Интерферометр для измерения линейных перемещений

СООЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК А 1 114 б 01 В 9 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ торых направляется на основание отражателя 3. После отражения от боковой грани отражателя 3 поток направляют снова на основание отражателя 3. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез 5 отражателя 4 на светоделитель 2, а через него - на фотоприемник 9. Второй поток светоделителя 2 направляют на основа ние отражателя 6. После отражения от боковой грани которого поток направляют на основание отражателя 7. После отражения от боковой грани отражателя 7 поток снова направляют на основание отражателя 6, последний из отраженных лучей потока направляют через срез 8 отражателя 7 на свето- делитель 2, где он оборачивается на 90 и направляется на фотоприемник 9, на котором происходит пространственное совмешение двух потоков от светоделителя 2. 1 ил. следовательскиилужбыесняков тво СССР02, 1985. ЕРЕГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(71) Всесоюзный научноинститут метрологической(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМ НИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации. Целью изобретения является повышение чувствительности. Излучение от источника 1 разделяется светоделителем 2 на два потока, один из ко,801384931384936 Формула изобретения Составитель Н. ЗахаренкоРедактор А, Ревин Техред И. Верес Корректор М. МаксимишинецЗаказ 1119/36 Тираж 680 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации,Цель изобретения - повышение чувствительности интерферометра.На чертеже изображена схема предлагаемого интерферометра.Интерферометр содержит источник 1 излучения, светоделитель 2 для разделения излучения на два потока, в одном из потоков последовательно установлены два трехгранных уголковых отражателя 3 и 4, ориентированных основаниями навстречу друг к другу, вершина 5 отражателя 4 усечена плоскостью, параллельной основанию, в потоке излучения, проходящего через светоделитель 2, также два трехгранных уголковых отражателя 6 и 7, вершина 8 третьего отражателя 7 усечена плоскостью, параллельной основанию, и во втором потоке от светоделителя 2 - фотоприемник 9. Интерферометр работает следующим образом.Излучение от источника 1 разделяется светоделителем 2 на два потока, один из которых направляется на основание отражателя 3. После отражения от боковой грани отражателя 3 поток направляют снова на основание отражателя 3. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез (вершину) 5 отражателя 4 на светоделитель 2, а через него - на фотоприемник 9. Второй поток светоделителя 2 направляют на основание отражателя 6. После отражения от боковой грани отражателя 6 поток направляют на основание отражателя , а после отражения от боковой грани отражателя 7 поток снова направляют на основание отражателя 6. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез (вершину) 8 отражателя 7 - на светоделитель 2, где он оборачивается на 90 и направляется на фотоприемник 9, на котором происходит пространственное совмещение двух потоков от светоделителя 2,Интерферометр для измерения линейныхперемещений, содержащий последовательно расположенные источник излучения и свето- делитель для разделения излучения на два потока, последовательно установленные в одном из них два трехгранных уголковых 20 отражателя, ориентированные основанияминавстречу друг другу, и вершина одного из которых усечена плоскостью, параллельной основанию, и установленный в другом потоке фотоприемник, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, он снабжен третьим и четвертым трехгранными уголковыми отражателями, последовательно установленными в потоке излучения, проходящего через светоделитель, и ориентированными основаниями навстречу друг к другу, а вершина третьего отражателя усечена плоскостью, параллельной основанию.