Устройство для введения легко испаряющихся примесей в расплав полупроводниковых материалов

Номер патента: 150488

Авторы: Калнач, Одзиня

ZIP архив

Текст

150488 Класс 12 с, 2;4011, 1 зо СССР ИСАН ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ исная грргпа39. Калнач и А. Я. Одзиня ВВЕДЕНИЯ ЛЕГКОИС АСПЛАВ ПОЛУПРОВО МАТЕРИАЛОВ РЯЮЩИХ ИКОВЫХ СТРОЙСТВО ДЛ ПРИМЕСЕЙ В Заявлено 12 октября 1961 г. за747956/22-2 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРБ 1 оллетене изобрет й 19 з Опубликовано 62 г,га Недостатком известного устройства для введения легкоиспаряющихся примесей непосредственно в полупроводниковый расплав является то, что в процессе вытягивания кристаллов вследствие колебания давления паров примеси полупроводниковый расплав засасывается в сосуд с примесью, когда ее еще имеется значительное количество. Это приводит к нарушению технологического процесса.Описываемое устройство исключает казанный недостаток. Достиется это тем, что оно снабжено поплавком,На чертеже изображено предлагаемое устройство.Устройство состоит из пузырька 1 грибовидной формы с цилиндрической ножкой 2, имеющей отверстие 3, которое плотно закрыто пришлифованным к нижней поверхности ножки поплавком 4. Держатель 5 прикреплен к концу штока для вытягивания кристаллов.Принцип действия устройства следующий. Пузырек 1 через отверстие 3 заполняют легкоиспаряющейся примесью. После расплавления полупроводникового материала устройство опускают в расплав так, что в последний погружены поплавок и часть ножки пузырька, При этом примесь в пузырьке нагревается и испаряется. По достижении соответствующего давления пары примеси отталкивают поплавок, выходят в расплав и растворяются в нем. При уменьшении давления паров поплавок автоматически закрывает отверстие, предотвращая таким образом засасывание расплава в пузырек.150488 Предмет изобретения Устройство для введения легкоиспаряющихся примесей в расплав полупроводниковых материалов, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью редотва 1 цения з 4 Юасьвания расплава в устройство, последнее снабжено поплавкой. Редактор Н, Л Корченко Теред А, А. Камышникова Корректор Р. М, Рамазан ипография ЦБТИ, Москва, Петровка, 14,Г 1 одп, к печ 1,1 Хг,Зак. 9312ЦБТИ Комитета по делалМосквТ Тираж изобретений и Центр, М, Че и, 70 Х 108/1 а650ткрытий прикасский пер Объем 0,18 изд, л,Цена 4 кбн,вете Министров СССР2/6.

Смотреть

Заявка

747956, 12.10.1961

Калнач Л. П, Одзиня А. Я

МПК / Метки

МПК: C30B 15/04

Метки: введения, испаряющихся, легко, полупроводниковых, примесей, расплав

Опубликовано: 01.01.1962

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-150488-ustrojjstvo-dlya-vvedeniya-legko-isparyayushhikhsya-primesejj-v-rasplav-poluprovodnikovykh-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для введения легко испаряющихся примесей в расплав полупроводниковых материалов</a>

Похожие патенты