Оптический способ контроля шага периодических структур
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Лй 146814 Класс 21 а 7121 д, 13 п СССР ОПИСАНИК ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУПодписная группа Л 89 И. К. Гипсман, В. М. Кацин и Д. Г. Чурсин ОПТИЧЕСКИЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ ШАГА ПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУРЗаявлено 15 февраля 960 г .за654839/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРОпубликовано в 1 зюллетепе изобретений М 9 за 1962 г. Известны оптические способы контроля шага периодических структур. Основной недостаток известных способов состоит в том, что точность измерения снижается неравномерностью скорости перемещения структуры и ее механическими колебаниями.При осуществлении описываемого способа контроля шага периодических структур для исключения влияния на точность измерений скорости перемещения структур и ее механических вибраций отклонения в размерах структуры определяют по порядку следования импульсов ст фотоумножителей, установленных против щелей,На чертеже приведена принципиальная схема устройства для олществления описываемого способа,Устройство содержит три фотоумножителя 1, 2 и 3, которые воспринимают световой поток, направленный через щели 4, 5, 6 и катоды соответствующих фотоумножителей, Структура, шаг которой контролируется, перемещается от щели 4 к щелям 5 и 6 в горизонтальной плоскости. Расстояние между щелями 5 и 6 определяется допуском на шаг структуры. Поэтому расстояние между щелью 4 и 5 равно минимально допустимому шагу, а расстояние между щелью 4 и щелью 6 - максимально допустимому шагу структуры. Указанные расстояния регулируются в требуемых пределах. При перемещении элементов структуры, шаг которой контролируется, например элементов 7 и 8, возможны различные варианты последовательности импульсов с фотоумножителей 1, 2 и 3. Если очередной измеряемый шаг выполнен в пределах нормы и равен минимально допустимому шагу, то порядок следования импульсов будет следующим: импульсы с фотоумножителей 2 и 1 следуют одновременно, а затем возникнет импульс на выходе фотоумножителя 3,Если очередной измеряемый шаг равен максимально допустимому, то первым действует импульс на выходе фотоумножителя 2, а импульсы на выходах фотоумножителей 1 и 3 возникнут позже и одновременно.14 б 814Если измеряемый шаг меньше минимально допустимого, то импульсы следуют последовательно с фотоумножителей 1, 2 и 3. Подобных вариантов следования импульсов в зависимости от шага структуры всего пять. Очевидно, что порядок следования импульсов не зависит от скорости перемещения структуры, механических вибраций и т, д.С помощью логических устройств порядок следования импульсов легко распознается. Поэтому можно производить отбраковку шагов стр ктуры с высокой скоростью и точностью, Точность описанного способа контролирует структуры с допусками до 0,003 л ст уктПредлагаемый способ контроля шага периодических структур может быть использован на предприятиях электронной и радиотехнической промышленности,Предмет изобретенияОптический способ контроля шага периодических структур, использ ющий фотоумножители и экран с тремя щелями, расстояния между которыми соответствуют наименьшему и наибольшему предельнсму шагу структуры, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью исключения влияния на точность измерений скорости перемещения структуры и ее механических вибраций, отклонения в размерах структуры определя 1 от по порядку следования импульсов от фотоумножителей, установл: иных против щелей.Составитель описании Г. А. Емельянов Редактор Т, ф. Загребельная Текред Т. П, Курилко Корректор Е. Л. Коган Поди. к печ. 23.17-62 г. Формат бум, 70 Х 108/, Объем 0,18 изд, л. Зак. 4214 Тираж 700 Цена 4 коп. ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министроь СССР Москва, Центр, М. Черкасский пер. д. 2/6,Типография ЦБТИ, Москва, Петровка, 14.
СмотретьЗаявка
654839, 15.02.1960
Гипсман И. К, Кацин В. М, Чурсин Д. Г
МПК / Метки
МПК: G01N 21/00, H05K 13/08, H05K 3/00
Метки: оптический, периодических, структур, шага
Опубликовано: 01.01.1962
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-146814-opticheskijj-sposob-kontrolya-shaga-periodicheskikh-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Оптический способ контроля шага периодических структур</a>
Устройство для изготовления периодических структур
Номер патента: 1663599
Опубликовано: 15.07.1991
Авторы: Богданович, Пилипович, Романов, Ярмолицкий
МПК: G02B 27/42
Метки: периодических, структур
...оптическими осями объективов 4 и 5,Оптическая ось объектива 6 параллельна оптическим осям объективов 4 и 5, является их осью симметрии и пересекает эталонную структуру 3 в точке пересечения последней с осью расширителя 2, Передняя фокальная плоскость объектива 6 совмещена с общей задней фокальной плоскостью объективов 4 и 5. Эталонная структура 3 размещена на каретке 9, которая установлена с возможностью перемещения в направлении, . перпендикулярном штрихам эталонной структуры 3. На подвижной ка ретке 9 за объективом 6 установлена такжезаготовка 10.Устройство работает следующим образом.Выходящий из источника 1 когерентно го излучения пучок расширяется системой 2и падает на эталонную структуру 3 подуглом О к ее нормали. Величина угла...
