Масс-спектрометрический течеискатель
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБ ЛИН 09 М 3/О ЕТ се спирали сне менее простков вакуумф-лы, 1 ил.) И относится к тех ий с помощью ма тени спыт с в ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИИ ОПИСАНИЕ ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬС 21) 4148794/25-28(54) МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИЙ ТЕЧЕКАТЕЛЬ спектрометрических течеискателей.Целью изобретения является упрощениеконструкции течеискателя при одновременном повышении его чувствительностипутем снижения уровня флуктуации. Течеискатель состоит из масс-спектрометрической камеры 1, высоковакуумного насоса 2, форвакуумного насоса3, с установленным между насосами 2и 3 формирователем 4 молекулярногорежима течения газов (ФМРТ), демпфирующих емкостей 5, ФМРТ 6 на входе втечеискатель, а также соединительныхмагистралей и запорной арматуры.ФМРТ 4 и 6 выполнены в виде блокакапиллярных трубок или трубки с поперечным сечением в формсуммарной проводимостьюводимости замещаемых учаных магистралей, 2 з.п.1 1425502 2 Формула и э о б р е т е н и я Составитель Е. МасленниковРедактор Г. Волхова ТехредЛ.Сердюкова Корректор В, Романенко Заказ 4759/38 Тираж 847 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г, уэгород, ул, Проектная 4 Изобретение относится к технике вакуумных испытаний и моэет быть использовано в отраслях промышленности, испольэуюшнх для контроля герметич 5 ности масс-спектрометрические тече- искатели.Целью изобретения является упрощение конструкции течеискателя при , одновременном повышении его чувствительности путем снижения уровня флуктуаций.На чертеже представлена вакуумная схема масс-спектрометрического тече- , искателя. 15Масс-спектрометрический течеискатель состоит иэ масс-спектрометричес кой камеры 1, высоковакуумного насоса 2 и форвакуумного насоса 3 с установленным между насосами 2 и 3 фор мирователем молекулярного режима течения (ФМРТ) 4, демпфирующих емкостей 5, на входе и выходе ФМРТ 4, ФМРТ 6 на входе в течеискатель эа дроссельным вентилем 7, а также сое" 25 динительных магистралей и запорной арматуры. ФМРТ 4 и 6 могут быть выполнены в виде блока капиллярных трубок или трубки с поперечным сечением в , форме спирали с суммарной проводимо стью не менее проводимости замещаемых участков вакуумных магистралей.Течеискатель работает следующимобразом.Поток, поступающий на вход в тече искатель, демпфируется на ФМРТ 6 и с помощью высоковакуумного насоса 2 создается рабочее давление в массспектрометрической камере 1, насос 3 создает необходимый вакуум на выходе насоса 2. ФМРТ 4 исключает высокочастотную составляющую флуктуаций, а демпфирующие емкости 5 - низкочастотную составляющую флуктуаций давления, генерируемых насосом Э.Экспериментальная проверка течеискателя ПТИ, оснащенного формирователями молекулярного режима течения газов показала, что чувствительность течеискателя повышается не менее чем в 1 О раз во всем диапазоне допустимых на ПТИО газовых нагрузок,1. Масс-спектрометрический течеискатель, содержащий масс-спектрометрическую камеру, соединенные с ней через запорную арматуру средства высоковакуумной и форвакуумной откачки и входной трубопровод, соединенный через дроссельный вентиль с входом высоковакуумного средства откачки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности в области больших газовых нагрузок, он снабжен двумя формирователями молекулярного режима течения газа, один из которых установлен на входном трубопроводе за дроссельным вентилем, а второй - между средствами высоко- вакуумной и форвакуумной откачки, и двумя демпфирующими емкостями, установленными на входе и выходе второго формирователя2. Течеискатель по п. 1, о т л ич а ю щ и й с я тем, что формирователь молекулярного режима течения газа выполнен в виде блока капиллярных трубок.Э, Течеискатель по и, 1, о т л ич а ю щ и й с я тем, что формирователь молекулярного режима течения газа выполнен в виде трубки с поперечным сечением в форме спирали.
СмотретьЗаявка
4148794, 19.11.1986
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ М-5612
ЛАДИКОВ ВАЛЕРИЙ АНАТОЛЬЕВИЧ, ЕФИМЧУК БОРИС ПАВЛОВИЧ, ГРЕКОВ АЛЕКСАНДР ИОСИФОВИЧ, АНДРЕЕВ ВЛАДИМИР АЛЕКСЕЕВИЧ, БЕРДОВ ЛЕВ ВАСИЛЬЕВИЧ, МЕЖУЕВ НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ, ГРЕБЕНЮК ИГОРЬ ИВАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01M 3/02
Метки: масс-спектрометрический, течеискатель
Опубликовано: 23.09.1988
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1425502-mass-spektrometricheskijj-techeiskatel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Масс-спектрометрический течеискатель</a>
Способ испытаний на герметичность изделий с помощью масс спектрометрических течеискателей
Номер патента: 1153245
Опубликовано: 30.04.1985
Авторы: Андрианова, Бронфман, Зайцев
МПК: G01M 3/02
Метки: герметичность, испытаний, масс, помощью, спектрометрических, течеискателей
...течейЦель изобретения - повышение надежности испытаний.Указанная цель достигается тем,что согласно способу испытаний нагерметичность изделий с помощьюмасс-спектрометрических течеискателей, заключающемуся в том, что изделие помещают в камеру, откачиваютего и соединяют с течеискателем, регистрируют фоновый сигнал. заполняют,камеру пробным газом, производят выдержку в течение заданного времениа о герметичности судят по изменениюсигнала течеискателя по сравнению сФоновым, перед заполнением камеры газом измеряют давление в наиболее близкой и наиболее удаленной от течеискателя точках изделия, выдержку производят в течение времени Г , выбираемого из соотношения Ч РС= 20 -1Р(1)аобъем внутренней полостиизделия;Б - проводимость внутреннейполости...
