Способ определения коэффициента диффузии в твердом материале
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1359721
Автор: Костржицкий
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИРЕСПУБЛИК 13 ОО 4 С ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ИДЕТЕЛЬСТ К АВТОРСКОМ о СССР 1978. и Кост ия АН(57) Изобретение окому металловедениюопределению параме осит ся к физичеастности киффузии в ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИИ 414/24-259. 852,87. Бюл. В 46Костржицкий219.3(088.8)рское свидетельсткл. С 01 Б 13/00(56) АвтоУ 754264Ройх Ижицкий АСССРНГ 197 54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОЗФФИЦИЕИФФУЗИИ В ТВЕРДОМ МАТЕРИАЛЕ,тонких слоях по данным гравиметричес-кого контроля при диффузионном отжиге. Целью изобретения является повышение точности путем исключения ошибок, вносимых подложкой, и повышениеэкспрессности путем сокращения времени отжига, Формируют многослойныйобразец нанесением слоя диффуэантана подложку иэ исследуемого материала .и слоя исследуемого материала наслой диффузанта. Затем отжигают образец в вакууме, измеряют изменениевеса образца, вызванное отжигом,и рассчитывают коэффициент диффузиипо, измеренной величине, при этом толщина подложки равна толщине слбяисследуемого материала. 1 табл..820 4,5 2,0 0,5 350 350 , 410 47,6 65,8 5,0 160 410 0,1 Изобретение относится к контроль-,но-измерительной технике, а именнок способам определения коэффициента,циффузии примесей в тонких твердотельных пленках, и может быть использовано в металловедении, микроэлектронике и т.д.Целью изобретения является повышение точности путем исключения ошибок, вносимых подложкой, и повышениеэкспрессности путем сокращения времени отжига,П р и м е р. На поверхность стеклананосили пленку меди в режиме, обеспечивающем ее свободное отделениеот основы после извлечения образцаиз камеры. Затем на поверхность пленки меди наносили слой диффузанта -цинка толщиной порядка 100 мкм. Затем снова наносили слой меди. Толщины пленок меди, осажденной предварительно на стекло и на поверхностьслоя цинка, быпи одинаковыми и равными 5 мкм. В ходе опытов по получению 25трехслойных композициймедь - цинк -медь геометрию испарения подбирали таким образом, чтобы неравномерность распределения толщины слоев металларастворителя (в данном случае меди) 30была не хуже 0,5 Е на поверхности,прямоугольной подложки 4 6 см,Приготовленный таким образом трехслойный образец медь - цинк в ме извлекали из камеры, взвешивали, краязавальцовывали для предотвращенияиспарения цинка с боковых направлений. Измеряли площадь образца, образец помещали в камеру, содержащуюспециальный нагреватель для проведения диффузионного отжига при заданной температуре, камеру откачивалидо давления порядка 510 мм рт.ст.,и проводили диффузионный отжиг трехслойного образца в вакууме. В процессе отжигапостоянно контроливалитемпературу отжига, а также его продолжительность, После окончания процесса образец извлекали из камеры,визуально осматривали с целью определения корректности проведения процесса. В тех случаях, когда нарушалась вальцовка краев образца, данныев расчеты не принимались.Затем определяли убыль веса образца после отжига и рассчитываликоэффициент диффузии Р цинка в медипо формуле.П =д Ь/(С, - С,)" Б,где дш - убыль, массы образцов;Я - площадь образца, см,Ь - толщина слоя металла-растворителя, см;С - С - разность концентраций дифг. (фузанта на внутренней ина внешней границах слояметалла-растворителя,г/смзГ - время отжига, с.В конкретных опытах значение С -С, соответствует 7,1 г/см,В таблице приведены данные измерений и расчета при различных температурах и временах отжига.Формула изобретения Способ определения коэффициента диффузии в твердом материале, заключающийся в формировании многослойного образца нанесением слоя диффузанта на подложку с последующим нанесением слоя исследуемого материала на слой диффуэанта, отжиге образца в вакууме, измерении изменения массы образца, вызванного отжигом, и расчете коэффициента диффузии по измеренной величине, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью повьппения точности путем исключения ошибок, вносимых подложкой, и повьппения экспрессности путем сокращения времени отжига, диффузант наносят на подложку из исследуемого материала, толщиной, равной толщине слоя исследуемого материала.
СмотретьЗаявка
3952414, 12.09.1985
А. И. Костржицкий
КОСТРЖИЦКИЙ АНАТОЛИЙ ИГОРЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01N 13/00
Метки: диффузии, коэффициента, материале, твердом
Опубликовано: 15.12.1987
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1359721-sposob-opredeleniya-koehfficienta-diffuzii-v-tverdom-materiale.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения коэффициента диффузии в твердом материале</a>
Предыдущий патент: Способ определения вязкости жидкости и устройство для его осуществления
Следующий патент: Устройство для изучения радиальной фильтрации кольцевых образцов волокнистых масс
Случайный патент: Устройство для ввода информации