Установка ионного легирования

Номер патента: 1540641

Авторы: Диасамидзе, Цеквава

ZIP архив

Текст

.Ацпйд ЛЬСТВ АВТОРСН е Целью иэо е качеств изводительн ка содержит асп сточник амере и сь в пол ННОГО ВН ют на по ы закреп полож попад Образ диска новлен на валу гателя, который в ектромагнита выпо статора, 1 ил. ис лектродв в поле э ает щег аикц носитс нных части исследоваповы"ьности ляются легируемыамеру откачиваюсточник. ФормиГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЬПИЯПРИ ГННТ СССР(56) КгапЖ 1, Оезддп ОЕ ап апй в 1 аг 1 оп Гог.а Мдп сиггецпй акоп двр 1 апса 1 оп зхэсеш Кад 1 агдоп еНесг,в, 1 979, ч.44, р.р.81, 83, .86.Там же, с.83-86.(54) УСТАНОВКА ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ (57) Изобретение относится к области ускорительной техники для получения ускоренных потоков заряженных частиц, применяемых в Физических исслеИзобретение от я к областиФускорительной техники дпя получения ускоренных потоков заряже цв применяемых в физическихниях и технологии.Целью изобретения является шение качества и пронзводнтел легирования.На чертеже показана схема установки ионного легирования.Установка содержит ионный источ" ннк 1, электромагнит 2 постоянного тока, вакуумную камеру 3 и держатель 4 образцов, который состоит иэ каретки 5, якоря 6 для вращения диска 7 с эакрепленньпи на нем образцами и механизмов 8, 9 горизонтального перемещения каретки.Установка работает следующим об,разом.На диске 7 эакрепе. образцы. Вакуумную к т и запускают ионный и ЯО 154 О 6 ованнях и технологии ения является повыше сти легирования. Устаэлектромагнит, ионныйложенный в вакуумнойель образцов. Ионы,электромагнита, расвакуумной камеры,ерхность образцов.ены на поверхности руемые в ионном источнике иэ негозаряженные частицы в виде ионногопучка попадают на поверхность образцов, укрепленных на диске 7. Для получения необходимого равномерногооблучения по всей поверхности образцов они имеют две степени свободыдвижения, Горизонтальное воэвратнопоступательное перемещение осущест-,вляется при помощи электродвигателя9, находящегося вне вакуумной камерыи червячной пары 8, а вращательноедвижение создается якорем 6 при воздействии на него магнитного поляэлектромагнита 2 установки конноголегирования. Угловая скорость вращения диска с образцами находится взависимости от величины тока, проходящего через обмотку якоря и напряженностью магнитного поля, создаваемого электромагнитом установки илегко регулируется их соотношением.На установках ионного легирования.Рыбалои ектор М.Кучерявая е вк ех Заказ б 75 Тнр Подписное 6 ИИИПИ Государственного комитета ям и и113035, Москва, Ж н аж 467по изобретенн-35, Раушская НТ СССР кзвсдствеино-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 напряженность магнитного поля обычно находится в пределах О,2-16 Тл, что достаточно для создания необхо" димого вращательного момента якоря.6 ) рюИспользование имеющегося в уста-. новке ионного легирования магнитного поля электромагнита, отсутствие ста" торе, облегчение якоря и получение ,вращения диска держателя с Образцамн при помощи только якоря улучшает качество экспериментальных работ иа 1кей. Кроме того, повышаемся чистота , среды в объеме держателя образцов,повышается то 1 ность юстировайия плос кости образцов по отношению к потоку внедряемых в них заряженных частиц т,е, угол паденияионного пучка на Ъбразцы остается неизменным и увеличивается плотность ионного тока. формула из об ретенияУстановка ионного легирования, содержащая ионный источник, электромаГнит постояннОГО тока вакуумную камеру с держателем образцов, состоя" щим иэ подложки в виде диска, механизма для вращения диска и механизма для горизонтального сканирования, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения качества к производительности легировакия, держатель образцов расположен между полюсами электромагнита, а в качестве механизма для вращения диска использован якорь электродвигателя, вЫполненный иэ диамагннтного материала, причем ось вращения диска направлена .Перпендикулярйо силовым линиям магнитного поля установки.

Смотреть

Заявка

4252350, 08.04.1987

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-7797

ДИАСАМИДЗЕ Э. М, ЦЕКВАВА И. А

МПК / Метки

МПК: H05H 5/00

Метки: ионного, легирования

Опубликовано: 15.01.1991

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1540641-ustanovka-ionnogo-legirovaniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Установка ионного легирования</a>

Похожие патенты