Устройство для перемещения оптического элемента интерферометра

) 4 6 01 В 9 02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТН А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ ЬР СЬ Ю ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕШЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО ЭЛЕМЕНТА ИНТЕРФЕРОМЕТРА(57) Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптико-механическим измерительным устройствам. Целью изобретения является расширение диапазона перемещений оптических элементов и повышение точности путем увеличения длины свободной части кольцевых мембран. Устройство содержит соосно расположенные кольцевой корпус, ведущий цилиндр 7, ведомый цилиндр 4 с оптическим элементом 10, подвеску ведущего 7 и ведомого 4 цилиндров, выполненную в виде кольцевых мембран 8, 9, 5 и 6, механизм принудительного перемещения ведущего цилиндра 7. Мембраны 8, 9, 5 и 6 ведущего 7 и ведомого 4 цилиндров выполнены раздельными и размещены в параллельных плоскостях. Размещение мембран 5 и 6 подвески ведомого цилиндра 4 на максимальном удалении повышает точность устройства. При этом мембраны 8 и 9 веду- щего цилиндра 7 размещены между мембранами 5 и 6 ведомого цилиндра 4. 1 з и. ф-лы, 1 ил.1262276 Формула изобретения Составитель В, Романов Редактор П. Коссей Техред И. Верес Корректор О. Луговая Заказ 5410136 Тираж 6 О Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патенз, г. Ужгород, ул. Проектная, 4Изобретение относится к измерительнойтехнике, а именно к оптико-механическимизмерительным устройствам,Целью изобретения является расширениедиапазона перемещений оптических элементов и повышение точности этих перемещений за счет увеличения длины свободнойчасти кольцевых мембран.На чертеже схематически изображенопредложенное устройство, разрез.Устройство для перемещения оптического 10элемента содержит основание 1, скрепленныйс основанием кольцевой корпус, состоящий издвух частей 2 и 3, ведомый цилиндр 4, сопряженный с корпусом подвеской, выполненной в виде кольцевых мембран 5 и 6, ведущий цилиндр 7, сопряженный с ведомымцилиндром 4 подвеской, выполненной в видекольцевых мембран 8 и 9. На ведомом цилиндре закреплен оптический элемент 10, Ведущий цилиндр взаимодействует с механизмом принудительного перемещения, выполненным в виде приводного электродвигателя11, редуктора 12, профильного кулачка 3,двуплечего рычага 14, одно из плеч котороговзаимодействует с профильным кулачком, авторое выполнено вилкообразным и взаимодействует с ведущим цилиндром через ролики 2515 и 16. Обе части корпуса, ведущий и ведомый цилиндры размещены соосно. Устройство работает следующим образом.С помощью редуктора 12 и профильного кулачка 13 настраивают необходимые часто- ЗО ту и амплитуду перемещений оптического элемента. После включения электродвигателя 11 перемещения от кулачка 13 через рычаг 14 и ролики 15 и 16 передаются на ведущий цилиндр 7.Перемещения ведущего цилиндра 7 пере- ЗБ даются ведомому цилиндру 4 через кольцевые мембраны 8 и 9, которые совместно с мембранами 5 и 6 образуют упругий делитель перемещений. Перемещение ведомого цилиндра Составляет 1 + К доли перемещенияК 1ведущего цилиндра, где К - жесткость подвески ведущего цилиндра; К 2 - жесткость подвески ведомого,В предлагаемом устройстве длина свободной части мембран 8 и 9 значительно превышает длину свободной части мембран 5 и 6, что позволяет сделать подвеску ведомого цилиндра в несколько раз более жесткой,чем подвеску ведущего К 2К 1, и обеспечить достаточное передаточное отношение упругого делителя.При перемещении оптического элемента интерферометра необходимо обеспечить его строго поступательное движение, а требования к перемещению ведущего цилиндра намного менее жестки. Поэтому кольцевые мембраны 5 и 6 подвески ведомого цилиндра разнесены на максимально возможное расстояние, а кольцевые мембраны 8 и 9 подвески ведущего цилиндра размещены между ними. 1. Устройство для перемещения оптического элемента интерферометра, содержащее соосные корпус, ведущий и ведомый цилиндры, оправу оптического элемента, закрепленную на ведомом цилиндре, механизм принудительного перемещения ведущего цилиндра, а также подвеску ведущего и ведомого цилиндров, выполненную в виде кольцевых мембран, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона перемещений, мембраны ведущего и ведомого цилиндров выполнены раздельными и размещены в параллельных плоскостях.2. Устройство по и. 1, отличающееся тем, что, с целью повышения точности, мембраны ведущего цилиндра размещены между мембранами ведомого.