Способ подготовки масс-спектрометрического течеискателя к испытаниям на герметичность
Номер патента: 1343258
Опубликовано: 07.10.1987
Авторы: Афанасьева, Еремин, Левина, Назаров
МПК: G01M 3/02
Метки: герметичность, испытаниям, масс-спектрометрического, подготовки, течеискателя
...снизить фоновый сигнал по сравнению с исходным в150 раз, аа 47 мин и перейти к испытаниям ца герметичность на одной изчувствительных шкал течеискателяшкале 0,3 В, что обеспечивает пороговую чувствительность испытаний )=и мПа- 3210--- гдето,Э 9 мин- минимальный поток пробного газа, регистрируемый течеискателем.При обычном способе подготовкиэтого же течеискателя СТИк испытаниям даже через 2,5 ч откачки анализатора фоновый сигнал 450 мВ, т.е.це достигает установившегося значения200 мВ,Предлагаемый способ подготовкитечеискателя к испытаниям особенноэффективен в случае высокочувствительного контроля на герметичностьпо методике накопления гелия в системе анализатор-проверяемое иэделие.В этом случае в течеискателе СТИпосле включения средств...
Масс-спектрометрический течеискатель
Номер патента: 783611
Опубликовано: 30.11.1980
Авторы: Борисов, Бронфман, Зайцев, Киреев
МПК: G01M 3/00
Метки: масс-спектрометрический, течеискатель
...аппара.уру формула изобретения ГФ "р,)н цФ н доя.,Ь. Где Тмощность нагревателя допол -нительного диЯЕузионногонасоса;И - масса пробного газа.На чертеже представлена блок-схемамасс-спектрометрического течеискателя,Течеискатель содержит дачик 1, размещенный в камере 2, образованнойкриоэлементами из сплошного криоэкрана 3, заполненного криоагентом, вымо,раживающая ловушка 4, вакуумный насос 5 низкого вакуума, вакуумметр 6,калиброванную течь 7, ди 4545 узионный -насос О, дополнительный ди 445 узионе 1 ый насос 9, работающий совместно с ловушкой в режиме, рассчитанном по формуле В камере 2 установлен электростатический цилиндрический конденсатор 3 О, обладающий 5 окусирую 1 ими свойствами. Ускоряющее напряжение в камере 2 стабилизируется...
Масс-спектрометрический течеискатель
Номер патента: 1307265
Опубликовано: 30.04.1987
Автор: Иванов
МПК: G01M 3/02
Метки: масс-спектрометрический, течеискатель
...7, через вентиль 8 - с автономной масс-спектрометрической камерой9, установленной между полюсами магнита 10, снабженного фиксаторами 11,и с диффузионным насосом 12, выходкоторого соединен с входом механического насоса 13, Масс-спектрометрические камеры 1 и 9 электрическисоединены через переключатели 14 и15 с блоками 16 питания камеры и блоком 17 измерения ионного тока, Вэлектрических соединениях автономноймасс-спектрометрической камеры 9 установлены гермопроходники 18, имитирующие гермопроходники вакуумнойкамеры 19, в которой после настройкипроводят испытания с применением автономной масс-спектрометрической камеры 10. 40 Масс-спектрометрический течеискатель работает следующим образом.Перед проведением настройки к входному вентилю 5...
Масс-спектрометрический течеискатель
Номер патента: 1587354
Опубликовано: 23.08.1990
Авторы: Борисов, Зайцев, Киреев, Машталяр
МПК: G01M 3/02
Метки: масс-спектрометрический, течеискатель
...свыходом пористого элемента 3, манометрическим преобразователем 4, детектором 5 ивходом вентиля 6, и дросселируюший вентиль 17, вход которого соединен с выходомвысоковакуумного насоса 8 и входом вентиля 9, а выход- с входом вентиля 2 и выходомвентиля 15.Течеискатель работает следующим обрэзам,Поток, имеющий в своем составе пробный и балластный газы, попадает через вентиль 2 в пористый элемент 3, в составекоторого находится активированный уголь,Пористый элемент 3, насыщаясь балластным газом, увеличивает концентрациюпробного газа в общем потоке, который откачивается высоковакуумным насосом 8через охлаждаемую ловушку 7, В трубопроводе между пористым элементом 3 иохлаждаемой ловушкой 7 производится регистрация парциального давления пробного...
Предыдущий патент: Устройство для балансировки рабочего колеса турбомашины
Следующий патент: Способ контроля герметичности вакуумной ректификационной аппаратуры
Случайный патент: Направляющий узел штампа для холодной штамповки