Интерференционный способ контроля вогнутых параболоидов

СОЮЗ СООЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯН АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР 1(56) Инюшина А,И., Шифферс Л,А. Интерференционный метод контроля вогнутых параболических поверхностей, - ОМП, 1966, 1 7, с, 33-34(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ СПОСОБ КОНТГОНЯ ВтнутЫХ ПАРАБОЛОИДОВ(57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и можетбыть использовано для контроля формыкрупногабаритных вогнутых параболоидов, Целью изобоетения является поИзобретение относится к контрольно-измерительной технике и можетбыть использовано для технологического и аттестационного контроля крупногабаритных (диаметром больше 150 мм)вогнутых параболоидов с большими относительными отверстиями в оптическом приборостроении,Цель изобретения - повышение точности контроля крупногабаритных параболоидсв с большими относительнымиотверстиями.На чертеже схематически представлено устройство для осуществленияпредлагаемого способа.Устройство содержит источник 1 когерентного излучения и расположенныепо ходу .лучей нопденсор 2, диафрагму 3, светоделительную пластину 4,ЯО 1515037(51) 4 С 01 В1/24, 9/02 вышение точности контроля, Для этогоосвещение параболоида осуществляютколлимированным пучком с диаметромне менее 1/5 диаметра контролируемого параболоида параллельно его осипутем последовательного направленияпучка на внеосевые участки диаметрального сечения параболо 1 да, расстояние между центрами которых выбирают не больше радиуса освещенногпучка, Путем последовательного отражения от параболоида, сферическогозеркала и вновь от параболоида формируют коллимированный рабочий пучок, который совмещают с опорнымпучком до получения интерференционной картины, по которой осуществляют контроль формы, 1 ил. объектив 5, светоделительную пластину 6 с эталонной плоской поверхностью, .отражатель 7, установленный с .возможностью перемещения вдоль оптической оси объектива 5, вспомогательное сферическое зеркало 8, диафрагму 9 и экран 10, Позицией 11 обозначен контролируемый параболоид.Способ осуществляют следующим образом.Свет от источника 1 фокусируют конденсором 2 в плоскость диафрагмы 3, установленной в фокусе объектива 5. Параллельный пучок, вьппедший иэ объектива 5, разделяют на два пучка с помощью светоделительной пластины 6. Один из пучков после отражения от эталонной поверхности пластины 6 направляют в объектив 5 и исПовышение точности контроля обеспечивается благодаря тому, что используются опорный и рабочий волновые фронты небольшого диаметра, которые могут быть сформированы с более высокой точностью, чем волновые фронты большего диаметра. Формула и э о б р е т е н и я Составитель В. Вахтедактор А. Огар Техред Л.Олийнык рректор А. Об Заказ 6215/40 ВНИИПИ Государственног 113035Подписное изобретениям и открытия Раушская наб д. 4/5Тираж 683 омитета поосква )(-3 ГКНТ ССС-оиэ водс тв енн о-и эда т ел ь ский комбинат Пат ент , г . Ужгород , ул . Гагарина , 1 0 3 1515037 пользуют в качестве опорного пучка. Другой пучок направляют параллельно оси 00, параболоида 11 на его крайний внеосевой участок, после отражения от которого он собирается в фокусе Р параболоида 11, С помощью сферического зеркала 8, центр кривизны которого совмещен с фокусом Р параболоида 11, пучок направляют н обратном направлении и после второго отражения от внеосевого участка параболоида, отражателя 7 и прохождения пластины 6 воспринимают объективом 5. Совмещают рабочий и опорный пучки до получения интерференционной картины, по которой осществляют контроль формы параболоида 11 путем наблюдения непосредственно глазом через диафрагму 9 или на экра не 1 О, После этого отражатель 7 перемещают вдоль оптической оси объектива 5, последовательно направляя пучок, диаметр которого не меньше 1/5 диаметра параболоида 11, на вне осевые участки, расположенные в одном диаметральном сечении параболоида 11, причем расстояние между центрами соседних внеосевых участков устанавливают не больше радиуса осве щающего пучка.По результатам измерения погрешностей изготовления на каждом гнев осевом участке определяют форму параболоида в выбранном сечении.Интерференционный способ контроля вогнутых параболоидов, заключающийся в том, что освещают коллимированным пучком контролируемый параболоид параллельно его оси, формируют рабочий пучок путем последовательного отражения от поверхности параболоида и вспомогательного зеркала и совмещают рабочий пучок с коллимированным опорным пучком до получения интерференционной картины, по которой осуществляют контроль формы, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности контроля крупногабаритных параболондов, освещение параболоида осуществляют пучком с диаметром не меньше 1/5 диаметра параболоида путем последовательного направления пучка на внеосевые участки параболоида вдоль его диаметрального сечения, а расстояние между, центрами соседних участков выбирают не больше радиуса освещающего пучка.