Устройство для измерения параметров материалов

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1 И 22рдрЦ РЕТЕНИЯ ЛЬСТ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕК АВТОРСКОМУ СВИ(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРМЕТРОВ МАТЕРИАЛОВ(57) Изобретение относится к технике радиоиэмерений и повышает их точность, Устройство содержит генератор 1, отрезки 2-5 волновода, фаэовращатели 6-9, детектор 10, эталонные образцы 1 и 12, емкостные штыри 13 и 14, Переключение штырей 13и 14 производится с определенной частотой, при этом параметры исследуемых образцов определяются по разнице показаний в обоих полошениях,Нестабильность генератора 1, диода10 одинаково сказывается на выходном сигнале, что повышает точностьизмерений. 1 ил.1370532 5 10 15 Подписное 847 Произв,-полигр. пр-тие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к технике радиоизМерений и может быть использовано для контроля параметров полупроводниковых структур.Цель иэобретения - повышение точности измеренийНа чертеже приведена структурная электрическая схема предложенного устройства.Устройство для измерения параметров материалов содержит СВЧ-генератор 1, первый 2, второй 3, третий 4 и четвертый 5 отрезки волновода, первый 6, второй 7, третий 8 и четвертый 9 фаэовращатели, детектор 10, эталонные образцы 11, 12, емкостные штыри 13, 14.Устройство работает следующим образом. 20Сигнал СВЧ-генератора 1 поступаетна отрезок 2 волновода. В начальномположении емкостные штыри 13, 14 находятся в нижнем (по чертежу) положенииСВЧ-мощность через штырь 13 25направляется в отрезок 4 волновода,отражается от эталонного образца12, который прижат к открытому концу отрезка 4 волновода, в отрезке 4волновода образуется стоячая волна, З 0параметры которой зависят от параметров эталонного образца. Емкостной штырь 14 с помощью фазовращателя 9 устанавливается в минимуме стоячей волны, а емкостной штырь 13 фа -35зовращателем 6 - в максимуме стоячейволны. Определяется снимаемый от детектора 10 выходной сигнал,Далее емкостные штыри 13, 14 переводятся в верхнее положение - индицируется мощность в отрезок 3 волновода, нагруженный эталонным образцом 11, таким же как эталонный образец 12. Регулировками фазовращателей 6, 7 добиваются такого же разме 45щения штырей 13, 14, т,е. в минимумеи максимуме стоячей волны, а глубиной погружения штырей 13, 14 - тогоже самого выходного сигнала.На месте эталонного образца 12 по 50мещается исследуемый образец. Затемопределяется разница показаний припереключении штырей 13, 14 соответственно на отрезки 3, 4. На детекторе 1 О происходит синхронный вычет55 этих первичных сигналов, а по вторичному сигналу производится градуиВНИИПИ Заказ 413/43 Тираж ровка по образцам соответствующих измеряемых величнн,В дальнейшей работе эталонный образец постоянно находится на конце отрезка 4 волновода. Переключение штырей 13, 14 производится с определенной частотой, при этом параметры исследуемых образцов определяются по разнице показаний в обоих положениях емкостного штыря. При такой работе нестабильность СВЧ-генератора 1, СВЧ-диода - детектора 10 одинаково сказывается на выходном сигнале обоих отрезков 3, 4 волновода, что повышает точность измерений. Формула изобретения Устройство для измерения параметров материалов, содержащее СВЧ-генератор, к выходу которого подсоединен один конец первого отрезка волновода,второй отрезок волновода, к одному концу которого подсоединен детектор, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерений введены третий и чет)вертый отрезки волновода, одни концы которых разомкнуты, а другие нагружены на соответствующие введенные первую и вторую согласованные нагрузки, третья и четвертая согласованные нагрузки, установленные на других концах первого и второго отрезков волновода, первый и второй емкостные штыри, первый, второй, третий и четвертый фазовращатели, при этом первый отрезок волновода связан с третьим и четвертым отрезками волновода соответственно через отверстия, которые выполнены в их широких стенках, второй отрезок волновода связан с третьим и четвертым отрезками волновода через дополнительные отверстия, которые выполнены в их широких стенках, при этом первый и второй фазовращатели установлены соответственно в третьем и четвертом отрезках волновода между отверстиями связи, а третий и четвертый фазовращатели - соответственно в третьем и четвертом отрезках волновода между их разомкнутыми концами и дополнительными отверстиями связи.