Масс-спектрометрический течеискатель

ОЮЗ СОВЕТСКИ ОЦИАЛИСТИЧЕСКРЕСПУБЛИК 51)4 С 01 М ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ СВИДЕТЕЛЬСТВ АВТО ксплуа- ТИ. ЕЧЕИ(57) И рукция чеиска обретен осится к констческих те беспечить ктроме зволяе масс-сп елей и и ние эксп путем об ной масс х возмож- настройки ас уатацио спечения спектром луатации ост автои трическоив вакуумньическийовную и а амеры и ее эк амерах. Массктромет ржит ос течеискатель со ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(56) Паспорт и инструкция итации гелиевого течеискателЛ., 1984, с.8-12.(54) МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСК тономную масс-спектрометрическиекамеры 1 и 9, вакуумную систему,контрольную течь 7 и блоки 16 и 17питания камер 1 н 9 и измерения ионного тока, соединенных с переключателями 14 и 15. Настройку автономноймасс-спектрометрической камеры 9 осуществляют подбором режимов блока 16питания и положения магнита 10, которое жестко закрепляется фиксаторами 11. Контроль выбранных режимовпроводится по режимам основной массспектрометрической камеры 1. Затемавтономную масс-спектрометрическуюкамеру 9 с вентилем 8 отстыковываютс помощью разъемного соединения иустанавливают в вакуумную камеру 19,в которой проводят контроль герметичности изделий. 1 ил.ВНИИПИ Заказ 1621/39 Тираж 777 Подписное Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 1 13072Изобретение относится к испытательной технике, а именно к конструкциям масс-спектрометрическихтечеискателей,Целью изобретения является расши 5рение эксплуатационных возможностейпутем обеспечения настройки автономной масс-спектрометрической камерыи ее эксплуатации в вакуумных камерах. 10На чертеже изображена схема данного течеискателя.Масс-спектрометрический течеискатель содержит основную масс-спектрометрическую камеру 1 с подвижным магнитом 2, вакуумную систему, включающую последовательно соединенные через вентиль 3 с масс-спектрометрической камерой 1 азотную ловушку 4,соединенную через входной вентиль 5 20с отсекаемой вентилем 6 контрольнойтечью 7, через вентиль 8 - с автономной масс-спектрометрической камерой9, установленной между полюсами магнита 10, снабженного фиксаторами 11,и с диффузионным насосом 12, выходкоторого соединен с входом механического насоса 13, Масс-спектрометрические камеры 1 и 9 электрическисоединены через переключатели 14 и15 с блоками 16 питания камеры и блоком 17 измерения ионного тока, Вэлектрических соединениях автономноймасс-спектрометрической камеры 9 установлены гермопроходники 18, имитирующие гермопроходники вакуумнойкамеры 19, в которой после настройкипроводят испытания с применением автономной масс-спектрометрической камеры 10. 40 Масс-спектрометрический течеискатель работает следующим образом.Перед проведением настройки к входному вентилю 5 вакуумной системы 45 подстыковывают автономнуюмасс-спектрометрическую камеру 9. Затем включают насосы 12 и 13 и выходят на режим по уровню вакуума. По контрольной течи 7 подбором рехимов блока 16 и 50 положения магнита 2 добиваются максимальной чувствитльности основной 65 2масс-спектрометрической камеры 1.Затем переключателями 14 и 15 подключают к блокам 16 и 17 питания камеры и измерения ионного тока массспектрометрическую камеру 9 и добиваются ее максимальной чувствительности. При этом режимы блока 16 питания камер 1 и 9 фиксируются, а магнит 10 жестко закреплен на камере 9 в режиме максимальной чувствительности. По окончании настройки перекрывают вентиль 8, отстыковывают масс-спектрометрическую камеру 9 вместе с вентилем 8 и устанавливают последнюю в вакуумную камеру 19 с использованием гермопроходника 18. При контроле герметичности изделий режимы автономной масс-спектрометрической камеры 9 контролируются по режимам основной масс-спектрометрической камеры 1.При этом используя одну и ту же аппаратурную базу, возможно обеспечить максимальную статическую чувствительность основной и автономной масс-спектрометрических камер 1 и 9 и повысить чувствительность системы испытаний с применением автономной масс-спектрометрической камеры 9,Формула изобретения Масс-спектрометрический течеискатель, содержащий масс-спектрометрическую камеру с магнитом, соединенную с ней вакуумную систему, контрольную течь и блоки питания камеры и измерения ионного тока, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей путем обеспечения настройки автономной масс-спектрометрической камеры и ее эксплуатации в вакуумных камерах, он снабжен автономной массспектрометрической камерой с магнитом, связанной с вакуумной системой с помощью разъемного соединения, и двумя переключателями, один из которых связывает масс-спектрометрические камеры с блоком измерения ионного тока, а другой - с блоком питания камеры.