Устройство для измерения напряженности поля коллапса цилиндрических магнитных доменов

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСН ИХРЕСПУБЛИН 19(5 01 КЗ Й НОМИТЕТ СССРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ОСУДАРСТВЕН ПО ДЕЛАМ ИЗО НИЕ ИЗО ПЬСТВ с с о Бюл.ое конюро трукторс т Донецкоготитута АН У В,Г.Алени к Бопе 1 Й Бс, 748.(71) Специальнснологическое бтехнического инс(56) Бш 1 Ь А.В., ВеЕеЬгейеч 1 зца 1 шеазпгешеп оЕ со 11 а1 п ЯшаЬ 1 ЬиЬЬ 1 е 8 агпез,Тпзг 52, 1981, Н 11, р.(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЖЕННОСТИ ПОЛЯ КОЛЛАПСА ЦИЛИНД КИХ МАГНИТНЫХ ДОМЕНОВ (57) Изобретение относится к микроэлектроники, Устройство мерения напряженности поля коллап ацилиндрических магнитных доменов одержит источник поля поляризованн госвета, в виде лазера 1, поляризаторы2, 3, непрозрачный экран б, магнитнуюсистему 4, пространственный фильтрв виде эллипсоидального зеркала 5,состоящего из двух частей с границейраздела, проходящей через малую осьэллипса и перпендикулярной его большой оси, и служащего для сбора диффрагирующих лучей на чувствительнойповерхности фотоприемника 7. Приэтом один из фокусов эллипсоидально"го зеркала 5 совмещен с плоскостьюпленки 8 в точке выхода лучей лазера1, а другой фокус - с чувствительнойповерхностью фотоприемника 7. Устройство высокочувствительно, 1 ил,14378 13 гированного света и выполнен в видедиска, Размещен экран на растяжках вцентральной части зеркала 5 сооснос ним. Устройство регулирования и измерения поля, а также канал обработкисигнала фотоприемника на чертеже непоказаны. Работа по измерению напряженности поля коллапса ЦМД заключается в следующем.Контролируемый образец доменосодержащей пленки 8 помещают в магнитную систему 4, Свет лазера 1, поляризованный поляризатором 2, пронизывает пленку и иэ-за наличия в ней ЦМД дифрагирует, а затем собранный эллиптическим зеркалом 5 фокусируется в нижнем (по чертежу) фокусе, попадая на фотоприемник 7, Недифрагированный пучок света перекрывается экраном 6 и не попадает на фотоприемник, При увеличении поля в магнитной системе сигнал с фотоприемника скачкообразно уменьшается в момент исчезновения дифракции из-за коллапса ЦМД, Зафиксированная в этот момент величина поля в зоне расположения образца численно равна полю коллапса ЦМД для контролируемой пленки. Для облегчения изготовления зеркало состоит из двух частей с границей раздела, проходящей через малую ось эллипса и перпендикулярной большой оси.Поляризаторы 2 и 3 установлены так, что плоскости поляризации прохо дящего света пересекаются по оси устройства и повернуты на угол 90 друг относительно друга. Между поляризаторами в магнитную систему помещена контролируемая доменосодержащая пленка 8, Магнитная система 4 содер 35 жит пару катушек, обеспечивающих в зоне контролируемого образца нормальное поле, достаточное цля коллапса ЦМД в пленке, Зеркало 5 служит для40 сбора диффрагирующих лучей на чувствительной поверхности фотоприемника 7. Для упрощения изготовления и монтажа зеркала его части за пределами фокальных плоскостей удалены. Один иэ фокусов зеркала 5 совмещен с плоскостью пленки 8 в точке выхода лучей лазера 1, а в области другого зеркала помещен фотоприемник 7, Экран 6 служит для надежного перекрытия недефраЯСоставитель А,РоРедактор Л,Пчелинская Техред Л,Сердюко Формула изобретения Корректор Л,Пилипенко Заказ 5890/46 Тираж 772 Подписное В 11 ИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Производственно-полиг рафическое предприятие, г, Ужгород, ул, Проектная, 4 Изобретение относится к магнитометрии, касается техники измерения параметров магнитных материалов в микроэлектронике а именно для измеФ5 рения напряжения поля коллапса цилиндрических магнитных доменов (ЦМД) в эпитаксиальных феррит-гранатовых пленках, и может быть использовано в производстве микросхем на ЦМД для входного контроля материалов, а также для научных исследований.Цель изобретения - упрощение и повышение чувствительности измерений.На чертеже показана функциональная 15 схема устройстваУстройство содержит установленные соосно источник света в виде лазера 1, поляризаторы света 2 и 3, магнитную систему 4, эллипсоидное зеркало 5, непрозрачный экран 6 и фотоприемник 7. Устройство для измерения напряженности поля коллапса цилиндрических магнитных доменов, содержащее оптически последовательно расположенные источник поля поляризованного света, поляризатор, магнитную систему, пространственный фильтр, непрозрачный экран и фотоприемник, о т л и ч а ю ш е е с я тем, что, с целью упрощения и повышения чувствительности измерений, пространственный фильтр выполнен в виде эллипсоидального зеркала, сосгоящего из двух частей и установленного при совмещении одного из фокусов зеркала с точкой выхода лучей из пленки, а другого фокуса с чувствительной поверхностью фото" приемника.гманов