Спекл-интерферометр

СОЮЗ СОВЕТСНИХОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК о 4 0 9 02 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ТОРСНОМУ СВ ЛЬСТВ Целью и чувстви ний в о юл. Р 13 ехническиио комсомолаА.Плохов,ов инско ко, С ечк 88.(56) ЖТФ (54) СПЕ (57) Изо ствам дл ний и пр п еремеще ражающих 104-110 1973,-ИНТЕРетение 5, с. РОМЕТ тноси ся к устройных измереисследования диффузно отичных точках,интерфе назначе о для ности в раз ии пове объекто ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(53) 531.715.1 зобретения является повышение тельности измерения перемещетдельной точке объекта за счет увеличения эффективной величины алертурного угла, Для этого спеклинтерферометр снабжен двумя зеркалами 7 и 8, переотражаюшими излучение от точки 11 объекта 1 О, не попадающее непосредственно на фокусирующую линзу 1, через отверстия 3 и 4 диафрагмы 2 на фоторегистратор 9, Лругая часть излучения (диффузно рассеянного объектом 10) задерживается непрозрачной частью диафрагмы 2 и боковыми стенками цилиндрических бленд 5 и 6. 1 ил,Изобретение относится к устройствам для интерференционных измеренийи предназначено для исследования перемещений поверхности диффуэно отражающих объектов в отдельных точках,Целью изобретения является повышение чувствительности измерения перемещений в отдельной точке объекта,находящейся на оси интерферометра за 10счет увеличения эфФективной величиныапертурного угла,На ч ер теже предс тавлена схемаспекл-интерферометра.Интерферометр содержйт источник 15когерентного излучения и систему освещения объекта (не показаны),фокусирующую линзу 1, диафрагму 2 сдвумя симметрично расположеными относительно оси интерферометра отверстиями 3 и 4, выполненными с цилиндрическими блендами 5 и 6, и два зеркала 7 и 8, размещенные в плоскости расположения оптической оси и отверстий 3 и 4 и ориентированные так, 25что нормали к их поверхностям совпадают с биссектрисами углов между нап-равлениями от зеркал 7 и 8 на точкус повышенной чувствительностью, расположенную на оси и от зеркал 7 и 8 30на отверстия 3 и 4 диафрагмы 2 соответственно, и фоторегистратор 9, накоторый линза 1 фокусирует излуче-,ние, прошедшее через отверстия 3 и4; позицией 10 обозначен исследуемый 35объект, для точки 11 которого интерФерометр обладает повышенной чувствительностью, а позицией 12 - освещающий объект 11 пучок когерентного излучения, 40 Спекл-интерферометрработает следующим образом,Система освещения обеспечивает .освещение в направлении окрестности 45исследуемой точки 11 объекта 10, расположенной на месте пересеченияобъекта с оптической осью интерферометра, Так как исследуемая окрестность мала, то возможно использование нерасширенного лазерного пучка,Часть излучения, рассеянного объектом, попадает на зеркала 7 и 8 и направляется нми через отверстия 3 и 4с блендами 5 и 6 на линзу 1. Линзой1 пучки Фокусируются в плоскости регистратора 9 и образуют там ннтерфе. -ренционную картину, Другая частьизлучения, диффуэно рассеянного ектом 10, задерживается непрозрачной частью диафрагмы 2 и боковымиповерхностями бленд 5 и 6.Уравнение, описывающее порядокинтерференционной полосы через величину смещения и геометрию схемы, имеет вид+аК = 2 йИ,фгде у, - вектор смещения точкиобъекта;ДКв - разность векторов, определяющих направление на отверстия 3 и 4 диафрагмы 2.Из указанного выражения вытекает, что обеспечивается повышениечувствительности спекл-интерферометра за счет увеличения числовой апертуры и тем самым увеличение ДК.Применяемые линзы имеют соотношениедиаметра и Фокуса не более 1:1,5,чтоограничивает угол между оптическойосью и направлениями на отверстия.Дальнейшее увеличение апертурногоугла по всему полю невозможно. Однако предлагаемый интерферометр позволяет для некоторых точек увеличивать в пределе эффективный апертурный угол до величины % за счет вве"дения дополнительных зеркал 7 и 8,Ф о р м у л а и э обретенияСпекл-интерферометр, содержащий источник когерентного излучения,систему освещения объекта и расположенные последовательно по оси интерФерометра Фокусирующую линзу, диафрагму с двумя отверстиями, ориентированную так, что отверстия расположены симметрично относительно оси интерферометра, и фоторегистратор, о т л н ч а ю щ и.й с я тем, что, с целью повышения чувствительности в фиксированной точке, расположенной на оси интерферометра, он снабжен двумя плоскими зеркалами, расположенными симметрично относительно оси интерферометра и ориентированными так, что нормали их поверхностирасположены в плоскости оптической оси и отверстий диафрагмы и совпадают с биссектрисой угла между направлениями от зеркал на Фиксированную точку и на соответствующие отверстиядиафрагмы, а отверстия диафрагмы вы,полнены с цилиндрическими блендами, ориентированными так, что нх оси совпадают с направлениями от зеркал наотверстия.