Устройство для измерения сопротивления контактов к полупроводникам

СОЮЗ СОВЕТСНИХ ОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК А 04 С 01 К 27/02 ИЯЕТ(56) Домнин В.Игаллия, Томск,Е.Ч.Сеогре,1970, ч,ЕР - 17,Бюл. У 4и И.С.Левитас1(088.8)и др. Сб. Арсе1968, с.225.С.Ве 1 сейд, 1 КЕЕ Тр,27. апя 1 ил ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТ ОПИСАНИЕ К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЯ КОНТАКТОВ К ПОЛУПРОВОДНИКАМ(57) Изобретение относится к измерению параметров полупроводниковыхприборов и может быть использованопри исследовании свойств контактовк полупроводникам. Цель изобретения -повышение точности - достигается за счет исключения систематической погрешности, вносимой при предварительном определении удельного сопротивления образца и его геометрическихразмеров, а также случайной ошибкипри измерении вольтамперной характеристики из-за необходимости проведения ряда измерений одновременно. Дляэтого в устройство дополнительновведены токосъемный резистор 2, блок3 вычитания и третья выходная клемма6. Устройство также содержит генератор 1 модулированных по амплитудепо пилообразному закону коротких импульсов тока, первую выходную клемму4, регистрирующий прибор 5, вторуювыходную клемму 7, контакты 8-10 исследуемого образца1 12870Изобретение относится к измерениюпараметров полупроводниковых приборов и может быть использовано приисследовании свойств контактов к полупроводникам. 5Цель изобретения - повышение точности эа счет исключения систематической погрешности, вносимой при предварительном определении удельногосопротивления образца и его геометрических размеров, а также случайнойошибки при измерении вольтамперной,характеристики из-эа необходимостипроведения ряда измерений неодно,.временно. 15На чертеже представлена блок-схемапредлагаемого устройства,Устройство содержит генератор 1модулированных по амплитуде по пило образному закону коротких импульсов 20тока, выход которого соединен с первым выводом токосъемного резистора 2и с первым входом блока вычитания 3,второй вход которого подключен к второму выводу токосъемцого резистора 2и первой выходной клемме 4, выходблока вычитания 3 соединен с первымвходом (вход уц) регистрирующегоприбора 5, второй вход которого соединен с третьей выходной клеммой 6, 30вторая выходная клемма 7 подключенак общей шине устройства.Устройство работает следующимобразом.Исследуемый образец в форме пластины со сформированными ца ее поверхности не менее, чем тремя контактами8-10 известной площади и формы подключается соответственно к выходнымклеммам 4, 7 и 6 устройства, причем 40исследуемый внутренний контакт 9подключается к второй клемме 7.Периодическая последовательностькоротких импульсов, промодулироваццаяпо амплитуде по пилообразному закону, 45с выхода генератора 1 через токосъемный резистор 2 и первую вьгходцуюклемму 4 поступает ца контакт 8 полупроводникового образца.Потенциал контакта 10 представляет собой падение напряжения ца переходном сопротивлении исследуемогоконтакта 9, обусловленное импульснымтоком, протекающим между контактами8 и 9. Зто падение цапряжеция через 55 39 2третью выходную клемму б поступает на второй вход (входХ ) регистрирующего прибора 5. Поступающее ца первый вход (вход У ) регистрирующего прибора 5 импульсное напряжение с выхода блока вычитания 3 пропорционально импульсному току протекающему между контактами 8 и 9Регистрирующий прибор 5 воспроизводит вольтамперную характеристику исследуемого контакта 9 в виде совокупности дискретных точек в диапазоне токов, определяемом максимальной амплитудой импульсов с выхода генератора 1. Плотность расположения точек зависит от соотношения длительности и частоты йовтореция импульсов и периода модулирующего напряжения, Эти параметры в каждом конкретном случае выбираются в пределах, обеспечивающих исключение систематической ошибки измерения, связанной с возникновением эфФекта Пельтье в приконтактцых областях.Формула изобретенияУстройство для измерения сопротивления контактов к полупроводникам, содержащее генератор, регистрирующий прибор, первую и вторую выходные клеммы для подключения соответственно первого и второго контактов образца, 1причем вторая выходная клемма подключена к общей шине устройства, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерений, в него дополнительно введены токосъемцый резистор, блок вычитания и третья выходная клемма для подключения третьего контакта образца, расположенного по одну сторону от двух других контактов образца, ближайшим из которых является второй контакт, причем токосъемцый резистор включен между выходом генератора и первой выходной клеммой, выводы токо- съемного резистора соединены с соответствующими входами блока вычитания, выход которого подключен к первому входу регистрирующего прибора, второй вход которого соединен с третьей выходной клеммой.