Пальтиель

Номер патента: 1551675

Опубликовано: 23.03.1990

Авторы: Буркат, Добычин, Копылов, Пальтиель

МПК: C03C 17/42

Метки: защитного, оптического, поверхности, покрытия, стекла

...равномернымраспределением Гидроксильных Группи практически полное равномерное покрытие поверхности алкилсилильнымслоем, который обеспечивает ее надежную гидрофобизацию,П р и и е р 1, Защитное покрытиеполучают на дисках оптического кварцевого стекла, Диски помещают в вакуумную камеру и прогревают при 400 Св вакууме Р = 10-3 торр в течение15 мин, после чего, при перекрытойсистеме откачки, в камеру подаютчетыреххлористый углерод (Рсу 100 торр), Затем камеру вакуумиру 0ют, температуру понижают до 200 С и,перекрыв систему откачки, в камеруподают попеременно пары воды (РН 0 10 торр), цетыреххлористого титана(Р . - 1 торр), вновь воды и тримет и -тилхлорсилана (Р ,1 5= 200 торр)с промежуточным удалением избытка реагентов и...