Преобразователь давления

Номер патента: 1303856

Автор: Перепелицын

ZIP архив

Текст

(51) 4 С 01 Ь 9 0 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯА ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(72) О, П. Перепелицын/04, 1982. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(71) Специальное конструкторскбюро по приборостроению(57) Изобретение относится к измерительной технике, конкретно к измерению давления электрическими методами на основе тензорезистивного эффекта)в полупроводниках. Цель изобретения - уменьшение погрешности измерения гидростатического давления. На монокристаллической сапфировой подложке размещены эпитаксиальные кремниевые тензорезисторы 2 в виде мезаструктуры, Один из тензорезисторов ориентирован в направлении максимальной тензочувствительности, Смежный с ним тензорезистор, ориентированный в направлении минимальной тензочувствительности, имеет отношение ширины к высоте более 30, а остальные - менее или равное 30. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.56 гшение ширины к высоте более 30, а остальные - менее или равное 30.Преобразователь работает следующим образом.Измеряемое давление действует на подложку 1 с тензорезисторами гидро- статически, в результате чего изменяется их сопротивление. 13038 1.Преобразователь давления, содержащий монокристалличе скую сапфировую подложку, и расположенные на ней эпитаксиальные кремниевые тензорезисторы, соединенные в мостовую измери - тельную схему, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью уменьшения погрешности измерения гидростатического давления, в нем тензорезисторы выполнены в виде мезаструктуры с отношением ширины к высоте менее или равным 30, при этом, по крайней мере, один из тензорезисторов ориентирован в направлении максимальной тензочувствительности., а любой смежный с нимв направлении минимальной тензочувствительности.2.Преобразователь по п.1, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что по крайней мере один тензорезистор, ориентированный в направлении минимальной тензочувствительности, имеет отношение ширины к высоте более 30, а остальные - менее или равное 30. Составитель В. КазаковТехред А.Кравчук Корректор А. Зимокосов Редактор Э.Слиган Заказ 1298/41 Тираж 777 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 Изобретение относится к точномуприборостроению, а именно к измерениям давления жидкостей и газов электрическими методами на основе тензорезистивного эффекта в полупроводниках.Цель изобретения - уменьшение новгрешности измерения гидростатического давления.На чертеже показаны два возможныхварианта конструкции преобразователя 10 Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я давления.Преобразователь содержит подложку1, которая выполнена в виде пластины произвольной формы из монокристаллического диэлектрика тригональнойструктуры, например сапфира Ы - А 1 0в плоскости (1012). Тензорезисторы 2изготовлены из монокристаллическогополупроводника кубической структурыкремния р в ти проводимости (плоскость 100), эпитаксиально выращенного на подложке сапфира, Тензорезисторы соединены между собой по схемемоста Уинтстона. Конструктивно тензо 25резисторы изготовлены в виде меза. -структуры с шириной Ъ и высотой Н,отношение которых менее или равно30. При этом один из тензорезисторов ориентирован в направлении максимальной тензочувствительности, асмежный с ним - в направлении минимальной тензочувствительности, Крометого, один тензорезистор, ориентированный в направлении минимальнойтензочувствительности, имеет соотно

Смотреть

Заявка

3853483, 11.02.1985

СПЕЦИАЛЬНОЕ КОНСТРУКТОРСКОЕ БЮРО ПО ПРИБОРОСТРОЕНИЮ

ПЕРЕПЕЛИЦЫН ОЛЕГ ПЕТРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01L 9/04

Метки: давления

Опубликовано: 15.04.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1303856-preobrazovatel-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Преобразователь давления</a>

Похожие патенты