Аморфный сплав для тонкопленочных резисторов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1574663
Авторы: Башев, Доценко, Мирошниченко
Текст
) С 22 С 19/О 0 ИЗОБРИДЕТЕЛЬСТВУ ОПИСАНИК АВТОРСКОМ ЕТЕНИЯ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(71) Днепропетровский государственный университет им.300-летия воссоединения Украины с Россией(56) Царанович К,В, и др, Стабильность низкоомных тонкопленочныхрезисторов из сплава на основе меди.В кн.: Новые материалы для электроники. - Киев, ИПМ АН УССР, 1983,с. 61-66,Металлургия, 1975. Реферат11 И 641. Изобретение отно. нрецизионым сплавам с улучшенными электрофизическими характеристиками, исползуемым в тонкопленочной и микроэлектронике для получения резисторов снизким температурным коэффициентомсопротивления.Цель изобретения - снижение велчины температурного коэффициентасопротивления.Введение в состав никельалюминиевого сплава вольфрама обеспечиваетфиксирование аморфной структурысплава, снпжение величины температурного коэффициента сопротивления, хорошую стабильность и высокую адгези(54) АМОРФНЫЙ СПЛАВ ДЛЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ(57) Изобретение относится к разра-. ботке прецизионных аморфных сплавов с улучшенными электрофизическими характеристиками, используемых в тонкопленочной микроэлектронике для получения резисторов с низким температурным коэффициентом сопротивления (ТКС). Цель - снижение величины ТКС. Сплав содержит, мас.Х: никель 44,5-58,0; вольфрам 0,2-5,5; алюминий - остальное. Сплав в напыленном состоянии имеет следующие свойства: поверхностное сопротивление 6,8-7,5 Ом/кв; ТКС свеженапыленных пленок от -40 10 до -6010 К ; ТКС после термообра- Е-510 до -710 К ; стабильность за 1000 ч при 85 С 0,25-0,353. 1 табл. С к подложке Ь 700-800 г/ми), что обеспечивает возможность снизить габаритные размеры тонкопленочных резисторов.П р и м е р. Пленки ионно-плазменным методом получали на установке УРМ.279,014 при токе разряда 20 мА анодном токе 1 А, напряжении на ление ни 2 кВ и времени напыления 900 с с мозаичных мишеней, Мозаичные мишени представляли собой набор квадратов (36 шт) размером 10 х 10 х 5 мм чистых металлов, равномерно распределенных по площади распыления, Напыление про водили на ситалловые подложки пркомнатной температуре и на сксл моно1574663 Химический состав и свойства сплавов предложенного и известного составов Стабильность 6,8/к,за 1000 ч при 85 С, Х Состав сплава, мас,Х ТКС послетермообработки при200 С втечение30 мин,кКС свеженаПзверхностное сопротивление Е , Ом/кв 5 Сплав пыпенных пле 1 ок К оль-Никельрам Алюминий 6, 11 Остальное 1,4-1,7 3 10-6010 0,3 0,3 0,25 025 0,35 75 6,8 7,3 7,4 7,0 58,0 44,5 50 б 58,0 51,0 То же3,5 36 4,5 5,5 0,2 Предложенный Редактор Л, Пчолинская Составитель А.Зенцов Техред Л,Сердюкова Корректор И.Иаксимишинец Тираж 487 Заказ 1759 Подпис ное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 кристалла поваренной соли. В дальнейшем скол с напыленной пленкой помещали в дистиллированную воду для растворения и дальнейшего исследования рентгеноструктурным методом.Химический состав исследованных сплавов и свойства пленок представлены в таблице.С целью получения прецизионных значений ТКС, близких к нулю, следует проводить термообработку в течение 30 мин при 200.С в пределах суоществования аморфного состояния, температура кристаллизации которого сосотавляет -350 С. Высокая температурно- временная стабильность (ЬК/Кб " 0,25- .0,33), близкий к нулю ТКС; низкие (5-7 м/кв) значения величины поверхностного сопротивления резисторов из предложенного сплава, высокая.4ф 700 г/ммф).адгезия к подложке иминимальные номиналы по К 2 Гг Ом/кв,способствуют увеличению гарантирован ного срока эксплуатации изделий иэних, уменьшению габаритных размеровпассивных элементов микросхем. Формула изобретения1 О Аморфный сплав для тонкопленочных резисторов, содержащий алюминийиникель, отличающийсятем, что, с целью снижения величины, 15 температурного коэфФициента расширения, он дополнительно содержит вольфрам при следующем соотношении компонентов, мас.Х:Никель 44, 5-58, 0 20 Вольфрам 0,2-5,5Алюминий Остальное
СмотретьЗаявка
4436815, 20.04.1988
ДНЕПРОПЕТРОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. 300-ЛЕТИЯ ВОССОЕДИНЕНИЯ УКРАИНЫ С РОССИЕЙ
БАШЕВ ВАЛЕРИЙ ФЕДОРОВИЧ, ДОЦЕНКО ФЕДОР ФЕДОРОВИЧ, МИРОШНИЧЕНКО ИВАН СТЕПАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: C22C 19/00, C22C 21/00
Метки: аморфный, резисторов, сплав, тонкопленочных
Опубликовано: 30.06.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1574663-amorfnyjj-splav-dlya-tonkoplenochnykh-rezistorov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Аморфный сплав для тонкопленочных резисторов</a>
Предыдущий патент: Ящичный электролизер
Следующий патент: Брикет для получения комплексных сплавов на основе кремния и марганца
Случайный патент: Способ выплавки стали в кислородном конвертере