Интерферометр с высокой степеньюкомпенсации фазовых искажений в све-тоделителе

. (23) Приоритет Государственный комитв Совета Министров ССС Опубликовано 30.03.76. БюллетеньДата опубликования описания 21,05,76лам изобретений отары 2) Авторы изобретени, С. Букреев, В. А. Вагин и Г, Н. Жижи Центральное конструкторское бюро уникального приборостроения АН СССР и Институт спектроскопии АН СССР(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР С ВЫСОКОЙ СТЕПЕНЪЮ КОМПЕНСАЦ ФАЗОВЫХ ИСКАЖЕНИЙ В СВЕТОДЕЛИТЕЛЕ 1 в виде единои пластины, на поиз поверхностей которой нанесеельное покрытие, а интерфероустановленными по одну стотины плоскими зеркалами, кажх расположено нормально к паннх световому потоку от отражатор выполнен ловине одной но светоделит метр снабжен рону от плас дое из которь дающем. на телей. е интерферометра позволясть интер феро метрических вие того, что пучки лучей путь, чем в известном инроща ется изготовление и лителя и компенсатора, так в предложенном интерферотиной.азана схема пнтерферомет 10 1 акое выполнениет повысить точноизмерений вследстпроходят большийтерферометре и уп15 юстировка светодекак они являютсяметре единой пласНа чертеже пок Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для фотоэлектрической регистрации интерферограмм и может использоваться в различных спектральных приборах, в конструкцию которых входит интерферометр Майкельсона.Известен интерферометр с высокой степеньюкомпенсации фазовых искажений в светоделителе, содержащий источник света, коллимирующую систему, светоделитель, два отражателя, установленные в плечах интерферометра, компенсатор, расположенный на пути лучей, идущих от одного из отражателей, объектив, фотоприемник и блок обработки сигнала.В известном интерферометре компенсатор исветоделитель расположены рядом и компенсация фазовых искажений осуществляется в компенсирующей пластине, которая должна быть по обработке идентична пластине свето- делителя.Недостатками известного интерферометра являются сравнительно невысокая компенсация фазовых искажений в светоделителе, дополнительные требования к юстировке интерферометра, высокие требования к идентичности толщин и качества поверхностей компенсирующей пластины и сравнительно низкая точность интерферометрических измерений.Предлагаемый интерферометр отличается отизвестного тем, что светоделитель и компенсара.20 Он содержит источник 1 света, коллимирующую систему 2, светоделитель 3, два отражателя 4 и 5, установленные в плечах интерферометра на пути лучей, прошедших светоделитель и отраженных от него, компенсатор 6, 25 расположенный на пути лучей, идущих от одного из отражателей, например 5, два плоских зеркала 7 и 8, объектив 9, фотоприемник 10 и блок 11 обработки сигнала с фотоприемника.Светоделитель 3 и компенсатор 6 выполне ны в виде единой пластины, на половине од508665 ЦНИИПИ Заказ 1076/5 Изд. Мо 215 Тираж 864 Подписное Типография, пр. Сапунова, 2 3ной из поверхностей которой нанесено светоделительное покрытие,Работает интерферометр следующим образом,Коллимированное с помощью системы 2 излучение источника 1 попадает на светоделительную часть пластины светоделителя-компенсатора, где оно делится на два пучка. Один из них проходит через пластину, попадает на отражатель 4 и затем на поворотное зеркало 8, возвращающее излучение по тому же пути на светоделитель и обеспечивающее тем самым независимость положения возвращающегося пучка от движения отражателя. На светоделителе этот пучок соединяется и интерферирует с другим пучком излучения, прошедшим через второе плечо 5, 6, 7, 6, 5, интерферометра, где он дважды проходит через компенсирующую часть пластины светоделителякомпенсатора. Оптические пути, проходимые пучками в пластине светоделителя-компенсатора, одинаковы, если пластина плоскопараллельная и оптически однородная, что обеспечивает необходимую компенсацию фазовыхискажений. Формула изобретения 5 Интерферометр с высокой степенью компенсации фазовых искажений в светоделителе, содержащий расположенные последовательно источник света, коллимирующую систему, свето- делитель, два отражателя, установленные на 10 пути лучей, прошедших светоделитель и отраженных от него, компенсатор, расположенный на пути лучей, идущих от одного из отражателей, объектив, фотоприемник и блок обработки сигнала с фотоприемника, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности интерферометрических измерений, светоделитель и компенсатор выполнены в виде единой пластины, на половине одной из поверхностей которой нанесено светоделительное по крытие, а интерферометр снабжен установленными по одну сторону от пластины плоскими зеркалами, каждое из которых расположено нормально к падающему на них световому потоку от отражателей.