Масс-спектрометрический течеискатель

сОюз сОВетСКихСОЦИАЛ ИСТИЧ Е СКИРЕСПУБЛИК 15873 3/02 5 6 ГОСУДАРСТВЕННЫЙПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР ОМИТЕТОТКРЫТИЯМ р тг 13 гя ОПИСАН ОБРЕТ(57) Изобре метичности ским мето эксплуатац чувствитель ния величи потока газ о в ри 3 АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Авторское свидетельство СССРМ 1425502, кл, 6 01 М 3/02, 1988.(54) МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИЙ ТЕЧЕИСКАТЕЛЬ тение относится к контролю геризделий масс-спектрометричедом и позволяет расширить ионные возможности и повысить ность путем устранения влиян и состава анализируемого ов. Масс-спектрометрический течеискатель содержит пористый элемент 3,детектор 5, охлаждаемую ловушку 7, высоковакуумный насос 8, пневматический демпфер 10 и форвакуумный насос 12.Пневматический демпфер 10 выполнен в виде пористого тела, поглощающего все газы,расположен между высоковакуумным ифорвакуумным насосами 8 и 12 и соединенчерез вентиль 16 с детектором 5. Вход течеискателя с помощью дросселирующеговентиля 17 соединен с выходом высоковакуумного насоса 8. Совокупное использование и сочетание контуровтечеискателя в зависимости от конкретных условий испытаний нозвляют контролировать утечкидиапазоне 10 10 л мкм рт.ст./с ивеличйне суммарного потока 10 ЗХХ 10 л мкм рт.ст./с. 3 ил,Изобретение относится к испытаниямна герметичность с помощью масс-спектрометрического течеискателя и может быть использовано для контроля утечек в широкомдиапазоне.Цель изобретения - расширение эксплуатационных возможностей и повышениечувствительности путем устранения влияния величины и состава анализируемого потока газов.На фиг,1 приведена вакуумная схематечеискателя; на фиг.2 и 3 - возможные рабочие контуры для различных условий испытания на герметичность,Масс-спектрометрический течеискательь содержит фланец 1, вентиль 2, вход, пробного, манометрический преобразова тель 4 и детектор 5, соединенные с выходомпористого элемента 3, последовательно со.единенные вентиль 6, вход которого соединен с выходом пористого элемента 3,манометрическим преобразователем 4 и де тектором 5, охлаждаемую ловушку 7,высоковэкуумный насос 8, вентиль 9,пневматический демпфер, выполненный ввиде пористого элемента 10, поглощающеговсе газы, вентиль 11 и форвакуумный насос12, вентиль 13 и манометрический преобра зователь 14, соединенные со входом форва куумного насоса 12, вентиль 15, вход; вентиля 13 и манометрическим преобразователем 14, а выход - с входом вентиля 2,вентиль 16, вход которого соединен с гид; равлическим демпфером 10, а выход - свыходом пористого элемента 3, манометрическим преобразователем 4, детектором 5 ивходом вентиля 6, и дросселируюший вентиль 17, вход которого соединен с выходомвысоковакуумного насоса 8 и входом вентиля 9, а выход- с входом вентиля 2 и выходомвентиля 15.Течеискатель работает следующим обрэзам,Поток, имеющий в своем составе пробный и балластный газы, попадает через вентиль 2 в пористый элемент 3, в составекоторого находится активированный уголь,Пористый элемент 3, насыщаясь балластным газом, увеличивает концентрациюпробного газа в общем потоке, который откачивается высоковакуумным насосом 8через охлаждаемую ловушку 7, В трубопроводе между пористым элементом 3 иохлаждаемой ловушкой 7 производится регистрация парциального давления пробного газа детектором 5, При открытых вентилях 9 и 11 поток откэчивается форвакуумным насосом 12 через гидравлический 5 демпфер 10, в состав которого входит цеолит марки йаА.Пористый элемент 3 представляет собой сорбционн ый фильтр потока газа, а гидравлический демпфер - пористый элемент 10 - одновременно работает по 10 принципу сорбционного насоса,Применительно к контуру фиг.2 физическая картина течения газа следующая, Суммарный газовый поток от иэделия попадает в пористый элемент 3 (фиг,1) через входной 15 флэнец 1, подстыкованный к схеме испытания, и вентиль 2. Пористый элемент 3 поглощает большую часть потока, кроме потока пробного газа. Доля парциального давления пробного газа в оставшемся потоке за 20 пористым элементом увеличивается, что регистрируется детектором 5. Остаточная газовая соедэ из масс-спектрометра удаляется через вентиль 16, пористый элемент 10 и форвакуумный насос 12. Пористый 25 элемент 10 является откэчным средством иодновременно исключает возникновение флюктуаций пробного газа в масс-спектрометре за счет нестабильности его откачки форвакуумным насосом 12. Этот контур ис пользуется при малых потоках газа. При работе по контуру на фиг.З при больших потоках газа откачка детектора осуществляется высоковакуумным насосом 8, вентиль 16 закрыт.35 Совокупное использование и сочетаниеконтуров предлагаемого масс-спектрометрического течеискателя в зависимости от конкретных условий испытания позволяет контролировать утечки в диапазоне 40 10 10 л мкм рт.ст./с пи величине суммарного потока 1023 10 л мкм рт,ст./с. Формула изобретения Масс-спектрометрический течеиска тель, содержащий детектор, соединенный сним высоковакуумный насос, пневматический демпфер, первый вход которого соединен с выходом высоковакуумного насоса, и форвакуумный насос, вход которого соеди нен с выходом пневматического демпфера,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей и повышения чувствительности путем устранения влияния величины и состава 55 анализируемого потока газов, пневматический демпфер выполнен в виде пористого элемента, поглощающего все газы, а его второй вход соединен с детектором,1587354Составитель В.ЧерноусовРедактор Н.Лазаренко Техред М,Моргентал Корректор С,Шекмар Заказ 2413 Тираж 448 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101