Способ изготовления тензопреобразователя давления

(19) ННЫЙ НОМИТЕТ СССР ОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ ГОСУДАРСТ ПО ДЕЛАМ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯН д ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ травлен(71) Специальное опытное проектноконструкторско-технологическое бюро СО ВАСХНИЛ(56) Ваганов В.И, Интегральные тензопреобразователи. М: Энергоатомиздат, 1979.Гридчин В.А. и др, Интегральныйтензопреобразователь на поперечнойтензоЭДС, - Физика и техника полупроводников. Труды / НЭТИ, Новосибирск, 1976,(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ДАВЛЕНИЯ(57) Изобретение относится к измерительной технике и позволяет упростить технологию изготовления. В полупроводниковой пластине, ориентированной в плоскости 100 , определяют базовое кристаллограйическое направление110. После нанесения на пластину металлического и фоторезистивного слоев поворачивают продольную ось тензопреобразователяа в любую сторону наугол 22,5 от базового направления. Создают токовые и потенциальные контакты и придают тензопреобразователю необходимую Аорму и толщину, подвергая пластину с нанесенным на нее в определенном месте пицеином химическому1290110 изобретения Формула Способ изготовления тензопреобразователя давления, включающий выполнение полупроводниковой пластины вплоскости 100), в которой выбираютбазовое кристаллографическое направление, после чего Ориентируют продольную ось тензопреобразователя Относительно него, формируют токовыеи потенциальные контакты и придают 40тензопреобразовятелю определенныеформу и толщину О т л и ч я ю щ и ис я тем, что, с целью упрощениятехнологии изготовления, в качестве базового выбирают кристаллографическое направление 1103, после чего ориентируют От этого направленияпродольную ось тензопреобразователяо.в любую сторону ня угол 22,5 в плоскости пластины.Полевук Корректор С,Черни Заказ 7890/36 Тираж 799 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д.4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г,ужгород, ул.Проектная,4 Изобретение относится к измерительной технике, а именно к датчикам механических величин, и может быть использовано в преобразователях механических и акустических давлений в электрический сигнал.Целью изобретения является упрощение технологии изготовления.Способ изготовления тензопреобразователя осуществляют следующим образом.Вырезают полупроводниковую пластину, ориентированную в плоскости 1100), Производят определение базового кристяллографического направления 1103, например, методом скола, или по геометрии фигур травления, или методом световых фигур. Наносят сначала сплошной металлический слой, затем слой фоторезиста. После этого поворачивают ось фото- шаблона, параллельную созданному на нем рисунку токовых контактов и перпендикулярную оси, на которой расположены потенциальные контакты от базового направления в любую сторону на угол 22,5 для плоскости 1100 . Создают токовые и потенциальные контакты, например засвечивают нанесенный предварительно фоторезист через фотошаблон и проявляют его, за тем травят металлическую пленку, фор мируя таким образом металлические площадки под контакты, и производят их вжигание для получения в заданных местах омических контактов. Далее придают определенную форму и толщину тензопреобразователю, например шлифуют полупроводниковую пластину до толщины примерно в два раза больше требуемой, Наносят сплошным слоем пицеин через металлическую маску с отверстиями, которые задают внешнюю геометрическую форму тензопреобразователя, расплавляя его паяльником, термически испаряя в вакууме, при этом надежно закрывая пицеином токовые и потенциальные контакты. Затем снимают маску и опускают полуСоставитель 0Редактор А.Лежнина Техред А.Кравч проводниковую пластину (с нанесеннымна нее пицеином в определенном месте) в химический травитель и травятее до получения необходимой для тен зопреобразователя толщины.Формирование таким образом формыи толщины тензопреобразователя позволяет улучшить стабильность его рабочих характеристик, так как не происходит образование дефектов и дислокаций, которые образуются при механической резке и влияют на временнуюстабильность параметров. Представляется возможность варьирования толщиной тензопреобразователя, что важнопри его практическом использовании.Групповой способ изГОТ вления тензопреобразователей осуществляетсяаналогично способу изготовления единичного тензопреобразователя, необходимо только мультиплицировать рисунок на фотошаблоне. Разделение пластины с и элементами осуществляетсяпутем защиты пицеином каждого и дяльнейшего травления до разделения пластины на отдельные тензопреобразователи.