Сканирующий предметный столик для систем автоматического контроля параметров полупроводниковых пластин

(51) В 26 ГОСУДАРСТПО ИЗОБРЕТЕПРИ ГННТ СС ННЫЙ НОМИТЕТИЯМ И ОТНРЫТИЯМ ЕТЕНИ 8)(54) СКАНИРУЮЩИЙ ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛИКДЛЯ СИСТЕМ АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН(57) Изобретение относится к приборостроению и предназначено для использо вания в.системах автоматического контроля полупроводниковых пластин в массовом производстве. Цель изобретенияповышение быстродействия и точностипозиционирования пластины. Блок 14управления включает приводы 12, 13,которые осуществляют перемещение пластины 11 по осям Х,У., Далее сигнал с .блока 14 управления поступает на ка"тушку 8 индуктивности, которая, взаимодействуя с магнитным полем постоянного магнита , перемещает шток 9с держателем 10 полупроводниковойпластины 11 вдоль оси Е на позициюизмерения. 1 ил.1536344 формула изобретения Составитель С.ОреТехред М.Дидык Редактор И.Циткина Заказ 107 Тираж 443 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5 еПроизводственно-издательский комбинат Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина,101 Изобретение относится к приборо-,троению и предназначено для использования в системах автоматического контроля полупроводниковых пластин в массовом производстве.Цель изобретения- повышение быстродействия и точности позиционирования пластины.На чертеже представлено предлагае мое устройство.Сканирующий предметный столик для систем автоматического контроля параметров.полупроводниковых пластин содержит основание 1, на котором в ,направляющих 2 установлена каретка 3 с направляющими 4, в которых установлена каретка 5 На каретке 5 неподвижно закреплен корпус 6, в котором размещен кольцевой постоян,ный магнит 7, в зазоре которого размещена катушка 8 индуктивности. На ка" ,тушке 8 индуктивности закреплен шток 9 с держателем 10 пластины 11. Столик содержит приводы 12,13 перемещения кареток 3,5 во взаимно перпендикулярных направлениях по осям Х,У). Катушка 8 индуктивности и приводы 12, 13 подключены к блоку 14 управления. ,Для поворота штока 9 с держателем 10 пластины 11 предусмотрен микрометрический винт.Устройство работает следующим образом.8 исходном состоянии каретки 3,5 занимают крайнее положение, при котором шток 9 с держателем 10 опущен. 8 этом положении контролируемая полупроводниковая пластина 11 с транспортных или загрузочно-разгрузочных моду лей системы автоматически подаются на держатель 10, где Фиксируются посред" ством вакуума, Ьлок 14 управления включает приводы 12,13, осуществляющие перемещение пластины 11 по координатам Х,У, Затем блок 14 управления Формирует сигнал на включение катушки 8 индуктивности. 8 результате про" текания через катушку тока, ваэимодействующего с магнитным полем постоянного магнита 7, возникает ЭДС элект 50ромагнитной индукции, перемещая катушку 8 индуктивности со штоком 9 и дер; жателем 10 пластины вдопь оси Е на позицию измерения. При достижении заданного расстояния между контролируемой пластиной 11 и измерительным средством осуществляется измерение требуемого параметра пластины. По оконцании процесса измерения посредством приводов 12,13 осуществляется перемещение пластины 11 относительно измерительного средства по координатам Х,У и-выбор другой точки измерения. При этом осуществляется поддержание постоянного расстояния между пластиной 11 и измерительным средством.По окончании процесса измерения блок 14 управления Формирует сигналы на перемещение кареток 3,5, штока 9 с держателем 10 пластины 11 в исходное положение, Пластина 11 автоматически перегружается на другую позицию, а на ее место загружается следующая пластина. Сканирующий предметный столик для систем автоматического контроля параметров полупроводниковых пластин, содержащий установленные на основании две каретки, размещенные одна над другой, с приводом для их перемещения в двух взаимно перпендикулярных направлениях, привод вертикального перемещения кареток держатель пластины, закрепленный на одной иэ кареток, блок управления, связанный с приводами перемещения кареток, о т л ич а ю щ и й с я тем что, с целью повышения быстродействия и точности позиционирования пластины, дополнительно введены шток, катушка индуктивности, постоянный магнит, при этом держатель пластины размещен на штоке, жестко закрепленном на катушке индуктивности, размещенной в зазоре постоянного магнита, причем катушка индуктивности додклюцена к блоку управления, а шток и магнит размещены в корпусе, жестко закрепленном на ка" ретке.шинКорректор В,Гирняк