Герметичный ввод в вакуумную камеру

СОЮЗ СОВЕТСНИХ,СОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 01 В 17 26 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ВТОРСКОМ ДЕТЕЛЬСТВ45 тельство СССРВ 17/26, 1971.Й ВВОД В ВАКУУМносится к электротехиспользовано в элекпроводки вакуумных ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(57) Изобретение онике и может бытьтрических системах ЯО 1358006 А 1 камер. Цель изобретения - повышение надежности. В корпусе установлены три изоляционных элемента, образующие две герметичные полости. Одна из них заполнена гелием, другая расположена со стороны вакуумной камеры и вакуумирована. Обе полости через штуцеры связаны с системой контроля и откачки, Устройство обеспечивает многоступенчатую гЕрметизацию, контроль герметичности в процессе работы и поддержание определенного давления при помощи системы откачки. 1 ил.1358006 формула изобретения Составитель Ю. КротовРедактор Л. Лангазо Техред И. Верес Корректор Л. ПатайЗаказ 5507/52 Тираж 697 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Производственно. полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к электротехнике,а именно к герметичным вводам проводников в вакуумные камеры.Цель изобретения - повышение надежности герметичного ввода, 5На чертеже представлено предлагаемоеустройство, общий вид.Герметичный ввод в вакуумную камерусодержит корпус 1, герметично смонтированный на вакуумной камере 2, в которомгерметично установлены три изоляционныхэлемента 3, 4 и 5, образующие полостиА и Б. Полость А при помощи штуцера 6 через вентиль 7 соединен с подпитывающей системой гелия (не показана),а при помощи штуцера 8 через вентиль 9 - 15с системой дренажа гелия. Полость Б припомощи штуцер а 10 через перекр ывноеустройство 11 соединена с системой откачки вакуумной камеры 2 (не показана), апри помощи штуцеров 12 и 13 через вентили 14 и 15 - с течеискателем и прибором контроля давления (не показаны).Изоляторы выполнены из керамики (например, А 20 з) и герметично соединены спроводником 16 и корпусом 1, например,при помощи пайки серебряным припоем.Герметичный ввод работает следующимобразом.При помощи системы откачки вакуумируют вакуумную камеру 2 до заданногодавления.Открывая перекрывное устройство 11, 30соединяют полость Б с системой откачкивакуумной камеры (например, с форвакуумным насосом), вакуумируют ее до заданного давления (например, 1 Па), послечего перекрывное устройство 11 закрывают.Открывая вентиль 15, производят контроль 35давления в полости Б,Открывая вентили 7 и 9, соединяютполость А с подпитывающим устройствоми системой дренажа и продувают полость Агелием, после чего вентили 7 и 9 закрывают. В полости А при этом создаетсяатмосферное давление гелия. Открывая вентиль 15, соединяют полость Б с прибором контроля давления и по повышению давления в полости проверяют ее герметичность.Открывая вентиль 14, соединяют полость Б с течеискателем и контролируют ее герметичность по отсутствию в ней гелия, который может проникнуть в полость при негерметичности изоляционного элемента 4,На этом подготовку устройства к длительной работе заканчивают. В процессе длительных вакуумных испытаний периодически производят откачку полости Б, открывая перекрывное устройство 11 и периодически проверяют ее герметичность при помощи течеискателя, открывая вентиль 14,При очень длительных вакуумных испытаниях (месяцы, годы) производят периодическую подпитку полости А гелием, открывая вентиль 7.Поскольку подпитка гелием, контроль давления и герметичности производят периодически, течеискатель, система подпитки и приборы контроля давления могут обслуживать несколько предлагаемых устройств. Герметичный ввод в вакуумную камеру, содержащий корпус, два установленных в нем изоляционных элемента, охватывающих проводник и образующих полость, заполненную гелием и через штуцер связанную с системой контроля и откачки, отличаюи 4 ийся тем, что, с целью повышения надежности, между вакуумной камерой и одним из основных изоляционных элементов, установлен дополнительный изоляционный элемент с образованием дополнительной полости между ним и основным изоляционным элементом, при этом последняя вакуумирована и через дополнительные штуцеры связана с системой контроля и откачки.