Вакуумная система течеискателя

(57) Изобррукциям мачеискателестабилизац ТЕЛЯ нсттеитьпутем он оздания в ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ АВТОРСКОМУ СВИДЕТ УМНАЯ СИСТЕМА ТЕЧЕИСКА тение относится к к с-спектрометрически и позволяет обеспе Ю ию вакуума в системе круг корпуса диффузго насоса равномерного температурного поля. Вакуумная система содержитпоследовательно соединенные массспектрометрическую камеру 1, азотнуюловушку 4, дросселирующий вентиль 8,диффузионный насос 9 и механическийнасос 17. Неохлаждаемая нагреваемаячасть диффузионного насоса 9 и механический насос размещены в вакуумнойкамере 11. Диффузионный насос 9 снабжен герметичным кожухом 12, Выходнойпатрубок диффузионного насоса 9 ивходной патрубок механического насоса 17 сообщены с вакуумной камерой11. 1 ил.1 1307264Изобретение относится к испытательной технике, а именно к конструкции масс-спектрометрических течеискателей,Целью изобретения является стабилизация вакуума системы путем создания равномерного температурного полявокруг корпуса диффузионного насоса.На чертеже представлена схемаданной системы.Вакуумная система течеискателясодержит масс-спектрометрическую камеру 1, размещенную между полюсамимагнита 2 и соединенную через вентиль 3 с азотной ловушкой 4, котораячерез вентиль 5 соединяется с испытательной камерой. Через вентиль 6к ловушке 4 присоединена контрольнаятечь 7 и через дросселирующий вентиль 8 - диффузионный насос 9, установленный на верхней крышке 10 вакуумной камеры 11. Боковая поверхностьнасоса 9 охвачена герметичным кожухом 12, соединенным с системой охлаждения, выполненной в виде вентилятора 13. Электронагреватель 14 нижнейчасти насоса 9 запитывается черезгерморазъем 15. На нижней крышке 16вакуумной камеры 11 установлен механический насос 17 с электродвигателем 18, вход которого соединен свентилем 19, а выход - с вентилем20, На крышке 16 размещен датчик 21вакуума для автоматического отключения электродвигателя 18.Вакуумная система работает следующим образом.После открытия вентиля 20, включения двигателя 18, насоса 17 и открытия вентиля 19 в вакуумной камере11 и сообщенной с ней диффузионномнасосе 9 создается разрежение порядка 10мм рт.ст регистрируемоедатчиком 21 вакуума, Затем включается вентилятор 13 и нагреватель 14диффузионного насоса 9. Открываютвентили 3 и 8 и откачивают всю вакуумную систему течеискателя до за-,данного давления. При этом механический насос 17 работает в режиме периодического включения от соединенного с датчиком 21 вакуума релеблокировки по уровню вакуума в вакуумной камере 11. После выхода нарежим диффузионного насоса 9 и залива жидкого азота в ловушку 4 течеискатель может быть использован дляконтроля герметичности изделий,Размещение неохлаждаемой нагреваемой части диффузионного насоса 9 в 10 вакуумной камере 11 позволяет исключить воздействие нерегулируемых температурных изменений внешней средыи стабилизировать гидродинамическиехарактеристики насоса 9, так как приизменении температуры воздуха можноменять расход охлаждающего воздухачерез кожух 12, а дно насоса 9 изолировано от внешней среды. Одновременно камера 11 сообщает выход диффу зионного насоса 9 с входом механического насоса 17, и последний может.работать н режиме периодическоговключения.1 25При соотношении объема вакуумнойкамеры 11 и откачной системы, равном10, энергозатраты сокращаются в 2раза, кроме того, снижается уровеньшума.30 Формула из обретения Вакуумная система течеискателя,содержащая масс-спектрометрическую 35 камеру, последовательно соединенныес ней азотную ловушку, дросселирующий вентиль, диффузионный и механический насосы, систему охлаждениядиффузионного насоса, о т л и ч а юо щ а я с я тем, что, с целью стабилизации вакуума, она снабжена герметичным кожухом, охватывающим боковуюповерхность диффузионного насоса исоединенным с системой воздушного 5 охлаждения, вакуумной камерой, в которой размещены неохлаждаемая нагреваемая часть диффузионного насоса имеханический насос, выходной патрубок диффузионного насоса и входной 50 патрубок механического насоса сооб,щены с полостью вакуумной камеры,ВНИИПИ Заказ 1621/39 Тираж 777 Подписное Произв.-полигр, пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4