Устройство контроля шага периодических структур
Номер патента: 444049
Опубликовано: 25.09.1974
МПК: G01B 7/14
Метки: периодических, структур, шага
...началопериода периодической структуры, входыДПУ 2 и 3 отключены при помощи коммутатора 1 от выхода генератора импульсов заполнения (Вх. 1) (интервал 1 о - 1, на временной25 диаграмме),При поступлении на вход управленияВх, УПР коммутатора 1 сигнала Начало шага импульсы заполнения, поступающие наВх. УПР коммутатора 1 сигнала Начало ша.30 и происходит ее заполнение до тех пор, пока3она не будет приведена в состояние 9 1 девяти).В момент совпадения на выходе СС 4 вырабатывается импульс, который при помощи ППУ 6 возвращает ДПУ 2 в исходное состояние и, воздействуя на коммутатор 1, производит отключение входа Вх. коммутатора (импульсы заполнения не поступают на вход ДПУ 2) и подключение его ко входу ДПУ 3 (интервал 1, - 1, на временной...
Интерполятор шага периодической структуры
Номер патента: 1434405
Опубликовано: 30.10.1988
МПК: G05B 19/18, G05B 19/4103
Метки: интерполятор, периодической, структуры, шага
...растра, что позволяет строить по такой схеме интерполяторы с делением шага не только на восемь, нотакже на 20,40 и более частей,Ситуации, возникающие при переходах, рассмотрены в последовательности их размещения в таблице.1, Переход в сторону увеличения размера внутри первой зоны.В этом случае ни первое, ни второе сложения не дают переноса, а старшие разряды А 1 и В 1 операндов равны нулю. Результат логическои операции.г = (О Я О) О+ (О О+ О) = О О+ О = О,что вызывает появление импульса +1.2. Переход внутри первой зоны всторону уменьшения размера,Р;, = 1; Р; = 0; А = В 1 = 0; г = (1 О+ 0) 9 (А 1В 1) = С+О = 1; что вызывает импульс -1.3. Возврат иэ второй зоны в первую. В 1 = О;()( О+ 0),= 0 0 1 = 1,40 что вызывает импульс -1,4,...
Способ измерения длины движущихся изделий периодической структуры
Номер патента: 868355
Опубликовано: 30.09.1981
МПК: G01B 21/00
Метки: движущихся, длины, периодической, структуры
...фотодатчика при перемещении изделия 1,2 1.Недостатком способа является низкая точность нэмерения,30 ута по проентировани а - форгэнергостройв виде Формирователя 9 импульсов, счетчика 10, эадатчика 11, вычислительного блока 12 и регистратора 13.Способ осуществляется следующим образом.С помощью блоков 2 ориентации и блока 3 перемещения Фотодатчики 4 устанавливаются под углом друг к другу так, что световая ось каждого иэ них направлена вдоль одной винтовой линии внешнего повива измеряемого изделия, но со сдвигом, равным половине шага скрутки, кроме того, фоточувствительные элементы 7 включаются по схеме суммирования результатов измерения, позволяющей иск" лючить влияние погрешностей, возникающих при поперечных биениях измеряемых...
Способ изготовления периодических структур
Номер патента: 968778
Опубликовано: 23.10.1982
Авторы: Василевский, Павлов, Романов, Садов, Шестаков
МПК: G02B 27/42
Метки: периодических, структур
...обработка светочувствисветочувствительный образец 4,под .тельного образца 4, проводимая по вижное основание 5, систему зеркал известным методикам.6-9 и эк ан 1 Таким образом, предлагаемый споСпособ изготовления периодичес-соб позволяет повысить точн ость из -руктур может быть осуществлен готовления периодических структур. ,например, следующим образом, 10 Кроме того, при использовании этого. Участок эталонной структуры 3 , . способа можно с помощью одной этаосвещают прошедшим через коллима- лонной структуры с достаточно боль. тор 2, пучком когерентного света от шим периодом изготавливать круговые лазера 1. Из: дифрагированных на эта. и линейные периодическиеаеские структуры лоиной структуре 3 пучков выделяют 15 практически...
Предыдущий патент: Способ разделения обратного тока электродов приемно усилительных ламп на составляющие
Следующий патент: Способ измерения среднеквадратичного значения периодических и непериодических сигналов среднеквадратичного значения стационарного шума или отношений этих величин
Случайный патент: Устройство для запрессовки тонкостенных трубчатых заготовок