Способ получения изображения
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
)5 С 0 САНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ эготовленоптики и г.Картужанско21-222.8,вИЗОБРАЖЕНИЯ сится к микроыть испольэова ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИИ И ОТНРЫТИИ(56) Несеребряные ФотограФическипроцессы под ред. А.ПЛ Химия, 1984, с, 2Патент ГЛР21587кл, С 03 С 1/72, 1984(57) Изобретение отцоэлектронике и может б но при и ии объектов интегральной олограии, ЦельиэобретенИя - увеличение производительности. В качестве экспонируемогохалькогенидного стеклообразцого полупроводникового материала используется пленка АзС с шириной запрещенной эоны Ея = 2,4 эВ, Интенсивностьоблучения белого света составляетна поверхности экспонируемого слоя150 мВтсм при парциальцом давлениикислорода в ,. 10 Пд. Проявление изображения осуществлятся путем испарения цинка или кадмнл, 1 табл.1428058 цинка на неэксОцироцлнцуо поцерх -ность Аз Ясо скоростью 80 1/с.Скорость нанесения слоя цинка рестрцровалась с помощью кварцевого изертеля толщины КИТ. Цинк напьялсяца пленку АзВ в течение времениЕО с, толщина слоя цинка ца необлученных участках слоя составила приэтом Й1600 А,1(роме того, облучение Аз Б проводилось тем же светом, но в атмосФерах с равным парциальным давлениемкислорода. Полученные результаты приведены в таблице.,Парциальное давление кислорода,Па Минимальное время достиженияпредельного контраста,с О,Е 10 (воздух)15 см, Интенсивность белого света составляла при этих условиях ца по- Е 5 нервности экспонируемого слоя 150 мВт/см. Раэнье участки слоя экспонировались в течение разного времени. Облучение проводилось на воздухе, т.е. при содержании кислорода 21 Е лри Р1 атм, что соответствует парциальцому давлению кислорода О,Е 10 о Па.Проявление изображения осуществлялось. путем испарения цинка в вакууме, Для испарения использовалась вакуумная установка типа АВП,5. В качестве испарителя использовалась танта- Ф ловая лодочка, изготовленная из Фоль" ги толщиной 0,2 мм, размер лодочки: длина 4 см, высота 0,5 см. Лодочка подключалась к контактам, через которые на испаритель подается цапряже ние. В лодочку помещелись испаряемье грацулы цинка. Прозкспонированцый слой помещался на стеклянном стакане яад испарителем на расстоянии 16 см от лодочки. После размещения слоя производилась откачка до давления остаточных газов 3,99 10 П:Затем через испаритель пропускался ток 12 А, обеспечивающий нанесение 10 0 О 1 О (прото-50Способ получения изображения,включающв селективное экспонирование слоя халько"ецидного стеклообразного полупроводника электромагнитнымизлучением н проявление иэображенияпутем селективного осаждения цинкаили кадмич на неэкспонированные участки слоя о т л и ч а ю щ и И с ятем, что, с целью овьшенин производительности способа, экспонированиеосущестнляот в кислородосодержащейатмосФере при парциальном давленииЬкислорода з 10 Па,Тираж Подс н о оизв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная,Изобретец относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении объектон интегральной оптики и голограФии.Целью изобретения является унеличение производительности эа счет увеличения скорости осаждения кадмия или цинка при экспонировании халькогенидного стеклообразного полупроводника в кислородосодержащей атмосФере, При экспонировании при парциальном давлении кислорода менее 10 Па Фотастимулиронаниого изменения скорости осаждения не происходиг. 15П р и м е р, В качестве экспонируемого халькогенидиого стеклообразного полупроводникового материала использовалась пленка Аз 8 с ширииай зарещеной зоны Ег. 2,4 зВ. Облучение Е 0 провоцнлось стандартным проектором "Свитязь", расстояние между проектором и экспоцируемьм слоем составляло мула изобретения
СмотретьЗаявка
4048580, 03.04.1986
ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. А. Ф. ИОФФЕ
КОЛОБОВ А. В, ЛЮБИН В. М
МПК / Метки
МПК: G03F 7/26
Метки: изображения
Опубликовано: 07.04.1992
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1428058-sposob-polucheniya-izobrazheniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения изображения</a>
Предыдущий патент: Ультразвуковая линза
Следующий патент: Способ получения активной среды лазера
Случайный патент: Устройство для обнаружения перегретых букс подвижного состава