Способ очистки поверхности электрода термоэмиссионного преобразователя от углерода и его соединений
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1475417
Авторы: Геращенко, Гусева, Засимович, Клименко, Корюкин, Никольский, Степанчиков
Текст
1475417 Формула изобретения Составитель В.СинянскийТехред М.Ходанич Корректор В.Гирняк Редактор Т,Куркова Заказ 3331. Тираж 400 ПодписноеВНИИП 11 Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская иаб и. 4/5/ Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул, Гагарина, 101 цни кислорода и, .следовательно,глубины очистки из-за увеличения скорости распьоения приповерхностного слоя ионами кислорода в процессе имплантации. Прн давлении остагочных газов више 6,65 10 Па происходит адсорбция углерода Ма поверхность из остаточноговакуума, что снижает эффективность способа, так как имплан. тированньй кислород расходуется на взаимодействие с адсорбирующим углеродом и последующую десорбцню в виде СО,ФДля осуществления способа в электрод ТЭП на ионно-лучевом ускорителе проводят нмплантацию кислорода дозой 1 О - 2 10 ион/см с ускорениемь60-80 кэВ. Затеи электрод помещают в вакуумную камеру или устанавливают на рабочее кесто в ТЭП и, получив вакуум не ниже 6,65 10 Ла, электрод нагревают и отжигают при 750-850 С в течение 3-4 ч. При этом поверхность электрода на глубину около 1000 А очищается от углерода и его соединений,П р и м е р, Способ реализован на электроде из монокристаллическогомолибдена. Имплантация кислорода осуществлена с суммарной дозой 2 хх О ион/см . После этого электро(1 а5ды отжигались при 750 и 850 С с одновременным контролем времени очистки поверхности от углерода, Полнаяочистка поверхности от углерода впервом случае осуществлена за180 мин, а во втором - за 200 мин,Глубина очистки составила около1000 А.ф 15Способ очистки поверхности электрода термоэмиссионного преобразователя от углерода и его соединений,включающий нагрев и отжиг электродав вакууме в присутствии кислорода,о т.л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью повьппения скорости и качестйа электрода из молибдена, переднагревом в приповерхностный слой 25 электрода имплантируют ионы кислорода дозой 1 0 - 2 10 ион/см и,энергией 60 - 80 кзВ, а отжиг осуществляют в течение 3 - 4 ч при 750 - .850 С и давлении остаточных газовне более 6,651 О Ла.
СмотретьЗаявка
4302834, 26.08.1987
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1758
ГЕРАЩЕНКО С. С, ГУСЕВА М. И, КОРЮКИН В. А, СТЕПАНЧИКОВ В. А, НИКОЛЬСКИЙ Ю. В, КЛИМЕНКО Е. В, ЗАСИМОВИЧ И. Н
МПК / Метки
МПК: G21D 7/00, H01J 45/00
Метки: поверхности, преобразователя, соединений, термоэмиссионного, углерода, электрода
Опубликовано: 23.09.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1475417-sposob-ochistki-poverkhnosti-ehlektroda-termoehmissionnogo-preobrazovatelya-ot-ugleroda-i-ego-soedinenijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ очистки поверхности электрода термоэмиссионного преобразователя от углерода и его соединений</a>
Предыдущий патент: Способ стабилизации сквозного проплавления
Следующий патент: Бесконтактный термоэлектрический преобразователь
Случайный патент: Способ получения расширенного соединения внедрения в графит хлорида металла