемыЙ Образец подвергаегся э,гектроэрозионпОЙ резке В требуемой плоскости. Настройка места среза ведется под микроскопом.В качестве электрола-инструмента используется, например, вольфрамовая проволока 1 диаметром5 - 50 1 к).Процес. проводится в струе в 1 сокоопо воды с удельным сопротивлением 3 - :10 иол. Ся. Источником питания разрядного промежутка является релаксационный КС генератор импульсов. Анодом служит обрабатываемый образец, катодом - инст 1 в.1 епт. Проволока-инструмент непоерывно перематывается со скоростью 5 - 10 1.1/сея. Напряжение холостого хода на искровом промежутке 10 - ;50 в, рабочий ток Ь - 12 за,М 158633 2 П ) С Д М С Т И 3 О О ) Е Т С Н И 51 Способ изготовления срезов р-т-переходов образцов полупроводниковых приборов для изучения их структуры, отлич а го цийся тем, то, с целью у погнен ия техО.ОГии и сокрягцения Вре)1 ени изГОтОВления срезов, металлографическуо структуру в плоскости среза выявлян)т путем электроэрозионной резки р-п-переходов. савв,осав Ю. И. Тсснек схрс; А. А. Камышик Корректор Л елактор С. Л, Богатырева арова Годп. к псч. 251 Х 1 - 63 г. Заказ 3050/17 ЦНИИП рос)дар :,в Обьем 0,18 пзд. Гк Цена 4 копткрыти 11 СССР г бум. 70 Ъа)к 1275и)вр. Серов Фо 0)1 аробрстспИ о комвтстаосква, Цсв; Твн ирафпв, р. а ухова Стяои:иззци 51 с)кнзз Осуцсс) вляетс 51 поддержанием зздзнноГО 15 - :8 л искрового промежутка. Гдя этой цели в установку вводят чувствительный регулятор. Г 1 роцесс длится от 2 до 5,5 ин, после резки сбразе)ц готов для исследования.1 сслсдОВянис Веду) нз ъе алло рсЦ)иеское хк 1)оскопе.Вследствие различия удельного сопротивления и типа проводимости отдельных Областей ооразца, а также в силу ряда других причин эле 1(т 1)оэ 1)ози 51 этих ОО,Ястсй 11;ет по-рззгОху. В 1)езультяте этОГО дзн. НЫЕ ООЛЗСТ ВЫГЛяд:1 т Ппд КИК 1)ОСКОПОМ рЗЗЛИги 1 О. ТЯНИ) Об 1)ЗЗОМ, КО- гут быть зыявленырзницы этих обчастей, а следовательно, и внутренняя геомегрия прибора. Кроме того, сд:овременно с процессом резки имее место электрохимическое подтравливание обрабатываемой поверхности, причем в различной степени для разли 1 ных областей, что также способствует выяьлеч цо микрг)с) руктуры,
СмотретьЗаявка
771568
МПК / Метки
МПК: H01L 21/302
Метки: 158633
Опубликовано: 01.01.1963
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-158633-158633.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">158633</a>
Предыдущий патент: 158632
Следующий патент: 158634
Случайный патент: Устройство для загрузки при испытаниях трактора