Способ измерения сопротивления электрического контакта металл-полупроводник

р) 443339 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик,72 (21) 1745540/2 нием заявки Гасударственный комитет овета атииистров СССРао делам изобретений 3) УДК 621.317,799.621.382,2 (088.8) 15,09.74. Бюллетень3 ублико и открытии ата опубликования описания 22.01,7(72) Авторы изобретения Овчаренко и В, Е, Севостьян Заявител(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЯТРИЧЕСКОГО КОНТАКТА МЕТАЛЛ - ПОЛУПРОВОДНИК Изобретени ной техники и разработки и гии металлиз отбраковки по транзисторов.Известен дв сопротивления талл в полу ектронано для ехнолоализа и полевых относится к области э может быть использо оперативного контроля ции, причиненного а тенциальноненадежных ухзондовый способ определенияэлектрического контакта меоводник,Точность такого способа низка, так как объемное сопротивление полупроводника обычно на один в д порядка больше или соизмеримо с контактными сопротивлениями и включено с ними последовательно. Для полевых транзисторов при использовании этого способа дополнительную погрешность обуславливает сопротивление канала, которое также включено последовательно этим сопротивлениям,Для повышения точности измерений по предлагаемому способу смещают истоковый р - и- переход в прямом направлении, а стоковый переход - в обратном направлении, изменяют ток стока, компенсируют уменьшение тока через истоковый переход изменением напряжения на нем и определяют сопротивление контакта по отношению приращения напряжения на истоковом переходе к изменению тока через сток. На чертеже приведено схематическое изображение р-канального полевого транзисторас р - и-управляющим переходом и схема измерения контактного сопротивления по описы 5 ваемому способу.Для измерения контактных сопротивленийв и-канальных транзисторах полярность источников должна быть противоположной, Наприведенном чертеже верхний затвор и+ кон 10 структивно соединен с нижним затвором и, аконтактные сопротивления к стоке Яс и истоке Ряс вынесены из спруктуры,Сущность предлатаемого способа заключается в следующем. При подаче на сток по 15 стоянного напряжения Р и на затвор постоянного напряжения Ро имеющего р - и-переход в прямом направлении (переключатель Вв положении 1), в цепи стока протекает ток201 о, а в цепи затвора - ток 1 о .1Ток затвора устанавливается так, что вы.,полняется условие 1 р, 7 а,. Напряжение настоке выбирается так, чтобы верхний и нижний р - и-переходы были смещены почти по5 всей длине и прямой ток затвора протекал через нижний р - и-переход преимущественнопод контактом истока,Направление преимущественното протека.ния тока затвора показано на чертеже стрел 30 кой с обозначением Уа443339 Предмет изобретения Отсюда Лзс -Л 1 о: о Составитель Т. Дозоров Редактор И. Шубина Техред Т. Миронова Корректор А. ДзесоваЗаказ 199/9 Изд. Мо 1804 Тираж 902 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам. изобпетеиий и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 45Типография, пр. Сапунова, 2 Таким образом, через контакт истока протекают ток стока и ток затвора, создавая на нем падение напряжения.1 зс.= (о, + в,) Йзс Увеличив напряжение на стоке (переключатель В в положении 2), устанавливают новое значение тока стока 1 оВозрастание тока стока приводит к возрастанию падения напряжения на контакте, которое смещает р - и- переход в обратную сторону и уменьшает ток р - п-перехода, Чтобы установить прежнее значение тока р - и-перехода (затвора), необходимо сместить р - п-переход в прямом направлении на такую величину ЬРо, которая скомпенсирует прирост падения напряжения на контакте за счет возрастания тока стока. Это означает, чтоЬУо -- (Ь, - Ь,) Язс Для измерения контактного сопротивления стока выводы стока и истока меняются местами.Новые свойства предлагаемого способа позволяют использовать его для разработки и оперативного контроля технологического процесса, в частности, контроля операций металлизации полевых транзисторов, а также для 5 причинного анализа брака, в частности, пошумам, току входа, температурному дрейфу.Предложенный способ прост в осуществлении и пригоден для работы в условиях производства.1 О Способ измерения сопротивления электрического контакта металл-полупроводник, основанный на,пропускании электрического тока через контакт и регистрации приращения напряжения на нем при приращении тока, о тличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, смещают истоковый р - и-переход в прямом направлении, а стоковый переход - в обратном направлении, изменяют ток стока, компенсируют уменьшение тока через истоковый переход изменением напряжения на нем,и определяют сопротивление контакта по отношению приращения напряжения на истоковом переходе к изменению тока через сток.