Устройство для измерения герметических параметров зеркальных оптических элементов

союз советскихСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕС ИК ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕК АВТОРС 1(ОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Н ГосудАРствеииое пАтеитноеведомство сссР тгосплтент сс(2) Голиков А.ПГурари МЛпрытков СИ (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕРМЕТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЗЕРКАЙЬИЫХ ОПТИЧЕСКИХЭДЕМЕНТОВ(57) ИзОбретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов. Цель йзобретения - повышение производительности измерения несферических поверхностей за счет создания условий для одновременного наблюдения полос интерферограммы и заранее рассчитанных полос идеальной интерферог раммы и быстрого сравнения структуры этих двух систем полос Через голограмму, полученную на регистраторе 7 излучения, при посредстве оптической системы 12 формируют изображение интерференционной картины, возникающей при сдвиге контролируемого зеркального оптического элемента из исходного положения и локализованной на поверхности рассеивателя 6. Одновременно на поверхность рассеивателя б с помощью источника 9 излучения и проецирующей оптической системы 11 подают изображение транспаранта 10, которое оптической сигтемой 12 совмещается с изображением интерферограммы. По различию структуры указанных изображений судят от отклонении формы контролируемого зеркального оптического элемента от заданной расчетной формы 1 ип.ИзОбретение Относится к изклер 1 лтельной технике, в частности к устройствам длл измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов, и является усове(1 шенствова 11 ием иэобрет(11 ия Г 1 О авт, св. М 593070,Цель изобретения - г 1 овышение производительности измерения несферических поверхностей эа счет создания условий для одновременного наблюдения полос интерф 8 рОГраммы и эаран 88 рассч 1 лтанных пОлО:,. идеальной интерферограммы и быстрого СРа 51 Н(11 ИЯ ГТРУКтггРЬ 1 ЭТИХ ДВУХ Сиг тЕМ ПО" ЛОС.г 1 а ЧортЕжЕ ПрвдСтаВЛЕНВ 1 грИНцИПИ- альиая сх 8 ма Описыва 8 мОГО устройства.Устройство имеет последовательно располо)кен 1.1 Ь 18 источник 1 КОГерентнОГО 1 лэ 51 ггчения, светоделитель 2, свЯзанныЙ оптически с с(лстемой 3 формирования ОПОРНОГО ПУЧКа 1 гЗЛУ 18 НИЯ И С СИСтЕМОй фаР- МИРОВаг 1 ИЯ Г 1 РВДМЕТНОГО ПуЧКа 1 ЛЗЛУЧ 8 Ь 1 ИЯ, включающий блок 4 освещения и сиг 11 альный канал, состоящий иэ отражателя 5, рассеивателя б регистратора 7 излучения, Отражатель 5 установлен на подвглжной каретке механизма 8 сдвига. Устройство содержит такж 8 источник 9 излучения. транспарант 10 и проецирующую оптиче. скуго с 1(стему 1 1, в предметной Г 1 лоскости которой располож 8 н транспарант 10, а пло- СКОСтЬ раСГЕИВаТОЛя 6 ЯВЛяеТСя гТЛОСКОСТЬЮ иэобоажений Оптической системы 11 и одновременно - предметной плоскостью оптической сист 8 мы 12 наблюдения, установленной в сигнальном канале за регистратором 7 излучения, Трансг 1 арант 10 содер)кит заранее рассчитанную в нрс 11 ОМ масштабе систему полос идеальной ин(ерферограммы контролиоуемого элемента,Описываем 08 устрОйство работает с(18" дугогдим Образом,Сначала получают на регистраторе 7 излучения Голограмму рассеивателя 6 с установленным на место отражателя 5 контролируемым 38 ркальным оптическим элементом. На этапе восстановления голограммы при наблюдении голографической интерферограммы регистратор 7 излучения Облуча 1 от опорным пучком излучения, а исследуемый зеркальный оптический Элемент - 111 потоком, прошедшим через блок 4 освещения. Через голограмму, полученную на регистраторе 7 излучения, при посредстве ОПТИчЕСКОй СИСТЕМЫ 12 форМИруЮт ИЗОбра.".; Чие интерференционной картины, возника 1 о цей при сдвиге контролируемого зеркального оптиеского элемента иэ исходного положен(ля, производимОм механизмом 13 сдвига, и локализованной на поверхности рассеивателя б. Одновремен- "0 но на поверхность рассеивателя 6 с поМощ Ь Ю ИСТОЧНИг;а 9 ИЭЛУЧ 8 НИя И проецируюгдей оптической системы 11 под 81 от изображение транспаранта 10, которое оптической системой 12 совмещается с изо с рая(ением инте рферограммы, По различиюструктуры указанных иэображений, которое обнаруживается, например г 1 о муаровым полосам, судят об отклонении формы контролируемого зеркального оптического элемента От заданной Оасчетной формы, Контрастное различие цветов источника 1 когарентного излучения и источника 9 излучения увеличивает чувствительность обнаружения этих разли 1 ий, Использование 35 техники муаровых полос сокращает массивОбрабатываемых данных и время, необходимое для математич ской обработки интерферОГрамм,10 (561 Автсрское свидетельство СССР М 593070, кл, Глг 01 В г 1/24, 9/021, 1976,г 5 Устройс Гао для измерения 1 еоклетрических парам(;тров зеркальных ог 1 тщеск 1 лх элеме 11 тов по авт, св, Кг 593070, э тл и ч а 1 ощ 8 е с Я тем, что, с целью Г 1 О 11 ы 1 Н 81(11 Я про Иэ ВОДГГГЕЛ Ь 1 г ОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ Н ЕсфеРИЧВС г(И,( ПОВерХНОСтей, О 110 СНабжЕНО 1 ЛСТОг(Н(Л 1,"ОМ иэлуче 11 ия, транспарантом и проециру 1 ощей Оптиг 1881(О 11 СИСГЕМОг 1, УСТаНОВЛВН 11 Ь 1 МИ Г 1 О" рвсг еивате 11 Я,Формула изобретения следовательно по ходу этого излучения так, гго транспарант размсщен в предметной ГГЛОСКОСТИ СИСТВМЫ И ОПТИЧ 8 СКОИ СИСТЕМОИ наол 1 Одания, распОЛОженнОй в СиГНальНОМ канале за регистратором излучения так, что 88 поедметная плоскость совмещ 8 на с пло" с (Ог.ть 1 о изображений проецирующей Оптичасг;ой сист емы и с плоскостью