Устройство для фиксации деталей

Номер патента: 1444123

Авторы: Котвицкий, Нименко, Щербина

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 2 4 1191 (1 ТЕ Е ИЭО С 8 ИДЕТЕЛ ОП ВУ ТОР СНОМ ов им.50-леГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ССС ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫ 61) 724317(71) Завод чистых металлтия СССР(56) Авторское свидетельство СССР У 724317, кл. В 23 Ц, 3/00) 1976. (54) УСТРОЙСТВО Д.И ФИКСАЦИИ ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к области станкостроения и может быть использовано в производстве полупроводниковых материалов. Цель изобретения - создание регулируемой нагрузки на обрабатываемую деталь. Устройство содержит кассету 1, цилиндр 2 с вакуумной магистралью 3, шток 4, на который под вижно установлены кольца 5 и 6 с уплотнениями 7, 8,и 9, гильзу 1 О и клапан 11. Шток 4 и кольца 5 и 6 в верхней части имеют отверстия, сопрягаемые с фиксатором 12. Обрабатываемые пластины 13 укладываются на рабочую часть кассеты. Шток 4 разъемно связан с гильзой 10, установленной в кассете с воэможностью перемещения. Регулировка нагрузки осуществляется посредством фиксатора 12 и поршня, состоящего из отдельных концентрических колец1 о ть фиксаци 2. 1 ил. 5 и 6, имеюцих возможн си относительно цилиндра гу1444123 Формула изобретения Составитель А,ОрловТехред Л.Сердюкова Корректор Э.Лончакова Редактор М.Петрова Заказ 6434/16 Тираж 922 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к станкостроению и может быть использовано в производстве по обработке полупроводниковых материалов.5Цель изобретения - создание регулируемой нагрузки на обрабатываемую деталь. На чертеже изображено предлагаемое устройство, разрез.Устройство сотоит из кассеты 1,цилиндра 2 с вакуумной магистралью3, штока 4, на который подвижно установлены кольца 5 и 6, снабженные 15уплотнениями 7, 8 и 9, гильзы 10и клапана 11. Шток 4 и кольца 5 и 6в верхней части имеют отверстия, сопрягаемые с фиксатором 12, Обрабатываемые пластины обозначены позицией 2013,Устройство работает следующим образом.На рабочую часть кассеты 1 укладываются обрабатываемые пластины 13 и 25полость кассеты 1 вакуумируется путемсообщения вакуумной магистрали 3 с отверстиями-присосами через цилиндр 2, шток 4 и гильзу 10. Нри перемещении фиксатора 12 вдоль радиуса цилиндра 2 от центра к периферии сначала происходит освобождение штока, а затем и других колец 5 и 6.Атмосферное давление, воздействуя на торцы колец, передает нагрузку на кассету 1 и обрабатываемые пластины 13. При перемещении фиксатора 12 в противоположном направлении кольца со штоком стопорятся и, следовательно, не передают нагрузку на обрабатываемые пластины,Устройство для Фиксации деталей по авт.св. В 724317, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью создания регулируемой нагрузки на обрабатываемые детали, оно снабжено фиксатором, а шток-поршень выполнен в виде отдельных концентрических колец и установлен с воэможностью фиксации относительно цичиндра.

Смотреть

Заявка

4228230, 13.04.1987

ЗАВОД ЧИСТЫХ МЕТАЛЛОВ ИМ. 50-ЛЕТИЯ СССР

ЩЕРБИНА ИВАН НИКОЛАЕВИЧ, КОТВИЦКИЙ ВАЛЕРИЙ НИКОЛАЕВИЧ, НИМЕНКО НИКОЛАЙ ВЛАДИМИРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: B23Q 3/00

Метки: фиксации

Опубликовано: 15.12.1988

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1444123-ustrojjstvo-dlya-fiksacii-detalejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для фиксации деталей</a>

Похожие патенты