Способ изготовления периодических структур

(22) Заявлено 2804.81 (21) 3282476/18-10 51) М. Кп. 6 02 В 27/42 с присоединением заявки Нов Государствеииый комитет СССР ло делам изобретений и открытий(088. 8) Опубликовано 231082, Бюллетень М 39 Дата опубликования описания 23.10.82 А.В.Романов, К.М.Шестаков, В.С.Садов, Л.И.Павлов(72) Авторы СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР й оптики, аения периодразмеров.изобретениячности изгототруктур, путедефектов эталых фронтов. к технол ческих ст ение, нап тов интег екционноизготовлбольшихЦельюшение точеских свлиянияи волнов т ичложность структур кже ски ся повыпериоданенияструкту вляе лени уст иной я перийся в образ- распо- образ- ческой овле- лю- струквляе ения лени ФяЙзобретение относитсяо.гии изготовления периоди руктур и может найти примен ример, при создании элемен раль ной оптики.Известен способ .изготовлени одических структур, заключающи освещении светочувствительного ца через эталонную структуру, ложенную непосредственно перед цом, и проведении его фотохими обработки 1 1.Недостатком такого способа я т. ся невысокая точность изготовл обусЛовленная дифракционными яв ми на границах элементов эталонной структуры.Наиболее близким к предлагаемому по Хехнической сущности является способ,изготовления периодических структур, заключающийся в освещении эта-. лонной структуры пучком когерентного света, формировании на,светочувствительном образце периодической картины и проведении его Фотохимической обработки 2 ).Недостаткбм этого способа является невысокая точность изготовления,обусловленная Локальными дефектами эталбнной структуры и аберрациями про.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изгот ния периодических структур,. зак чающемуся в освещении эталонной туры пучком когерентного света,фОрмировании на светочувствительном образце периодической картины. и проведении его Фотохимической обработки, из дифрагированных на эталонной структуре пучков выделяют пару, имеющую одинаковый порядок дифракции за исключением нулевого, но разные знаки, направляют выделенные пучки на образец параллельно направлению их дифракции, совмещают указанные пучки на поверхности образца и осуществляют одновременное перемещение эталонной структуры и образца в направлении, перпендикулярном оси освещающего пучка когерентного света.968778 3 4н а чертеже показана конструктив- туры 3 и неоднородности интенсивносная схема устройства, реализующего ти по сечению пучков на точностьизготовления периодических структур. данный способ.Устройство содержит лазер 1, кол- В заключение осуществляется фотолиматор 2, эталонную структуру 3, химическая обработка светочувствисветочувствительный образец 4,под .тельного образца 4, проводимая по вижное основание 5, систему зеркал известным методикам.6-9 и эк ан 1 Таким образом, предлагаемый споСпособ изготовления периодичес-соб позволяет повысить точн ость из -руктур может быть осуществлен готовления периодических структур. ,например, следующим образом, 10 Кроме того, при использовании этого. Участок эталонной структуры 3 , . способа можно с помощью одной этаосвещают прошедшим через коллима- лонной структуры с достаточно боль. тор 2, пучком когерентного света от шим периодом изготавливать круговые лазера 1. Из: дифрагированных на эта. и линейные периодическиеаеские структуры лоиной структуре 3 пучков выделяют 15 практически неограниченных размеров пару, имеющую одинаковый порядокс периодом, близким к длине волны дифракции за исключением нулевого применяемого лазера. ( на чертеже показано выделение второго порядка ), но разные знаки.При этом нулевой порядок и поряд-. . Формула изобретения ки, кроме выделенных, перекрываютэкраном 10. Выделенные пучки с по" Способ изготовления периодических мощью зеркал 6-9 направляют на све структур, заключающийся в освещении точувствительный образец 4 и совме- . эталонной структуры пучком когерентщаю эти пучки на его поверхности, 1 ного света, формировании на свеж- причем направление падения пучков , чувствительном образце периодичесна образец 4 устанавливают парал- кой картины и проведении его фотолельным направлению их дифракции химической обработки, о т л и ч а - на структуре 3. В результате прове- ю щ и й с я тем, что, с целью дения укаэанных операций на поверх- повышения точности изготовления пуности образца 4 образуется система тем устранения влияния дефектов этаинтЕрференционных полос, т.е. без лонной структуры и волновых фронтов, применения линзовой оптики форми- из дифрагированных на эталонной руется периодическая картина, соот" 1 структуре пучков выделяют па ветств яующа эталонной структуре 3. .щую одинаковый порядок дифракциия пару, имеюПри этом период сформированной на пО"И за иСключением нулевого, но разные верхности образца 4 картины мень- знаки, направляют выделенные пучки ше периода эталонной структуры 3 на, образец параллельно направлению в 2 о раз, где п.-.порядок дифрак- их дифракции, совмещают указанные ции выделенных пучков. пучки на поверхнбсти образца и осу 40 ществляют одновременное перемещениеПри одновременном перемещении эталонной структуры и образца в наструктуры 3 и образца 4, установлен- .правлении, перпендикулярном оси освеных на общем подвижном основании 5, щающего пучка когерентного света. в направлении, перпендикулярном Источники информации, оси пучка лазера 1, периодичес принятые во внимание при экспертизе кая картина остаетсянеподвижной от-1, Технология тонких пленок.Спраносительно поверхности образца 4. . вочник. Под ред. Л.Майссела и Р.ШлэнВ то же время указанное переме- га. М., фСоветское радио", 1977,т.1, щение позволяет исключить влияние с. 570.локальных дефектов эталонной струк. Там же, с. 630-631 (прототип ).968778 Составитель В.ХравчеНиколайчук Техред, С.Мигунова ектор,С. Шекмар Редак Подписно илиал ППП "Патент", г. Уагород, ул. Проектная Эаказ 8163/75 Тира ВНИИПИ Государстве по делам изобрет 113035, Москва, Ж518 ного коми ний и от Раушска ета СССРытийнаб., д. 4