Состав для ретуширования фотошаблонов

СОНИ СОВЕТСКИХ06 ЮФРиРЕСПУБЛИН 51)5 С 03 С ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НПО ИЗСЬРЕтЕНИЯМ И ОткПРИ ГННТ СССР ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ЬСТВ 438407/23-048,06.883.04.90. Бюл. У 15рославское научно-пое объединение "Элекие от тности фотош вания лью И АВТОРСКОМУ СОИ Изобретение относится к микроэлектронике и радиоэлектронике, к составам для ретуширования эмульсионных штриховых фотошаблонов, применяемых при изготовлении гибридных интегральных схем с размерами элементов 100 мкм и более и печатных плат.Целью изобретения является повышение выхода годных фотошаблонов,П р и м е р 1. В 0,8 мл диметилсульфоксида (уд,в. 1,0946) растворяют 0,25 г эриохрома черного Т. Получают состав, мас .ч.: эриохром черный Т 33; диметилсульфоксид 67.Ретуширование производят на пластинки фотографические для фотошабиЯО МБИ 24 А 1 Ж повышения выхода годных фотошаблонов состав имеет следующее соотношение компонентов, мас.ч,: краситель эриохром черный Т или эриохром синий ЯЕ или эриохром оранжевый 14-33, растворитель диметилсульфоксид 67- 86. Данный состав обеспечивает хорошее качество фотошаблонов, т.к, полу чаемая ретушь устойчива к воздействию растворителей (водный раствор мыла, спирта), применяемых для отмывки фотошаблонов после нескольких актов контактной печати на фоторезистивные слои заготовок изделия. Годность фотошаблонов, изготовленных с использованием данного состава, составляет в среднем 903, а после пятой отмывки - в среднем 8071 табл. лонов интегральных схем ВР-П (ТУ6-17-927-83) с помощью микроскопаМБСпри температуре состава 20 -25 С. Фотопластинку с нанесеннойретушью выдерживают на воздухе 1020 мин, отмывают з деионизованнойводе и сушат в термошкафу при С =о50 С в течение 5-10 мин.П р и м е р 2, В 1,6 мл диметилсульфоксида (уд.в, 1,0946) растворяют 0,4 г эриохрома чернего Т,Получают состав, мас.ч., "эриохромчерный Т 20; диметилсульфоксид 80Далее, как в примере 1.П р и м е р 3. В 2,7 мл диметилсульфокснда (уд.в, 1,0946) раство1559324 Устойчивость ретуши к воздействию растворителей (спирт, водный раствор мыиа), применяемых для отмывки фотошаблонов, проверяли после пяти (1-я отмывка), десяти (2-я отмьвка), и двадцати пяти актов контактной печати (5-я отмывка),Срок службы фотошаблона 30 актов.10 Отмьвки проводят после каждых 5актов, Результаты проверки представлены в таблице. 1 Количество отмьвк и образцов,шт,первой второй пятой 10 100 80 10 70 10 100 10 80 70 10 100 80 10 10 70 010 Из представленных в таблице дан ных следует, что предлагаемый состав обеспечивает хорошее качество. фото- шаблонов, так как получаемая ретушь устойчива к воздействию растворителей (водный раствор мыпа, спирт), применяемых для отмьвки фотошаблонов после нескольких актов контактной печати на фоторезистивные слои заготовок изделия. После второй отмьвки все фотошаблоны, изготовленные 50 с использованием известного состава, приходят в негодность, годность же фотошаблонов, изготовленных с использованием предлагаемого соста" ва, в среднем составляет 907 а посряют 0,5 г эриохрома черного Т.Получают состав, мас.ч.: эриохромчерный Т 1.4; диметилсульфоксид 86.Далее, как в и риме ре 1 . Быпо подготовлено еще 6 составов,3 из которых отличались от приведенных ранее лишь использованием в качестве красителя эриохрома синегоЯЕ, а 3 - использованием эриохромаоранжевогб,Пример Состав смеси, мас,ч,Эриохром черный Т 33 Диметилсульфоксид 67 Эриохром черный Т 20 Диметилсульфоксид 80 Эриохром черный Т 14 Диметилсульфоксид 86 Эриохром синий ЯЕ 33 Диметилсульфоксид 67 Эриохром синий ЯЕ 20 Диметилсульфоксид 80 Эриохром синий ЯЕ 14 Диметилсульфоксид 86 Эриохром оранжевый 33 Диметилсульфоксид 67 Эриохром оранжевый 20 Диметилсульфоксид 80 Эриохром оранжевый 14 Диметилсульфоксид 86 Прототип Годнос ть образцов, 7, после 100 100 100 90 100 80 100 100 100 90 100 80 100 100 100 90 100 8010 10 ле пятой отмьвки (последней) - в среднем ЗОХ,Формула из об ретенияСостав для ретуширования фотошаблонов, включающий краситель и растворитель, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения выхода годных фотошлаблонов, состав в качестве красителя содержит эриохром черный Т или эриохром синий ЯЕ, или эриохром оранжевый, а в качестве растворителя - диметилсульфоксид при.следующем соотношении компонентов, мас.ч,:Краситель 14-33Диметилсульфоксид 67-86